【技术实现步骤摘要】
本技术属于直写曝光，具体为一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置。
技术介绍
1、目前市场上，在一些电子器件的生产中，通常要用到曝光操作来实现直写光刻，从而可以将需要制作的图形通过曝光等操作在基材表面生成需要的图形。而在需要对材料进行双面曝光时，通常需要采用卷对卷曝光机，用于卷材放料曝光后再收卷。例如，通过卷对卷曝光机两侧的收放卷机，将基材卷料拉紧伸直，处于悬空状态，避免使用玻璃支撑时带来的灰尘和脏污。
2、但是上述中的现有技术方案存在以下缺陷：对于需要连续曝光的曝光设备，传统的卷对卷曝光机无法实现卷料的实时纠偏，导致容易出现曝光图形发生变形和产生拼接缝隙。
技术实现思路
1、本技术实施例的目的在于提供一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有曝光设备在需要连续曝光时存在无法实现卷料的实时纠偏的问题。
2、本技术实施例是这样实现的，一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，包括放卷装置以及收卷装置，所述放卷装置与收卷装置之间设置有用于连续曝光的曝光设备，其中，所述放卷装置包括：
3、壳体以及设置在所述壳体内的放卷轮，所述放卷轮用于放出待曝光的卷料；
4、第一接料平台，设置在所述放卷轮的一侧，用于将放出的待曝光的卷料进行夹紧，以在曝光前将卷料与牵引带进行粘贴；
5、第一夹紧装置，设置在所述壳体内远离所述放卷轮的一侧，用于夹紧与松开卷料；以及
6、纠偏装置，设置在靠近所述曝光设备处，用于检测卷料的侧边位置，
7、优选的，所述放卷装置还包括设置在所述放卷轮与第一接料平台之间的第一导向轮，以及依次设置的清洁组件与用于消除卷料上静电的离子棒。
8、优选的，所述收卷装置包括拉料机构，所述拉料机构的输出端设置有第二夹紧装置，所述第二夹紧装置的一侧依次设置第二接料平台、第二导向轮与收卷轮。
9、优选的，所述拉料机构包括用于将料带夹紧的夹持组件，所述夹持组件的一端设置有驱动机构，其中，所述驱动机构用于拉动卷料，以进行料带的传输。
10、本技术的有益效果是：
11、与现有技术相比，本技术实施例提供的应用于卷对卷曝光的收放卷装置，包括放卷装置以及收卷装置，所述放卷装置与收卷装置之间设置有用于连续曝光的曝光设备，其中，所述放卷装置包括用于放出待曝光的卷料的放卷轮，所述放卷轮的一侧设有第一接料平台，另一侧设有第一夹紧装置，在靠近所述曝光设备处设有纠偏装置。该装置通过设置了纠偏装置，在放卷轮放出待曝光的卷料后，第一接料平台将放出的待曝光的卷料进行夹紧，同时，纠偏装置实时检测卷料的侧边位置，以在发生偏移时带动所述放卷装置的输出端调整位置，从而使所述放卷装置输出的待曝光的卷料所形成的料带位置发生移动，进而在料带进入曝光设备进行曝光时可以实现实时调整位置，解决了现有曝光设备在需要连续曝光时存在无法实现卷料的实时纠偏的问题，从而提高了装置的实用性。
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1.一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，包括放卷装置(10)以及收卷装置(20)，所述放卷装置(10)与收卷装置(20)之间设置有用于连续曝光的曝光设备(30)，其特征在于，所述放卷装置(10)包括：
2.根据权利要求1所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述放卷装置(10)还包括设置在所述放卷轮(11)与第一接料平台(13)之间的第一导向轮(12)。
3.根据权利要求2所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述第一导向轮(12)用于引导卷料的延伸方向，并将卷料进行张紧。
4.根据权利要求3所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述放卷装置(10)还包括依次设置的清洁组件(15)与用于消除卷料上静电的离子棒(16)。
5.根据权利要求4所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述收卷装置(20)包括用于拉动卷料，以进行料带的传输的拉料机构(21)。
6.根据权利要求5所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述拉料机构(21)的输出端设置有第二夹紧装置(2
7.根据权利要求6所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述第一接料平台(13)包括相互配合的第三夹紧装置(131)与第四夹紧装置(132)。
8.根据权利要求7所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述第一导向轮(12)包括依次设置的第一辊轮(121)、第二辊轮(122)、第三辊轮(123)、第四辊轮(124)。
9.根据权利要求8所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述拉料机构(21)包括用于将料带夹紧的夹持组件(211)，所述夹持组件(211)的一端设置有驱动机构(212)，所述驱动机构(212)用于拉动卷料，以进行料带的传输。
10.根据权利要求9所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述第二接料平台(23)包括第五夹紧装置(231)和第六夹紧装置(232)。
...【技术特征摘要】
1.一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，包括放卷装置(10)以及收卷装置(20)，所述放卷装置(10)与收卷装置(20)之间设置有用于连续曝光的曝光设备(30)，其特征在于，所述放卷装置(10)包括：
2.根据权利要求1所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述放卷装置(10)还包括设置在所述放卷轮(11)与第一接料平台(13)之间的第一导向轮(12)。
3.根据权利要求2所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述第一导向轮(12)用于引导卷料的延伸方向，并将卷料进行张紧。
4.根据权利要求3所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述放卷装置(10)还包括依次设置的清洁组件(15)与用于消除卷料上静电的离子棒(16)。
5.根据权利要求4所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在于，所述收卷装置(20)包括用于拉动卷料，以进行料带的传输的拉料机构(21)。
6.根据权利要求5所述的一种应用于卷对卷曝光的收放卷装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶飞，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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