【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传片机领域，具体涉及一种半导体传片机设备全自动化实现方法。
技术介绍
1、半导体前道传片机常规的操作方式为：人员根据机台规则，定死载具类型放入对应的作业口中，非常容易出现操作错误的情况，操作的效率也很低，需要时刻紧盯作业，出现问题也不易排查。
技术实现思路
1、为解决现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供了一种半导体传片机设备全自动化实现方法，可以避免人为操作失误的情况发生，并能提高自动化生产的能力。
2、为达到上述目的，本专利技术的技术解决方案如下:
3、一种半导体传片机设备全自动化实现方法，包括以下步骤：
4、步骤一，在mes系统中配置自动作业模式；
5、步骤二，操作人员放上对应的载具；
6、步骤三，设备自动化平台进行卡控，判断容错及防呆，卡控通过则进入后续流程，反之结束作业流程；
7、步骤四，设备自动化平台将作业指令发送给传片机设备，传片机设备根据作业指令进行作业；
8、步骤五，传片机设备作业结束，设备自动化平台向mes系统发送结束作业的信号并上报相关信息，mes系统对接收到的上报信息进行收集处理。
9、作为优选的技术方案，传片机设备与设备自动化平台采用hsms通讯，设备自动化平台作为服务端，传片机设备作为客户端，数据格式为secs。
10、作为优选的技术方案，传片机设备传片有六种载具转换方式，分别为foup转cst、cst转foup、foup转fosb
11、作为优选的技术方案，在步骤四中，传片机设备的作业流程包括：上料；查询配方清单并入账；创建工艺作业并执行；批次绑定或解绑；自动出站并上报，清除作业信息。
12、作为优选的技术方案，批次绑定或解绑为：传片机设备来料时fosb转foup，来料过程结束时对foup进行绑定操作，传片机设备出货时foup转fosb，出货结束时对foup进行解绑操作。
13、作为优选的技术方案，传片机设备上料时向设备自动化平台上报上料事件的信号，设备自动化平台收到信号后依次进行判断：是否计时、当前上料数量是否异常、是否进行读码，然后根据载具id读码并验证，判断上料类型以及是否超时，设备自动化平台下发指令给传片机设备验证硅片信息，判断两个上料口是否已完成上料。
14、作为优选的技术方案，验证硅片信息时有验证规则、通用规则、特殊情况和额外验证，验证规则是通过配方名称确定载具之间的转换关系；通用规则是主动传出的载具中的硅片标识数量及硅片信息与mes系统中一致；特殊情况是cst转foup时，要求foup实物为空，cst实物有料，且传片机上传和设备自动化平台下发的硅片信息结果与foup在mes系统中一致；额外验证是载具为目标载具时，保证目标载具为空载具，否则直接报错并清除然后提示。
15、作为优选的技术方案，传片机设备创建工艺作业并执行时，依次上报创建成功事件、开始执行事件、流程开始事件，然后判断当前配方是哪种作业方式，传送载具中的硅片信息，并由设备自动化平台验证，然后判断是否要绑定或解绑，调用mes系统并返回结果，设备自动化平台收到执行结果后显示批次出站信息，拿走载具并由传片机设备上报消息，设备自动化平台收到拿走载具的消息，清除作业信息。
16、与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
17、本专利技术的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，通过系统对作业流程中会导致作业错误的情况进行卡控和防呆，提升机台作业效率，实现全自动化作业。对作业过程中产生的异常情况进行解析及展示，让操作人员知悉异常原因并快速处理，进一步提升产出。
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1.一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，所述传片机设备与设备自动化平台采用HSMS通讯，所述设备自动化平台作为服务端，所述传片机设备作为客户端，数据格式为SECS。
3.根据权利要求1所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，所述传片机设备传片有六种载具转换方式，分别为Foup转CST、CST转Foup、Foup转Fosb，Fosb转Foup、Foup转Foup和Fosb转Fosb。
4.根据权利要求1所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，在所述步骤四中，所述传片机设备的作业流程包括：上料；查询配方清单并入账；创建工艺作业并执行；批次绑定或解绑；自动出站并上报，清除作业信息。
5.根据权利要求3或4所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，批次绑定或解绑为：所述传片机设备来料时Fosb转Foup，来料过程结束时对Foup进行绑定操作，所述传片机设备出货时Foup转Fosb，出货
6.根据权利要求4所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，所述传片机设备上料时向设备自动化平台上报上料事件的信号，设备自动化平台收到信号后依次进行判断：是否计时、当前上料数量是否异常、是否进行读码，然后根据载具ID读码并验证，判断上料类型以及是否超时，设备自动化平台下发指令给传片机设备验证硅片信息，判断两个上料口是否已完成上料。
7.根据权利要求6所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，验证硅片信息时有验证规则、通用规则、特殊情况和额外验证，验证规则是通过配方名称确定载具之间的转换关系；通用规则是主动传出的载具中的硅片标识数量及硅片信息与MES系统中一致；特殊情况是CST转Foup时，要求Foup实物为空，CST实物有料，且传片机上传和设备自动化平台下发的硅片信息结果与Foup在MES系统中一致；额外验证是载具为目标载具时，保证目标载具为空载具，否则直接报错并清除然后提示。
8.根据权利要求4所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，所述传片机设备创建工艺作业并执行时，依次上报创建成功事件、开始执行事件、流程开始事件，然后判断当前配方是哪种作业方式，传送载具中的硅片信息，并由设备自动化平台验证，然后判断是否要绑定或解绑，调用MES系统并返回结果，设备自动化平台收到执行结果后显示批次出站信息，拿走载具并由传片机设备上报消息，设备自动化平台收到拿走载具的消息，清除作业信息。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，所述传片机设备与设备自动化平台采用hsms通讯，所述设备自动化平台作为服务端，所述传片机设备作为客户端，数据格式为secs。
3.根据权利要求1所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，所述传片机设备传片有六种载具转换方式，分别为foup转cst、cst转foup、foup转fosb，fosb转foup、foup转foup和fosb转fosb。
4.根据权利要求1所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，在所述步骤四中，所述传片机设备的作业流程包括：上料；查询配方清单并入账；创建工艺作业并执行；批次绑定或解绑；自动出站并上报，清除作业信息。
5.根据权利要求3或4所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，批次绑定或解绑为：所述传片机设备来料时fosb转foup，来料过程结束时对foup进行绑定操作，所述传片机设备出货时foup转fosb，出货结束时对foup进行解绑操作。
6.根据权利要求4所述的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，其特征在于，所述传片机设备上料时向设备自动化平台...
【专利技术属性】
技术研发人员：李辉，张三星，徐庆中，
申请(专利权)人：上海哥瑞利软件股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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