【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏ald，具体为光伏ald工艺高效上料机及上料方法。
技术介绍
1、光伏ald工艺是一种通过原子层沉积技术制造太阳能电池的方法。该工艺使用一种称为化学气相沉积的过程，将材料分子分解成原子，然后将它们沉积在基板上。这些原子层可以形成非常薄的膜，通常只有几个原子的厚度。 光伏ald工艺的优点是可以制造非常薄的太阳能电池。这意味着可以在较小的空间内放置更多的电池，从而提高太阳能电池的功率密度。此外，该工艺可以使用多种材料来制造电池，从而提高电池的效率。
2、光伏ald工艺中，使用硅片时，需要在硅片的表面进行化学处理，经过化学处理后的硅片才能够进行后续加工，通过上料组件将硅片从花篮转移至晶舟中，传统的处理方式是将两片硅片贴合放置在晶舟的一个硅片槽中，再将晶舟转运至处理工位，对同一个硅片槽上的两个硅片裸露的两个外表面进行化学处理。
3、由于工艺生产的需要，需要对硅片两面均进行化学处理，因此在一个硅片槽中只能放置一片硅片，如按原有方式进行工艺生产，会导致产能直接减半，因此需要采用更大的晶舟进行生产，并且由于花篮硅片槽间距为晶舟硅片槽间距的两倍，导致传统的上料机以及上料方式，无法快速高效的完成新工艺的上料工作。
4、有鉴于此，亟需一种光伏ald工艺高效上料机及上料方法，用于兼顾新老工艺的上料工作。
技术实现思路
1、针对现有技术中存在的问题，本专利技术用以下技术结构解决此问题。
2、为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：>
3、光伏ald工艺高效上料机，包括：机架，所述机架上设置有花篮放置工位、硅片转运机构、晶舟放置工位以及晶舟转运机构；
4、所述硅片转运机构包括两个滑动设置的硅片固定组件，每个所述硅片固定组件均包括两个分别设置有多个硅片固定空间的固定部，其中，当两个硅片固定组件相向运动时，相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合 ；
5、其中，所述硅片转运机构将花篮放置工位处花篮中的硅片转运至晶舟放置工位处的晶舟中，所述晶舟转运机构用于将晶舟放置工位处晶舟转运至待加工工位。
6、其进一步特征在于，
7、所述硅片转运机构还包括转运支架和用于驱动转运支架活动的转运机器人，所述转运机器人安装在机架上，所述转运支架安装在转运机器人上，所述转运支架上安装有导向轨道，两个所述硅片固定组件均滑动安装在导向轨道上。
8、所述硅片固定组件还包括第一安装座以及多个吸附板，所述第一安装座滑动安装在导向轨道上，多个所述吸附板并列设置于第一安装座底端，多个所述吸附板的一面为吸附面，相邻的两个所述吸附板之间为所述硅片固定空间，所述转运支架上安装有用于驱动两个第一安装座在导向轨道上滑动的第一驱动组件；
9、一个所述硅片固定组件上的多个吸附板均分组成两个相邻的所述固定部，两个所述固定部分别由两个气路进行控制；
10、同一个所述硅片固定组件上的多个吸附面朝向相同，两个所述硅片固定组件上的吸附面朝向相反。
11、两个所述硅片固定组件上的吸附板相互靠近的一侧均设置有多个突出部，相邻两个所述突出部之间均形成有凹槽部，当两个所述硅片固定组件相互靠近时，所述突出部插入对应凹槽部中。
12、所述花篮放置工位包括多个并列设置花篮放置台以及用于将对应花篮内硅片顶出的顶出组件，所述花篮放置台安装在机架上；
13、所述顶出组件包括第二安装座、第一安装板、第一驱动气缸以及两个并列设置在第一安装板顶面的顶杆组件，第一支撑板，所述第二安装座滑动安装在机架上，所述第一安装板与第一驱动气缸均安装在第二安装座上，所述第一驱动气缸用于驱动第一安装板在第二安装座上做升降运动；
14、所述顶杆组件包括两个竖直设置在第一安装板顶面的第一支撑板，两个所述第一支撑板的顶面均设置有与花篮晶槽间距适配的第一顶梳。
15、所述顶出组件还包括顶出垫条，所述顶出垫条设置于两个第一支撑板之间。
16、所述晶舟放置工位包括多个并列设置的晶舟放置台以及两个用于将硅片转运机构处的硅片承托至晶舟放置台处晶舟内的托举组件，所述晶舟放置台安装在机架上；
17、两个所述托举组件并列设置，所述托举组件包括第三安装座以及两个托举部，所述第三安装座滑动安装在机架上；
18、所述托举部包括第二安装板、第二驱动气缸以及两个竖直设置在第二安装板顶面的第二支撑板，所述第二安装板与第二驱动气缸均安装在第三安装座上，所述第二驱动气缸用于驱动第二安装板在第三安装座上做升降运动；
19、两个所述第二支撑板的顶面均设置有与晶舟晶槽间距适配的第二顶梳。
20、所述晶舟转运机构包括两个纵向轨道、两个横向轨道以及设置于两个横向轨道上的夹持组件，两个纵向轨道安装在机架上，两个所述横向轨道的两端分别滑动安装在两个纵向轨道上；
21、所述晶舟转运机构还包括控制两个所述横向轨道在两个纵向轨道上同步滑动的第二驱动组件。
22、所述夹持组件包括滑板、滑杆、第三安装板以及两个夹板，两个所述夹板滑动设置于第三安装板底部，所述第三安装板上安装有驱动两个夹板对晶舟进行夹持的第五驱动组件，所述滑板滑动安装在两个横向轨道上，所述滑杆贯穿安装在滑板上，所述滑板上安装有控制滑杆在滑板上升降的第三驱动组件；
23、所述第三安装板安装在滑杆底部，所述第三安装板上安装有控制两个夹板同步运动的第四驱动组件。
24、一种光伏ald工艺硅片上料方法，当需要将两片硅片插入同一个硅片槽中时；
25、步骤包括：
26、s11：所述转运机器人控制两个硅片固定组件从花篮放置工位处花篮内获取硅片；
27、s12：两个所述硅片固定组件相向运动，直至两个所述硅片固定组件上的硅片一一错位对插，且相对的两个硅片固定空间内的硅片贴合；
28、s13：所述转运机器人控制两个硅片固定组件将吸附的硅片转运至晶舟放置工位处同一个晶舟的同一格硅片槽中；
29、s14：重复s11至s13，当所述晶舟放置工位处晶舟的同一格硅片槽填满，控制所述硅片转运机构对晶舟的下一格硅片槽进行装填，直至将一个晶舟的硅片槽填满；
30、s15：通过晶舟转运机构将装填完毕的晶舟转运至待加工工位处。
31、当需要将一个硅片插入一个硅片槽中时；
32、步骤还包括：
33、s21：所述转运机器人控制两个硅片固定组件从花篮放置工位处花篮内获取硅片；
34、s22：所述转运机器人控制两个硅片固定组件将吸附的硅片晶舟分别转运至晶舟放置工位处同一个晶舟的不同格硅片槽中；
35、s23：重复s21至s22，当所述晶舟放置工位处同一个晶舟的两格硅片槽填满，控制所述硅片转运机构对晶舟的另外两格硅片槽进行装填，直至装填完毕；
36、s24：通过晶舟转运机构将装填完毕的晶舟转运至待加工工位处。
37、采用本发本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于，包括：机架，所述机架上设置有花篮放置工位（1）、硅片转运机构（2）、晶舟放置工位（3）以及晶舟转运机构（4）；
2.根据权利要求1所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：所述硅片转运机构（2）还包括转运支架（23）和用于驱动转运支架（23）活动的转运机器人（22），所述转运机器人（22）安装在机架上，所述转运支架（23）安装在转运机器人（22）上，所述转运支架（23）上安装有导向轨道（231），两个所述硅片固定组件（21）均滑动安装在导向轨道（231）上。
3.根据权利要求2所述的光伏ALD工艺高效上料机，其特征在于：所述硅片固定组件（21）还包括第一安装座（211）以及多个吸附板（212），所述第一安装座（211）滑动安装在导向轨道（231）上，多个所述吸附板（212）并列设置于第一安装座（211）底端，多个所述吸附板（212）的一面为吸附面，相邻的两个所述吸附板（212）之间为所述硅片固定空间，所述转运支架（23）上安装有用于驱动两个第一安装座（211）在导向轨道（231）上滑动的第一驱动组件；
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