基板的贴合装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种可以不损伤两个基板且均匀加压、贴合两个基板的基板贴合方法。所述基板贴合方法具备在减压的气体环境下分别保持两个基板，使得相对在上下方向接近的基板隔着所述流体接触的工序；沿水平方向相对驱动隔着流体接触的两个基板进行对位的工序；解除对位后的两个基板中位于上方的基板的保持状态的工序；解除了一个基板的保持状态后，隔着上述流体向接触状态下的两个基板加压，从而通过密封剂进行贴合的工序。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在两个基板间存在流体时，通过密封剂贴合这些基板的贴合装置。
技术介绍
在以液晶显示板为代表的直角平面显示板等的制造工序中，使两个基板以规定的 间隔相对，在这些基板之间封入作为流体的液晶，通过密封剂贴合，进行贴合作业。上述贴合作业，在两个基板中的任一个上将上述密封剂涂敷成框状，将规定量的 上述液晶滴下供给到此基板或另一个基板的上述密封剂的框内对应部分，形成多个粒状。接着，使上述两个基板保持在上部保持台和下部保持台上，在上下方向上以规定 的间隔隔离相对，在此状态下进行这些基板水平方向的x、Y以及e方向的定位，并贴合这 些基板。在进行两个基板水平方向的对位时，由于要求对位精度是Pm级的高精度，所以 使用焦点深度较浅的高倍率的摄像头作为对位用的摄像头。使用高倍率的摄像头进行两个基板的对位时，由于这些基板在上下方向上以大的 间隔，例如在两个基板以比较大的间隔分离的状态下进行对位，因此不能在高倍率的摄像 头的焦点深度内将两个基板同时对位。所以，不能高精度地定位这些基板，会带来对位精度 下降。由此，目前在使两个基板对位时，采用与使这些基板贴合的状态几乎相同的间隔， 在此状态下用高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板的贴合装置，在两个基板中的任一个上将密封剂涂敷成框形，将流体滴入两个基板中任一个的所述密封剂框内对应部分，通过所述密封剂将这两个基板贴合，该贴合装置的特征在于，具备：腔室；调整该腔室内的压力的压力调整装置；被设置在所述腔室内并在其上面装载一个基板的下部保持台；与该下部保持台对向设置并在其下面保持另一个基板的上部保持台；沿接触或分离的方向及水平方向相对驱动所述下部保持台和上部保持台的驱动装置；和将所述腔室内减压，在此状态下，利用负荷比贴合负荷小的接触负荷，隔着所述流体使这两个基板接触并沿水平方向相对驱动而进行对位，在该对位之后，不进行通过使所述上部保持台下降来进行的加压，在解除保持在所述...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：牧野勉，高桥崇史，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP