下载一种制绒方法和制绒系统的技术资料

文档序号:40428245

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本发明公开一种制绒方法和制绒系统,涉及硅片加工制造技术领域,用于避免硅片在制绒时附着沉淀物,提升硅片的良率和效率。制绒方法应用于具有M个制绒工位的制绒系统,包括在物料抓取装置将物料放置于第N个制绒工位后,且在物料抓取装置空载返回至第N‑1个...
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