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本申请公开了一种研磨头防碰撞结构，涉及半导体研磨技术领域。其包括驱动件、研磨头，驱动件用于驱动研磨头往复运动，研磨头通过中间组件连接有检测元件，中间组件用于带动检测元件与所述研磨头同步运动；检测元件的一侧间隔设有感应件，用于辅助所检测元件的...
该专利属于吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉姆西半导体科技（无锡）股份有限公司授权不得商用。

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