【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体研磨，具体涉及一种研磨头防碰撞结构。
技术介绍
1、化学机械研磨，其是一个移除制程，是结合化学反应和机械作用来去除沉积的薄膜，从而达到晶圆表面平坦的工艺过程。
2、目前，业内常用的cmp设备通常包括研磨头往复系统、研磨头及研磨盘；研磨时，研磨头以一定压力将晶圆压在研磨盘上，同时外部向研磨盘表面添加研磨液，接着研磨盘与研磨头通常沿相同的方向旋转；在研磨过程中，研磨头往复系统会驱动研磨头沿某一线性方向做往复运动以增强研磨效果。而在对晶圆进行研磨前，一般会通过机械手将待研磨的晶圆放置在研磨盘一侧的装载杯上以方便研磨头取走晶圆，在取片过程中，装载杯会上移以配合研磨头取走晶圆。但是，当研磨往复系统出现故障时，研磨头无法恢复至相对研磨往复系统的初始位置范围，当设备控制研磨头取走装载杯上的晶圆，研磨头与研磨头往复系统是作为一个整体杯移动至装载杯的附近，然后研磨头往复系统可能仍需驱使研磨头移动，但此时研磨头无法保证在初始范围内运动，导致其与装载杯无法相对配合，在取片过程中研磨头会与装载杯的边缘碰撞，从而导致研磨头出现损坏。
3、因此，亟需一种可避免研磨头取片过程中与装载杯发生碰撞的技术。
技术实现思路
1、本申请提供了一种研磨头防碰撞结构，可以解决现有技术中研磨头在取片过程中与装载杯容易发生碰撞的问题。
2、为解决上述一个或多个技术问题，本申请采用的技术方案是：
3、本申请提供了一种研磨头防碰撞结构，包括：驱动件、研磨头、检测元件、感
4、所述感应件设于所述检测元件的一侧，所述检测元件与所述感应件之间存在预设距离，所述检测元件与所述驱动件电连接，在所述检测元件检测到所述预设距离小于等于设定阈值时切换为断开状态，以关停所述驱动件。
5、进一步的，所述结构还包括安装座，所述中间组件设于所述安装座上，并在所述驱动件的驱动下相对所述安装座往复移动，所述研磨头以及所述检测元件通过所述中间组件与所述安装座滑动连接，所述感应件沿所述检测元件的滑动方向设置。
6、进一步的，所述中间组件包括滑动件，所述滑动件与所述安装座滑动连接，所述滑动件与所述研磨头以及所述检测元件相连接，所述感应件设于所述滑动件的一端，且所述感应件与所述安装座相连接。
7、进一步的，所述滑动件连接有安装架，所述检测元件与所述安装架相连接。
8、进一步的，所述滑动件上开设有第一安装孔，所述第一安装孔内设有紧固件，所述安装架上开设有第二安装孔，所述第二安装孔用于所述紧固件穿设，所述安装架通过所述紧固件以及所述第二安装孔与所述滑动件相连接。
9、进一步的，所述第二安装孔呈长条形。
10、进一步的，所述第二安装孔沿所述滑动件的滑动方向的正向贯穿所述安装架。
11、进一步的，所述驱动件与所述研磨头分别设于所述安装座厚度方向的相对两侧，所述安装座厚度方向贯穿开设有滑槽，所述研磨头连接有连接件，所述连接件穿设于所述滑槽内，并与所述滑动件相连接。
12、进一步的，所述检测元件包括接近开关传感器。
13、进一步的，所述结构还包括基座，所述驱动件至少有两个，每个所述驱动件至少驱动一个所述研磨头，所有所述驱动件皆安装于所述基座上；
14、每个所述研磨头皆通过一个所述中间组件连接有一个所述检测元件，所有所述中间组件皆设于所述基座上，每个所述检测元件的一侧均对应设有一个所述感应件。
15、根据本申请提供的具体实施例，本申请公开了以下技术效果：
16、通过中间组件使检测元件与研磨头同步运动，并在检测元件的运动方向上设置感应件，并使感应件与检测元件的工作端之间存在预设距离，该距离会随着研磨头与检测元件的运动而发生变化，当检测元件检测到预设距离小于等于设定阈值时，即当驱动件驱使研磨头超出设定的初始运动范围，检测元件切换为断开状态，以切断关停驱动件，避免研磨头继续运动而发生磕碰。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种研磨头防碰撞结构，其包括驱动件、研磨头，其特征在于：所述结构还包括检测元件、感应件及中间组件，所述驱动件的驱动端与所述中间组件相连接，所述研磨头及所述检测元件分别与所述中间组件相连接，所述中间组件用于带动所述检测元件与所述研磨头同步运动；
2.根据权利要求1所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述结构还包括安装座，所述中间组件设于所述安装座上，并在所述驱动件的驱动下相对所述安装座往复移动，所述研磨头以及所述检测元件通过所述中间组件与所述安装座滑动连接，所述感应件沿所述检测元件的滑动方向设置。
3.根据权利要求2所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述中间组件包括滑动件，所述滑动件与所述安装座滑动连接，所述滑动件与所述研磨头以及所述检测元件相连接，所述感应件设于所述滑动件的一端，且所述感应件与所述安装座相连接。
4.根据权利要求3所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述滑动件连接有安装架，所述检测元件与所述安装架相连接。
5.根据权利要求4所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述滑动件上开设有第一安装孔，所述第一安装孔内设有紧
6.根据权利要求5所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述第二安装孔呈长条形。
7.根据权利要求6所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述第二安装孔沿所述滑动件的滑动方向的正向贯穿所述安装架。
8.根据权利要求3所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述驱动件与所述研磨头分别设于所述安装座厚度方向的相对两侧，所述安装座厚度方向贯穿开设有滑槽，所述研磨头连接有连接件，所述连接件穿设于所述滑槽内，并与所述滑动件相连接。
9.根据权利要求1至8任一项所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述检测元件包括接近开关传感器。
10.根据权利要求1至8任一项所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述结构还包括基座，所述驱动件至少有两个，每个所述驱动件至少驱动一个所述研磨头，所有所述驱动件皆安装于所述基座上；
...【技术特征摘要】
1.一种研磨头防碰撞结构，其包括驱动件、研磨头，其特征在于：所述结构还包括检测元件、感应件及中间组件，所述驱动件的驱动端与所述中间组件相连接，所述研磨头及所述检测元件分别与所述中间组件相连接，所述中间组件用于带动所述检测元件与所述研磨头同步运动；
2.根据权利要求1所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述结构还包括安装座，所述中间组件设于所述安装座上，并在所述驱动件的驱动下相对所述安装座往复移动，所述研磨头以及所述检测元件通过所述中间组件与所述安装座滑动连接，所述感应件沿所述检测元件的滑动方向设置。
3.根据权利要求2所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述中间组件包括滑动件，所述滑动件与所述安装座滑动连接，所述滑动件与所述研磨头以及所述检测元件相连接，所述感应件设于所述滑动件的一端，且所述感应件与所述安装座相连接。
4.根据权利要求3所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，所述滑动件连接有安装架，所述检测元件与所述安装架相连接。
5.根据权利要求4所述的研磨头防碰撞结构，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴正龙，桂茶明，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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