太阳能电池沉积夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种太阳能电池沉积夹具，属于太阳能电池技术领域。太阳能电池沉积夹具包括电极板组件、信号馈入组件及腔室，多套带屏蔽罩的电极板组件安装在腔室内构成放电的夹具阵列，信号馈入组件的一端与电极板组件的馈入口面接触连接，馈入口设置在带屏蔽罩电极板组件的阴极板背面中心区域内凹的矩形面上，所述的信号馈入组件是由腰部和头部构成弯曲形的条状馈入带，其头部信号馈入端面是矩形，腰部带绝缘屏蔽外壳。积极效果是克服了一点或多点馈入因馈线距离造成的损耗，在射频或甚高频功率电源驱动下可获得均匀电场大面积稳定放电，有效的消除了甚高频引发的驻波和趋肤效应，能够提高产率，降低成本。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种太阳能电池技术，确切的说一种硅基薄膜太阳能电池沉积夹具。
技术介绍
目前，硅基薄膜太阳能电池，采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)获取单 结或多结的光电转换P-I-N膜层，在薄膜太阳能电池制造行业通用这种射频电容耦合平行 电极板反应室。通常把电极板反应室所进行等离子体化学气相沉积的装置称为“沉积夹具” 或简称为“夹具”。该夹具被广泛应用于非晶硅、非晶硅锗、碳化硅、氮化硅、氧化硅等材料薄 膜的大面积沉积。硅基薄膜太阳能电池是太阳能行业的一个重要分支，夹具成为了该行业 的核心设备之一。13. 56MHz射频广泛应用于非晶硅基薄膜材料的高速制备，生产效率高、 工艺成本低。随着太阳能市场对硅基薄膜技术要求不断提高，微晶、纳米晶硅基薄膜材料受 到行业高度关注。但是在微晶环境下，13. 56MHz射频波衍生的等离子体浓度小，沉积速率 低，沉积足够厚度薄膜所需时间长，背景污染大，从而制备出的薄膜杂质含量高，光电学性 能差，严重影响产品品质性能。如何高速沉积成为晶化硅基薄膜技术能够成功服务于产业 的关键。甚高频指频率为13. 56MHz的两倍或者更高的合法射频。在行业内，应用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池沉积夹具，包括电极板组件、信号馈入组件及腔室，其特征在于多套带屏蔽罩的电极板组件安装在腔室内构成放电的夹具阵列，信号馈入组件的一端与电极板组件的馈入口面接触连接，馈入射频或甚高频功率电源信号，该馈入口设置在带屏蔽罩电极板组件的阴极板背面中心区域内凹的矩形面上，所述的信号馈入组件是由腰部和头部构成弯曲形的条状馈入带，其头部信号馈入端面是矩形，腰部带绝缘屏蔽外壳。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李毅，胡盛明，何祝兵，李志坚，王春柱，周建华，
申请(专利权)人：深圳市创益科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：94[中国|深圳]