【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体封装，尤其是一种新型ubm结构。
技术介绍
1、在半导体封装技术中，当凸点与ubm(under bumping metallization，凸点下金属化)倒装焊接时，由于凸点的锡银量过多、凸点间距过小等原因，都可能造成凸点间桥连，从而影响器件性能。
技术实现思路
1、本专利技术人针对上述问题及技术需求，提出了一种新型ubm结构，本专利技术的技术方案如下：
2、一种新型ubm结构，每个与凸点倒装焊接的ubm结构均包括多个分散排布的ubm单元和ubm墙，ubm墙作为外围结构包围ubm单元，且互不接触；ubm单元之间用于容纳凸点的锡银，ubm墙用于阻挡锡银外流。
3、其进一步的技术方案为，ubm单元具有同一高度，且与ubm墙等高。
4、其进一步的技术方案为，ubm单元具有多个高度，其中位于ubm墙包围中心的第一ubm单元的高度不低于ubm墙的高度，其余ubm单元的高度均低于ubm墙的高度，以稳固倒装焊接后的凸点。
5、其进一步的技术方案为，其余ubm单元的高度从位于墙边缘向中心方向逐渐变小再逐渐变大，以引导回流过程中的锡银向中心流动。
6、其进一步的技术方案为，ubm墙的高度为凸点的锡银高度的40％-60％，且不超过凸点回流后的最大直径所在高度；对于高度逐渐变小的其余ubm单元，其高度为与其相邻且位于外侧的ubm单元或ubm墙的高度的50％-70％，对于高度逐渐变大的其余ubm单元，其高度为与其相邻且位于内侧
7、其进一步的技术方案为，各个ubm单元和ubm墙按照从低到高的高度顺序依次制备得到。
8、其进一步的技术方案为，ubm单元的形状为圆形、三角形、矩形、六边形、八边形或其余多边形。
9、其进一步的技术方案为，ubm墙的形状为圆形、三角形、矩形、六边形、八边形或其余多边形。
10、本专利技术的有益技术效果是：
11、本申请提出了一种新的ubm结构，将与一个凸点倒装焊接的ubm结构设计成多个分散排布的ubm单元和设于单元外围封闭的ubm墙，首先，增大了与凸点的接触表面积；其次，多个ubm单元之间可容纳更多锡银，ubm墙可进一步阻挡锡银外流，从而降低与凸点倒装焊接后的桥连风险。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种新型UBM结构，其特征在于，每个与凸点倒装焊接的UBM结构均包括多个分散排布的UBM单元和UBM墙，所述UBM墙作为外围结构包围所述UBM单元，且互不接触；UBM单元之间用于容纳凸点的锡银，所述UBM墙用于阻挡锡银外流。
2.根据权利要求1所述的新型UBM结构，其特征在于，所述UBM单元具有同一高度，且与所述UBM墙等高。
3.根据权利要求1所述的新型UBM结构，其特征在于，所述UBM单元具有多个高度，其中位于UBM墙包围中心的第一UBM单元的高度不低于所述UBM墙的高度，其余UBM单元的高度均低于所述UBM墙的高度，以稳固倒装焊接后的凸点。
4.根据权利要求3所述的新型UBM结构，其特征在于，所述其余UBM单元的高度从位于墙边缘向中心方向逐渐变小再逐渐变大，以引导回流过程中的锡银向中心流动。
5.根据权利要求3或4所述的新型UBM结构，其特征在于，所述UBM墙的高度为所述凸点的锡银高度的40％-60％，且不超过凸点回流后的最大直径所在高度；对于高度逐渐变小的其余UBM单元，其高度为与其相邻且位于外侧的UBM单元或所述UBM
6.根据权利要求3所述的新型UBM结构，其特征在于，各个UBM单元和UBM墙按照从低到高的高度顺序依次制备得到。
7.根据权利要求1所述的新型UBM结构，其特征在于，所述UBM单元的形状为圆形、三角形、矩形、六边形、八边形或其余多边形。
8.根据权利要求1所述的新型UBM结构，其特征在于，所述UBM墙的形状为圆形、三角形、矩形、六边形、八边形或其余多边形。
...【技术特征摘要】
1.一种新型ubm结构，其特征在于，每个与凸点倒装焊接的ubm结构均包括多个分散排布的ubm单元和ubm墙，所述ubm墙作为外围结构包围所述ubm单元，且互不接触；ubm单元之间用于容纳凸点的锡银，所述ubm墙用于阻挡锡银外流。
2.根据权利要求1所述的新型ubm结构，其特征在于，所述ubm单元具有同一高度，且与所述ubm墙等高。
3.根据权利要求1所述的新型ubm结构，其特征在于，所述ubm单元具有多个高度，其中位于ubm墙包围中心的第一ubm单元的高度不低于所述ubm墙的高度，其余ubm单元的高度均低于所述ubm墙的高度，以稳固倒装焊接后的凸点。
4.根据权利要求3所述的新型ubm结构，其特征在于，所述其余ubm单元的高度从位于墙边缘向中心方向逐渐变小再逐渐变大，以引导回流过程中的锡银向中心流动。
5.根据权利要求3或4所述的新型ubm结构，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨逍鹃，
申请(专利权)人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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