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本发明公开了光伏ALD工艺高效上料机及上料方法，涉及到光伏ALD技术领域，包括：机架，所述机架上设置有花篮放置工位、硅片转运机构、晶舟放置工位以及晶舟转运机构，所述硅片转运机构包括两个滑动设置的硅片固定组件，每个所述硅片固定组件均包括两个分...
该专利属于无锡江松科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡江松科技股份有限公司授权不得商用。

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