【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及谐振器，尤其涉及一种体声波谐振器及其制备方法。
技术介绍
1、体声波谐振器包括一个声反射结构和两个电极，以及位于两个电极之间的被称作压电激励的压电层。有时也将两个电极称为激励电极，其作用是引起谐振器各层的机械振荡。
2、由于体声波谐振器的横向尺寸大多在微米量级，薄膜厚度尺寸大多在纳米量级，因此体声波谐振器对外部环境非常敏感，空气中的水分子和气体可以与器件表面发生相互作用带来性能恶化和可靠性下降的问题。
3、现有技术通常在体声波谐振器的上表面沉积一层钝化层来进行保护。而传统的钝化层材料一般为氮化铝或钪掺杂氮化铝薄膜，虽然能够对器件起到一定的保护作用，但在高温环境中难以长时间阻挡水汽的干扰，进而导致电极和压电材料容易变形，从而导致体声波谐振器性能恶化，出现频率发生偏移等问题。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种体声波谐振器及其制备方法，以解决现有技术中激励电极和压电层易受空气中的水汽影响，进而导致体声波谐振器可靠性下降的问题。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种体声波谐振器，其中包括衬底、换能器堆叠结构和保护层，换能器堆叠结构位于衬底一侧；
3、衬底中设置有空腔，空腔贯穿部分衬底；
4、换能器堆叠结构中设置有释放通道，释放通道贯穿换能器堆叠结构且与空腔连通；
5、保护层设置在换能器堆叠结构远离衬底一侧的表面，保护层包括防水材料。
6、可选的，体声波谐振器还包括钝化层；
8、保护层的密度大于钝化层的密度。
9、可选的，保护层还设置在释放通道的内壁以及空腔的内壁。
10、可选的，保护层包括无机氧化物材料、金属氧化物材料和氮化物材料中的一种或多种。
11、可选的，换能器堆叠结构包括叠层设置的底电极层、压电层和上电极层；
12、体声波谐振器还包括第一电极板和第二电极板；
13、第一电极板贯穿保护层和压电层与底电极层连接,第二电极板贯穿保护层与上电极层连接。
14、可选的，衬底包括底层衬底、中部绝缘层和顶层衬底，顶层衬底位于靠近换能器堆叠结构一侧；
15、空腔贯穿顶层衬底；
16、体声波谐振器还包括保护墙；
17、保护墙覆盖空腔侧壁，且保护墙在保护层和空腔的侧壁之间。
18、可选的，体声波谐振器还包括种子层；
19、种子层位于衬底和换能器堆叠结构之间，种子层覆盖衬底。
20、根据本专利技术的另一方面，提供了一种体声波谐振器的制备方法，其中包括：
21、提供衬底；
22、在衬底一侧生长换能器堆叠结构；
23、刻蚀换能器堆叠结构，以形成释放通道；并向释放通道中通入腐蚀气体以腐蚀衬底并在衬底中形成空腔；
24、在换能器堆叠结构远离衬底一侧沉积一层保护层，以使保护层设置在换能器堆叠结构远离衬底一侧的表面；
25、保护层包括防水材料。
26、可选的，在换能器堆叠结构远离衬底一侧沉积一层保护层，包括：
27、采用原子层沉积技术在换能器堆叠结构远离衬底一侧沉积一层保护层。
28、可选的，在衬底一侧生长换能器堆叠结构，包括：
29、在保护层远离衬底一侧依次生长底电极层和压电层，并对压电层图案化，形成贯穿压电层的凹槽；
30、在压电层远离衬底一侧生长上电极层；
31、在上电极层远离衬底一侧生长电极板层，并对电极板层图案化，形成第一电极板和第二电极板。
32、本专利技术的技术方案，在体声波谐振器中设置具有防水材料的保护层，并使得保护层设置在换能器堆叠结构的表面，隔离激励电极、压电层与空气中的水汽，保护换能器堆叠结构免于受水汽的影响，提高了体声波谐振器的可靠性。
33、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本专利技术的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本专利技术的范围。本专利技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底、换能器堆叠结构和保护层，所述换能器堆叠结构位于所述衬底一侧；
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述体声波谐振器还包括钝化层；
3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述保护层还设置在所述释放通道的内壁以及所述空腔的内壁。
4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述保护层包括无机氧化物材料、金属氧化物材料和氮化物材料中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述换能器堆叠结构包括叠层设置的底电极层、压电层和上电极层；
6.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述衬底包括底层衬底、中部绝缘层和顶层衬底，所述顶层衬底位于靠近所述换能器堆叠结构一侧；
7.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述体声波谐振器还包括种子层；
8.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，在所述换能器堆叠结构远离所述衬底一侧沉积一层保
10.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底、换能器堆叠结构和保护层，所述换能器堆叠结构位于所述衬底一侧；
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述体声波谐振器还包括钝化层；
3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述保护层还设置在所述释放通道的内壁以及所述空腔的内壁。
4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述保护层包括无机氧化物材料、金属氧化物材料和氮化物材料中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述换能器堆叠结...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁志鹏，任沁，谢英，顾超，刘炎，詹道栋，谢亚东，孙成亮，孙博文，
申请(专利权)人：武汉敏声新技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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