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本发明公开了一种用于集成电路氟塑料零件的氟塑料清洗液及清洗方法。氟塑料清洗液是主要由酸液和表面活性剂溶于超纯水中形成的混合液；方法包括按照配方配制氟塑料清洗液；利用UPW对氟塑料零件冲洗，再放入在异丙醇溶液中浸泡，浸泡完成后取出并再次利用U...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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