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本发明涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯系统，其包括:粗馏一级塔与冷氢化初分塔连通；低沸回收塔与粗馏一级塔连通；粗馏二级塔与粗馏一级塔连通；精馏一级塔与粗馏二级塔连通；高沸回收塔与精馏一级塔连通；精馏二级...
该专利属于新疆大全新能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新疆大全新能源股份有限公司授权不得商用。

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