【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多晶硅生产设备，尤其涉及一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统。
技术介绍
1、改良西门子法生产多晶硅的过程中，冷氢化工序中合成的二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的混合物需要送至精馏系统进行精馏。精馏系统将三氯氢硅经过多级精馏提纯，达到纯度极高的合格产品，然后再被送往还原炉进行多晶硅的生产。近年来，为了降低投资和运行成本，提升规模效应，进一步节约能耗，提高经济效益，多晶硅生产装置的产能在逐步扩大，精馏系统的规模也越来越大。然而，精馏系统规模的扩大，会影响精馏塔参数控制的精细化和精馏塔运行的稳定性；尤其是在精馏系统大负荷运行时，精馏塔参数控制的精细化相对变差、运行的稳定性也会变差；当系统波动或冷氢化来料杂质含量突然上升时，杂质会富集在精馏系统，对精馏系统造成冲击。由于现有的精馏系统为单线精馏，杂质富集在精馏系统后会直接影响到输出的液相三氯氢硅的质量稳定性，进一步造成后期生产多晶硅的过程中，多晶硅的质量可控性差，质量频繁波动，极大地影响经济效益。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，主要目的在于提升精馏系统大负荷运行的稳定性和可靠性，保障三氯氢硅的质量稳定性，进而降低对多晶硅产品质量的影响。
2、为达到上述目的，本专利技术主要提供如下技术方案：
3、本专利技术的实施例提供一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，包括:冷氢化初分塔、粗馏一级塔、低沸回收塔、粗馏二级塔、精馏一级塔、高沸回收塔、精馏二级塔、精馏
4、所述冷氢化初分塔用于分离提纯合成物料；
5、所述粗馏一级塔与所述冷氢化初分塔连通；
6、所述低沸回收塔与所述粗馏一级塔连通，用于分离所述粗馏一级塔的回流采出物料；
7、所述粗馏二级塔与所述粗馏一级塔连通，用于分离提纯所述粗馏一级塔的塔釜采出物料；
8、所述精馏一级塔与所述粗馏二级塔连通，用于对所述粗馏二级塔的回流采出物料进行除重处理；
9、所述高沸回收塔与所述精馏一级塔连通，用于对所述精馏一级塔的塔釜采出物料进行除重处理；
10、所述精馏二级塔与所述精馏一级塔连通，用于对所述精馏一级塔的回流采出物料进行除轻处理；
11、所述精馏二级塔与所述粗馏一级塔连通，用于部分物料回流采出至所述粗馏一级塔进行提纯；
12、所述精馏三级塔与所述精馏二级塔连通，用于对所述精馏二级塔的塔釜采出物料进行除重处理；所述精馏三级塔能够回流采出三氯氢硅；
13、所述精馏三级塔的塔釜与所述精馏一级塔连通，用于所述精馏三级塔的塔釜部分物料回流至所述精馏一级塔继续提纯；
14、所述脱轻塔的物料入口与所述低沸回收塔的塔釜连通，用于对所述低沸回收塔的塔釜采出物料进行脱轻处理；
15、所述脱轻塔的物料入口与所述高沸回收塔连通，用于对所述高沸回收塔的回流采出物料进行脱轻处理；
16、所述脱轻塔的回流采出口与所述低沸回收塔连通；
17、所述脱重塔的物料入口与所述脱轻塔的塔釜采出口连通；
18、所述高沸回收塔与所述脱重塔的塔釜连通，用于对所述脱重塔的塔釜采出物料进行脱重处理；
19、所述脱重塔的气相出口与气相吸附装置的入口连通；
20、所述轻分塔的入口与所述气相吸附装置的出口连通；所述轻分塔的回流采出口与所述脱轻塔连通；
21、所述重分塔与所述轻分塔的塔釜连通，用于所述轻分塔的塔釜采出物料进行脱重处理；所述重分塔能够回流采出三氯氢硅。
22、进一步地，还包括：反歧化装置和氢化反歧化分馏塔；
23、所述反歧化装置与所述低沸回收塔连通；
24、所述氢化反歧化分馏塔的物料入口与所述反歧化装置连通；
25、所述氢化反歧化分馏塔的物料出口与所述低沸回收塔的物料入口连通。
26、进一步地，所述粗馏二级塔上具有回流采出进料口，所述回流采出进料口与所述粗馏一级塔的塔釜连通；
27、所述塔釜泵的输入端与所述粗馏二级塔的塔釜连通；
28、所述塔釜泵的输出端与所述粗馏二级塔的络合回流口连通；
29、所述粗馏二级塔的络合回流口位于所述回流采出进料口的上方。
30、进一步地，还包括：水解处理系统；
31、所述水解处理系统与所述塔釜泵的输出端连通。
32、进一步地，所述粗馏二级塔硅氧烷设置有硅氧烷补充口，所述硅氧烷补充口位于所述回流采出进料口的上方，用于硅氧烷的输入。
33、进一步地，所述水解处理系统与所述高沸回收塔的塔釜连通。
34、进一步地，还包括：冷氢化系统；
35、所述冷氢化系统与所述冷氢化初分塔的塔釜连通；
36、所述冷氢化系统与所述氢化反歧化分馏塔的塔釜连通。
37、进一步地，所述脱重塔与所述高沸回收塔之间连接有液相吸附装置。
38、进一步地，所述液相吸附装置采用的吸附剂为改性活性炭或吸附树脂或硅胶；
39、所述气相吸附装置采用的吸附剂为硅铝凝胶或活性炭或分子筛；
40、所述气相吸附装置采用的吸附剂与所述液相吸附装置采用的吸附剂不同。
41、进一步地，所述粗馏二级塔采用硅氧烷进行络合除杂。
42、借由上述技术方案，本专利技术多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统至少具有下列优点：
43、能够提升精馏系统大负荷运行的稳定性和可靠性，保障三氯氢硅的质量稳定性，进而降低对多晶硅产品质量的影响。
44、上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
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1.一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，包括:冷氢化初分塔、粗馏一级塔、低沸回收塔、粗馏二级塔、精馏一级塔、高沸回收塔、精馏二级塔、精馏三级塔、脱轻塔、脱重塔、轻分塔和重分塔；
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，还包括：反歧化装置和氢化反歧化分馏塔；
3.根据权利要求1所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，还包括：水解处理系统；
5.根据权利要求4所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，
7.根据权利要求2所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，还包括：冷氢化系统；
8.根据权利要求1所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，
10.根据权利要求1
...【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，包括:冷氢化初分塔、粗馏一级塔、低沸回收塔、粗馏二级塔、精馏一级塔、高沸回收塔、精馏二级塔、精馏三级塔、脱轻塔、脱重塔、轻分塔和重分塔；
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，还包括：反歧化装置和氢化反歧化分馏塔；
3.根据权利要求1所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其特征在于，还包括：水解处理系统；
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【专利技术属性】
技术研发人员：牛刚，罗佳林，陈文吉，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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