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【技术实现步骤摘要】
本文描述的本专利技术构思的实施例涉及基板处理方法和基板处理设备,更具体地,涉及通过加热基板来处理基板的基板处理方法和基板处理设备。
技术介绍
1、为了制造半导体元件或平板显示面板,执行各种工艺,例如光刻工艺、蚀刻工艺、灰化工艺、薄膜沉积工艺和清洁工艺。在这些工艺中,光刻工艺包括通过在诸如晶片的基板上供应光致抗蚀剂液体来形成涂层膜的涂覆工艺、使用掩模在基板上形成的涂层膜上照射光的曝光工艺,以及向对其进行涂覆工艺的涂层膜供应显影液以在基板上获得期望的图案的显影工艺。
2、此外,为了稳定基板上形成的涂层膜和图案,可在涂覆工艺和曝光工艺之间、曝光工艺和显影工艺之间以及显影工艺之后进行加热基板的热处理工艺。在该热处理工艺中,基板放置在加热板上,在所述加热板上安装有产生热量的加热器,所述加热器产生热量以加热基板。
3、同时,加热器的输出可以被反馈控制,以便安装在加热板上的加热器可以在恒定温度下加热基板。具体而言,为了使加热器将基板加热至恒定温度,可将加热器的目标温度设置为设定温度(例如,80℃),如果测量温度与目标温度不同,可通过增加或减少加热器的输出来保持加热器的温度恒定。如果加热器始终保持在目标温度,则每单位时间传递到基板的热量也保持恒定,由此基板被加热到恒定温度。
4、最近,除了将基板加热至恒定温度外,还在加热板上安装多个加热器,以便对基板的每个区域进行均匀加热。每个加热器的输出可以单独控制。
5、图1是示出如果基板放置在安装有多个加热器的加热板上,则加热器的温度随时间变化的曲线图。
...【技术保护点】
1.一种基板处理方法,包括:
2.根据权利要求1所述的基板处理方法,其中,所述加热器当中的所述第一加热器在所述第一时间点的目标温度被设置为低于所述第一加热器在所述第二时间点的目标温度。
3.根据权利要求2所述的基板处理方法,其中,所述加热器当中的第二加热器在所述第一时间点的目标温度被设置为与所述第二加热器在所述第二时间点的目标温度不同。
4.根据权利要求3所述的基板处理方法,其中,所述加热器当中的所述第二加热器在所述第一时间点的目标温度被设置为高于所述第二加热器在所述第二时间点的目标温度。
5.根据权利要求4所述的基板处理方法,其中,如果将所述基板放置在所述加热板上,则所述第一加热器具有比所述第二加热器更小的温降。
6.根据权利要求5所述的基板处理方法,其中,所述第一加热器和所述第二加热器在所述第一时间点的目标温度基于以下中的至少一者:所述第二加热器的温度上升速度和下降速度,以及将所述基板放置在所述加热板上的情况下的温降。
7.根据权利要求1所述的基板处理方法,其中,基于所述加热器的测量电阻值来计算每个加热器
8.根据权利要求1所述的基板处理方法,其中,在执行将光致抗蚀剂液体涂覆在所述基板上的涂覆工艺后并且在所述涂覆工艺之后执行后续曝光工艺之后,通过将所述基板放置在所述加热板上而加热所述基板。
9.根据权利要求1所述的基板处理方法,其中,所述第一时间点属于作为基板加热阶段中的早期时段的过渡时段,并且所述第二时间点属于所述基板加热阶段中的后期时段中的稳定时段。
10.根据权利要求9所述的基板处理方法,其中,所述加热器在所述过渡时段的温度变化大于所述加热器在所述稳定时段的温度变化。
11.一种控制基板处理设备的方法,包括:
12.根据权利要求11所述的用于控制基板处理设备的方法,其中,所述第一时间点属于作为基板加热阶段中的早期时段的过渡时段,并且所述第二时间点属于所述基板加热阶段中的后期时段中的稳定时段。
13.根据权利要求12所述的用于控制基板处理设备的方法,其中,所述加热器当中的所述第一加热器在所述第一时间点的目标温度被设置为低于所述第一加热器在所述第二时间点的目标温度。
14.根据权利要求13所述的用于控制基板处理设备的方法,其中,所述加热器当中的第二加热器在所述第一时间点的目标温度被设置为高于所述第二加热器在所述第二时间点的目标温度。
15.根据权利要求14所述的用于控制基板处理设备的方法,其中,如果将所述基板放置在所述加热板上,则所述第一加热器具有比所述第二加热器更小的温降。
16.根据权利要求15所述的用于控制基板处理设备的方法,其中,所述第一加热器和所述第二加热器在所述第一时间点的目标温度基于以下中的至少一者:所述第二加热器的温度上升速度和下降速度,以及将所述基板放置在所述加热板上的情况下的温降。
17.一种基板处理设备,包括:
18.根据权利要求17所述的基板处理设备,其中,对于所述加热器当中的第二加热器的第二目标温度分布,所述第一时间点的目标温度被设置为高于所述第二时间点的目标温度。
19.根据权利要求18所述的基板处理设备,其中,所述第一加热器是将所述基板放置在所述加热板上的情况下具有比所述第二加热器更小的温降的加热器。
20.根据权利要求18所述的基板处理设备,其中,所述第一加热器和所述第二加热器在所述第一时间点的目标温度基于以下中的至少一者:所述第一加热器和所述二加热器的温度的上升速度和下降速度,以及将所述基板放置在所述加热板上的情况下的温降。
...【技术特征摘要】
1.一种基板处理方法,包括:
2.根据权利要求1所述的基板处理方法,其中,所述加热器当中的所述第一加热器在所述第一时间点的目标温度被设置为低于所述第一加热器在所述第二时间点的目标温度。
3.根据权利要求2所述的基板处理方法,其中,所述加热器当中的第二加热器在所述第一时间点的目标温度被设置为与所述第二加热器在所述第二时间点的目标温度不同。
4.根据权利要求3所述的基板处理方法,其中,所述加热器当中的所述第二加热器在所述第一时间点的目标温度被设置为高于所述第二加热器在所述第二时间点的目标温度。
5.根据权利要求4所述的基板处理方法,其中,如果将所述基板放置在所述加热板上,则所述第一加热器具有比所述第二加热器更小的温降。
6.根据权利要求5所述的基板处理方法,其中,所述第一加热器和所述第二加热器在所述第一时间点的目标温度基于以下中的至少一者:所述第二加热器的温度上升速度和下降速度,以及将所述基板放置在所述加热板上的情况下的温降。
7.根据权利要求1所述的基板处理方法,其中,基于所述加热器的测量电阻值来计算每个加热器的测量温度。
8.根据权利要求1所述的基板处理方法,其中,在执行将光致抗蚀剂液体涂覆在所述基板上的涂覆工艺后并且在所述涂覆工艺之后执行后续曝光工艺之后,通过将所述基板放置在所述加热板上而加热所述基板。
9.根据权利要求1所述的基板处理方法,其中,所述第一时间点属于作为基板加热阶段中的早期时段的过渡时段,并且所述第二时间点属于所述基板加热阶段中的后期时段中的稳定时段。
10.根据权利要求9所述的基板处理方法,其中,所述加热器在所述过渡时段的温度变化大于所述加热器在所述稳定时段的温度变化。
11.一种控制基板处理设备的方法,包括:
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