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本技术公开了一种立式炉的进气组件和应用该进气组件的立式炉,所述立式炉的进气组件包括进气管和送气管,所述进气管为金属材料,所述进气管为包括第一管段和第二管段的弯管,所述第一管段的一端与所述第二管段的一端连接;所述送气管为石英材料,所述送气管的...该专利属于浙江求是半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江求是半导体设备有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种立式炉的进气组件和应用该进气组件的立式炉,所述立式炉的进气组件包括进气管和送气管,所述进气管为金属材料,所述进气管为包括第一管段和第二管段的弯管,所述第一管段的一端与所述第二管段的一端连接;所述送气管为石英材料,所述送气管的...