【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片加工制造,尤其涉及一种制绒方法和制绒系统。
技术介绍
1、在制绒工艺中,硅片由花篮承载,一般使用机械臂搬运花篮,实现硅片在多个工序中的容纳槽之间的顺次转移。
2、例如,在hpbc电池的制绒工艺中,需要经过两次制绒工序,且两次制绒工序所使用的制绒液不同。在机械臂将花篮放置在二次制绒用的容纳槽内后,机械臂再次进入一次制绒工序用的容纳槽中勾取花篮。如此,会造成一次制绒工序中的制绒液与二次制绒工序中的制绒液混合,并发生反应生成沉淀物,沉淀物会附着在硅片上,附着有沉淀物的硅片在后续镀膜工序中易形成黑斑黑点,降低硅片的良率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种制绒方法和制绒系统,用于避免硅片在制绒时附着沉淀物,提升硅片的良率和效率。
2、为了实现上述目的,第一方面,本专利技术提供一种制绒方法,应用于具有m个制绒工位的制绒系统,制绒方法包括:在物料抓取装置将物料放置于第n个制绒工位后,且在物料抓取装置空载返回至第n-1个制绒工位中抓取已完成第n-1次
...【技术保护点】
1.一种制绒方法,其特征在于,应用于具有M个制绒工位的制绒系统,所述制绒方法包括:
2.根据权利要求1所述的制绒方法,其特征在于,所述物料每经过一次制绒后,均经过至少一次水洗。
3.根据权利要求1所述的制绒方法,其特征在于,所述水洗工位位于所述第N-1个制绒工位与所述第N个制绒工位之间。
4.根据权利要求1所述的制绒方法,其特征在于,在所述物料经过第一次制绒之前,所述制绒方法还包括预清洗所述物料。
5.根据权利要求2所述的制绒方法,其特征在于,在所述物料经过最后一次制绒并经水洗后,所述制绒方法还包括顺次对所述物料进行臭氧
...【技术特征摘要】
1.一种制绒方法,其特征在于,应用于具有m个制绒工位的制绒系统,所述制绒方法包括:
2.根据权利要求1所述的制绒方法,其特征在于,所述物料每经过一次制绒后,均经过至少一次水洗。
3.根据权利要求1所述的制绒方法,其特征在于,所述水洗工位位于所述第n-1个制绒工位与所述第n个制绒工位之间。
4.根据权利要求1所述的制绒方法,其特征在于,在所述物料经过第一次制绒之前,所述制绒方法还包括预清洗所述物料。
5.根据权利要求2所述的制绒方法,其特征在于,在所述物料经过最后一次制绒并经水洗后,所述制绒方法还包括顺次对所述物料进行臭氧清洗、酸洗、水洗、慢提拉以及烘干。
6.根据权利要求1所述的制绒方法,其特征在于,所述物料抓取装置在各个所述制绒工位放置和抓取所述物料时,所述物料抓取装置的至少2/3高度浸没于各个所述制绒工位所使用的制绒液...
【专利技术属性】
技术研发人员:李文强,於龙,童洪波,李华,
申请(专利权)人:泰州隆基乐叶光伏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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