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本实用新型涉及一种太阳能电池沉积夹具，属于太阳能电池技术领域。太阳能电池沉积夹具包括电极板组件、信号馈入组件及腔室，多套带屏蔽罩的电极板组件安装在腔室内构成放电的夹具阵列，信号馈入组件的一端与电极板组件的馈入口面接触连接，馈入口设置在带屏蔽...
该专利属于深圳市创益科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市创益科技发展有限公司授权不得商用。

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