【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，具体地，涉及一种立式炉的进气组件和立式炉。
技术介绍
1、立式炉管是用于对晶圆进行热处理的半导体设备。在对晶圆进行退火、扩散等热处理工艺时，需要向工艺室中通入特定气体作为工艺用气体或保护气体以满足加工需要。目前，通常利用固定在工艺室内壁或外壁上的l形石英管作为送气管，而石英材质本身脆弱易碎，l形石英管在拆装时，密封管口处易产生磕碰碎裂；在使用时，石英管的竖直端重量全部压在弯曲部位，弯曲部位易产生断裂。
技术实现思路
1、本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术的实施例提出一种立式炉的进气组件，该立式炉的进气组件具有故障率较低、便于组装的优点。
2、本技术实施例还提出一种立式炉。
3、本技术实施例的立式炉的进气组件包括进气管，所述进气管为金属材料，所述进气管为包括第一管段和第二管段的弯管，所述第一管段的一端与所述第二管段的一端连接；送气管，所述送气管为石英材料，所述送气管的内径大于所述第二管段的外径，所述送气管套设在所...
【技术保护点】
1.一种立式炉的进气组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的立式炉的进气组件，其特征在于，所述进气管为直角弯管，所述第一管段的延伸方向和所述第二管段的延伸方向正交。
3.根据权利要求2所述的立式炉的进气组件，其特征在于，所述进气管还包括套筒，所述套筒套设于所述第二管段的外周侧，所述套筒的内径大于所述送气管的外径，至少部分所述送气管插置于所述第二管段和所述套筒之间。
4.根据权利要求3所述的立式炉的进气组件，其特征在于，所述套筒包括环形部和筒状部，所述环形部设于所述第二管段的外周侧并与所述第二管段的外壁相连，所述筒状部的下端...
【技术特征摘要】
1.一种立式炉的进气组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的立式炉的进气组件，其特征在于，所述进气管为直角弯管，所述第一管段的延伸方向和所述第二管段的延伸方向正交。
3.根据权利要求2所述的立式炉的进气组件，其特征在于，所述进气管还包括套筒，所述套筒套设于所述第二管段的外周侧，所述套筒的内径大于所述送气管的外径，至少部分所述送气管插置于所述第二管段和所述套筒之间。
4.根据权利要求3所述的立式炉的进气组件，其特征在于，所述套筒包括环形部和筒状部，所述环形部设于所述第二管段的外周侧并与所述第二管段的外壁相连，所述筒状部的下端与所述环形部的外缘相连，所述送气管可配合至所述筒状部和所述第二管段之间，所述送气管的下端可止抵于所述环形部。
5.根据权利要求4所述的立式炉的进气组件，其特征在于，所述筒状部的长度尺寸小于所述第二管段的长度尺寸，以使至少部分所述第二管段从所述筒状部背离所述第一管段的一端伸出。
6.根据权利要求4所述的立式炉的进气组件，其特征在于，所述进气组件还包括锁止件，至少部分所述锁止件设于所述套筒的外周侧，所述套筒设有通孔，所述送气管设有装配槽，所述通孔可与所述装配槽相对，至少部分所述锁止件可贯穿所述通孔并配合至所述装配槽内，以使所述进气管和所述送气管相对...
【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，鲁冲昊，曹建伟，朱亮，陈聪，刘毅，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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