【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体元件清洗领域，尤其是涉及了一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液及清洗方法。
技术介绍
1、作为浸没式光刻机的核心基础件，超洁净流体控制元件的过流表面污染控制是降低浸液污染，提升曝光良率的关键。以超纯氟塑料为流体传输材料的流体控制元件在加工成型工艺，主要包括注塑成型、挤出成型、模压烧结、焊接、机械加工等会在制造过程中产生污染，尤其是加工过程中由于摩擦磨损腐蚀，不仅会诱发表面产生沟槽、凹坑等缺陷，同时会造成金属离子等污染物的生成并向氟塑料内部浸入，导致金属离子含量超标，不符合洁净度要求。因此为了得到成型后洁净的氟塑料零件，一般需要添加清洗步骤。目前行业内在使用聚四氟乙烯(ptfe)和可熔融性聚四氟乙烯(pfa)材质的零件之前，多采用热的浓硝酸浸泡约3天，这是因为高浓度的硝酸溶液具有能够将金属杂质电离成可溶解性水溶液的能力。在实际操作中，由于在生产和运输过程中存在油脂污染，为了使上述化学处理有效，需先用洗涤剂或有机溶剂进行脱脂，处理时间较长，因此这种处理方法在研究中是可行的，但在实践中是耗时较长相当低效且浓硝酸危险性较大的，不适合工厂里批量化清洗氟塑料零件。
技术实现思路
1、为了解决
技术介绍
中存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液及清洗方法。本专利技术方法主要使用了超声波辅助酸加速刻蚀金属杂质的特性。
2、本专利技术所采用的技术方案如下：
3、一、一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液，用于清洗集成
4、所述氟塑料清洗液是主要由酸液和表面活性剂溶于超纯水中形成的混合液；
5、所述酸液与超纯水的质量体积比为1％-10％，
6、所述表面活性剂与超纯水的体积比为0.001％-0.01％。
7、所述酸液包括盐酸、硝酸、硫酸和磷酸的一种或多种，所用酸的纯度是优级纯。
8、所述表面活性剂主要由非金属含氟表面活性剂中的一种或多种构成；所述非金属含氟表面活性剂包括全氟烷基聚氧乙烯醚、全氟烷基甜菜碱、全氟烷基胺氧化物，所添加的表面活性剂的纯度是分析纯。
9、二、一种集成电路氟塑料零件的清洗方法，包括以下步骤：
10、s1、按照预设的质量体积比配制如权利要求1-3任一所述的氟塑料清洗液，配制完成后将足量的氟塑料清洗液倒入氟塑料清洗机的湿法腐蚀药液槽中；
11、s2、首先，利用超纯水upw对氟塑料零件冲洗1-2min；
12、s3、冲洗完成后，将氟塑料零件放置在异丙醇溶液中浸泡30-40min，浸泡完成后将氟塑料零件从异丙醇溶液中取出，再次利用upw将异丙醇溶液冲洗干净；
13、s4、洗净后，将氟塑料零件放置在氟塑料清洗机的湿法腐蚀药液槽中，使得氟塑料零件完全浸没在氟塑料清洗液中，并对氟塑料零件进行超声处理；
14、s5、接着，从湿法腐蚀药液槽中取出氟塑料零件，再放在氟塑料清洗机的湿法腐蚀水槽中，打开喷淋，使用upw对氟塑料零件冲洗2-3min；
15、s6、冲洗完成后，室温下将氟塑料零件放置在upw中浸泡30-40min，然后取出氟塑料零件并干燥，干燥后得到清洗干净的氟塑料零件。
16、所述s3中异丙醇溶液中异丙醇的浓度体积分数为40％-60％。
17、所述s4中超声处理的温度为30-40℃，超声处理的时间为50-120min。
18、所述氟塑料零件包括pfa弯管接头、ptfe喷头、pfa流量计等。
19、本专利技术中的氟塑料清洗液存储在氟塑料清洗机中。氟塑料清洗机主要由设备主体系统、湿法腐蚀系统、废液排放系统、排风系统、控制系统和安全系统组成。氟塑料清洗机的主体骨架是由优质碳钢外包npp板材焊接构成，湿法腐蚀药液槽是由进口石英缸构成，湿法腐蚀水槽是由npp板焊接构成。湿法腐蚀药液槽具有加热、超声、鼓泡、过滤的功能，湿法腐蚀水槽具有加热、溢流、鼓泡的功能。湿法腐蚀药液槽的超声系统采用槽体底部水浴超声结构，安装分体式(振子、电源分开)，振板材质为2.0mmsus316，频率为40khz，采用进口换能器，配有液位传感器，防止无液超声并报警提醒；湿法腐蚀药液槽和水槽加热方式采用五面贴膜式加热器，功率3kw，pid控制，控温精度±1℃，显示精度0.1℃。以上所有操作是在千级洁净室及以上等级的场合完成。
20、本专利技术的原理如下：
21、本专利技术主要是运用了物理作用与化学作用相结合的一种清洗方式。物理作用归结于超声空化及随空化产生的冲击波、微声波、微射流和清洗液超声振动本身的机械效应。化学作用表现为清洗液中的化学物质对污物产生渗透、溶解、乳化、分解。
22、异丙醇浸泡氟塑料件，可以清洗掉其表面附着的油脂，清除酸性化学试剂和氟塑料件直接接触的障碍。酸性化学试剂在与金属接触时，金属单质或氧化物与化学试剂发生反应，生成金属离子，金属离子溶于氟塑料清洗液中，进而减少氟塑料件中的金属离子，温度升高可以加速这种化学反应速率。表面活性剂可以降低氟塑料清洗液的表面张力，通过将污染物乳化、分散达到清除氟塑料件表面污染物的作用。在超声作用的协助下，可以加速氟塑料清洗液的流动，特别是氟塑料结构死角、盲孔处的氟塑料清洗液流动，降低氟塑料清洗液和氟塑料件接触表面污染物的浓度，强化了化学清洗剂的清洗作用，加速了化学作用的反应历程，提高了表面污物的去除效率，大大缩短了清洗时间。
23、本专利技术的有益效果为：
24、1、本专利技术使用一种相对浓硝酸较为安全且高效的清洗液达到清洗效果，一定程度上提高了安全性、节能性，相较之下更加环保。
25、2、使用本专利技术的清洗方法，清洗后的氟塑料零件金属析出含量实现万亿分之一(ppt)级别控制，能满足半导体、生物医药、电子级化工等领域的超洁净流体运输的要求。辅助超声清洗的功能，大大缩短了清洗时间，提升了清洗效率，节省了劳动力，并且对于一些精密元件，形状不规则的物件，能达到很好的清洗效果。
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1.一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液，用于清洗集成电路氟塑料零件中的金属，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液，其特征在于：所述酸液包括盐酸、硝酸、硫酸和磷酸的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液，其特征在于：所述表面活性剂主要由非金属含氟表面活性剂中的一种或多种构成；所述非金属含氟表面活性剂包括全氟烷基聚氧乙烯醚、全氟烷基甜菜碱、全氟烷基胺氧化物。
4.一种集成电路氟塑料零件的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的一种集成电路氟塑料零件的清洗方法，其特征在于：所述S3中异丙醇溶液中异丙醇的浓度体积分数为40％-60％。
6.根据权利要求4所述的一种集成电路氟塑料零件的清洗方法，其特征在于：所述S4中超声处理的温度为30-40℃，超声处理的时间为50-120min。
7.根据权利要求4所述的一种集成电路氟塑料零件的清洗方法，其特征在于：所述氟塑料零件包括可熔融性聚四氟乙烯PFA弯管接头、聚四氟乙
...【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液，用于清洗集成电路氟塑料零件中的金属，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液，其特征在于：所述酸液包括盐酸、硝酸、硫酸和磷酸的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液，其特征在于：所述表面活性剂主要由非金属含氟表面活性剂中的一种或多种构成；所述非金属含氟表面活性剂包括全氟烷基聚氧乙烯醚、全氟烷基甜菜碱、全氟烷基胺氧化物。
4.一种集成电路氟塑料零件的清...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡亮，刘范，苏芮，申英男，阮晓东，付新，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：
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