【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，具体为高智能化真空镀膜机。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，其中的一种蒸发镀膜的方式，其一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点-岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。
2、现有授权公告号为cn110629172b的中国专利，其公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，包括底座、真空机、输送装置、密封装置、镀膜箱、阴极、靶、阳极、氩离子机，镀膜箱底部与底座相连接，真空机、氩离子机设在底座上并分别与镀膜箱底部相连通，镀膜箱内部的上下两端分别设有阴极、阳极，阴极底部连接有靶，输送装置顶部横穿镀膜箱，镀膜箱的两端分别安装有密封装置，密封装置与输送装置相配合，输送装置包括输送轮、输送带、重力轮、导杆、支架；该专利技术，通过密封装置的开关与输送带配合能够对镀膜箱进行密封，通过输送带能够使工件持续进行输送，比起取件加放件叠加的动作，能够减少停工的时间，提高那个工作效率。
3、现有授权公告号为cn108048802b的中国专利，其公开了一种用于大面积热蒸法沉积薄膜太阳能电池吸收层的真空镀膜机，包括真空腔室、连续送料机构、横向输送机构、蒸发沉积机构及纵向移动机构；采用连续送料机构实施粉末材料的连续摆动式送料，蒸发沉积机构使得粉末材料充分气化沉积，最终由沉积喷头的小孔喷出，形成莲蓬状的气流均匀沉积在基板上；该专利技术，采用横向输送机构及纵向移动机构控制真空腔室内基板的水平横向运动及控制蒸发沉积机构
4、然而，该真空镀膜机在具体使用时存在以下缺陷：
5、1、现有的真空镀膜机在通过蒸发镀膜的方式对工件进行镀膜时，需要将待镀膜的工件放置在真空镀膜机的内部，而镀膜作业进行时，因为是通过高温蒸汽实现工件表面薄膜覆盖的，在完成加工时，工件内部会持续相对一段长的高温，此时不方便将完成覆膜的工件拿出，进而导致对工件进行覆膜的效率降低；
6、2、现有的真空镀膜机在通过蒸发镀膜的方式对工件进行镀膜时，因为进行镀膜的高温气体一般是通过单组或者多组喷气管道喷出的，此时对于远离排气管道一侧的工件部分，与靠近排气管道一侧的工件部分表面覆膜的效率差距较大，导致实际对大量的工件进行覆膜时，会产生覆膜的工件一侧较为完整（厚度），覆膜的工件另一侧较薄（相对于要求厚度），影响工件的质量。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供高智能化真空镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述专利技术目的，本专利技术采用如下技术方案：
3、本专利技术提供的高智能化真空镀膜机，包括真空镀膜机机体以及设置在真空镀膜机机体内侧的智能送料部件，所述智能送料部件的顶端可对镀膜工件进行定位且延伸至真空镀膜机机体内部的镀膜腔内，所述真空镀膜机机体的侧面设置有抽气箱，所述抽气箱的顶部通过管道连接有加热箱，所述加热箱通过热气排出管道延伸至镀膜腔内，所述真空镀膜机机体的背面设置有通过管道连接的真空泵，所述智能送料部件还包括有：
4、皮带传动组件，其安装在所述真空镀膜机机体底部的侧面，所述皮带传动组件位于真空镀膜机机体底部的一侧且延伸至滑轨的内侧，所述滑轨通过其外侧的连接块安装在真空镀膜机机体的内侧；
5、丝杆送料组件，其安装在所述滑轨的内部且由皮带传动组件进行驱动，所述丝杆送料组件的内侧安装有连接盘；
6、伸缩旋转组件，其安装在所述连接盘的侧面且可延伸至镀膜腔的内部，所述伸缩旋转组件的直径大于与镀膜腔内底部开设的通孔相匹配，所述伸缩旋转组件的顶部通过若干旋转机构连接定位有镀膜工件；
7、所述镀膜腔的内壁还设置有温度控制模块和薄膜监控模块，所述镀膜腔的正面开口处设置有镀膜密封板。
8、作为本专利技术的优选方案，所述真空镀膜机机体的侧面还安装有活性炭净化箱，所述活性炭净化箱的顶部输气端通过管道和抽气泵进行连接；
9、其中，所述抽气泵安装在活性炭净化箱的顶部且其抽气端连接有抽气管道，所述抽气管道安装在支撑架的侧面，所述支撑架安装在真空镀膜机机体的顶部；
10、抽气嘴，其通过管道安装在所述支撑架的内底部且延伸至镀膜腔的内部。
11、作为本专利技术的优选方案，所述活性炭净化箱的内部设置有对镀膜废气进行净化的活性炭净化层，所述支撑架的结构形状为“凹”形；
12、其中，所述抽气嘴和其匹配使用的管道设置有若干，且该抽气嘴和管道均与抽气管道相连通，所述抽气嘴对镀膜产生的废气进行抽取。
13、作为本专利技术的优选方案，所述抽气箱通过抽气口对外界气体进行抽取，且所述加热箱对抽气箱抽取的气体进行加热；
14、所述热气排出管道可将高温气体传输并通过高温气体使得待镀膜工件表面的靶材沉降形成薄膜。
15、作为本专利技术的优选方案，所述皮带传动组件包括有：
16、第一电机，其安装在所述真空镀膜机机体的侧面，所述第一电机的输出端外侧安装有一组皮带轮，所述皮带轮的外侧安装有第一皮带；
17、第一丝杆，其一端的外侧安装有另一组所述皮带轮，且该另一组皮带轮通过第一皮带进行传动，所述第一丝杆延伸至一组滑轨的内部；
18、第二皮带，其安装在所述第一皮带的侧面且与第一丝杆通过皮带轮进行连接，所述第二皮带内侧的还通过皮带轮连接有第二丝杆；
19、所述第二丝杆延伸至另一组滑轨的内部。
20、作为本专利技术的优选方案，所述第一丝杆和第二丝杆均与滑轨转动连接，所述第一丝杆和第二丝杆的外侧均安装有丝杆送料组件；
21、另外，所述第一皮带和第二皮带的内侧均设置有两组皮带轮，安装在所述第一丝杆外侧的皮带轮设置有两组且分别与第一皮带和第二皮带连接；
22、所述第一丝杆的长度大于第二丝杆的长度。
23、作为本专利技术的优选方案，所述丝杆送料组件包括有：
24、滑动座，其通过滚珠分别连接在所述第一丝杆和第二丝杆的外侧，所述滑动座和滑轨滑动连接；
25、安装架，其安装在所述滑动座的侧面且结构形状为“凹”形，所述安装架的内侧安装固定有连接盘。
26、作为本专利技术的优选方案，所述伸缩旋转组件包括有：
27、抬升气缸，其安装在所述连接盘的底部，所述抬升气缸的输出端贯穿连接盘且其顶部安装有放置圆盘，所述放置圆盘与镀膜腔内底部开设的通孔大小相匹配；
28、第二电机，其安装在所述连接盘的正面，所述第二电机的输出端外侧安装有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮底部的侧面啮合连接有第二锥形齿轮；
29、圆筒，其安装在所述第二锥形齿轮的顶部且延伸至连接盘的外侧，所述圆筒的内部滑动连接有延伸至其外侧的连杆，所述连杆的顶部贯穿放置圆盘且安装有第一转动齿轮；
30、所本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.高智能化真空镀膜机，包括真空镀膜机机体（10）以及设置在真空镀膜机机体（10）内侧的智能送料部件（20），所述智能送料部件（20）的顶端可对镀膜工件进行定位且延伸至真空镀膜机机体（10）内部的镀膜腔（10i）内，所述真空镀膜机机体（10）的侧面设置有抽气箱（30），所述抽气箱（30）的顶部通过管道连接有加热箱（40），所述加热箱（40）通过热气排出管道（40i）延伸至镀膜腔（10i）内，所述真空镀膜机机体（10）的背面设置有通过管道连接的真空泵（50），其特征在于：所述智能送料部件（20）还包括有：
2.根据权利要求1所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜机机体（10）的侧面还安装有活性炭净化箱（10a），所述活性炭净化箱（10a）的顶部输气端通过管道和抽气泵（10b）进行连接；
3.根据权利要求2所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述活性炭净化箱（10a）的内部设置有对镀膜废气进行净化的活性炭净化层，所述支撑架（10d）的结构形状为“凹”形；
4.根据权利要求1所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述抽气箱（30）通过抽
5.根据权利要求4所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述皮带传动组件（60）包括有：
6.根据权利要求5所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述第一丝杆（604）和第二丝杆（606）均与滑轨（60i）转动连接，所述第一丝杆（604）和第二丝杆（606）的外侧均安装有丝杆送料组件（70）；
7.根据权利要求6所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述丝杆送料组件（70）包括有：
8.根据权利要求1所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述伸缩旋转组件（80）包括有：
9.根据权利要求8所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述第二锥形齿轮（805）和第一锥形齿轮（804）均与连接盘（70i）活动连接，所述圆筒（806）的内部呈环形等距开设有四组定位槽（806a）；
10.根据权利要求8所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述旋转机构（90）包括有第二转动齿轮（901），其啮合连接在所述第一转动齿轮（808）的侧面且凸杆中心部分的转动轴杆（902）转动连接在放置圆盘（802）的顶部中心处；所述第二转动齿轮（901）的顶部偏心处设置有齿牙部（903），所述齿牙部（903）和安装在第二转动齿轮（901）顶部的第三转动齿轮（904）啮合连接；所述第三转动齿轮（904）呈环形等距设置有三组，且三组第三转动齿轮（904）的中心部分均通过中心轴和转动轴杆（902）的侧面进行连接；所述转动轴杆（902）的侧面中心处安装有夹具连杆（905），所述夹具连杆（905）的侧面通过对应的夹头（906）对镀膜工件进行定位。
...【技术特征摘要】
1.高智能化真空镀膜机，包括真空镀膜机机体（10）以及设置在真空镀膜机机体（10）内侧的智能送料部件（20），所述智能送料部件（20）的顶端可对镀膜工件进行定位且延伸至真空镀膜机机体（10）内部的镀膜腔（10i）内，所述真空镀膜机机体（10）的侧面设置有抽气箱（30），所述抽气箱（30）的顶部通过管道连接有加热箱（40），所述加热箱（40）通过热气排出管道（40i）延伸至镀膜腔（10i）内，所述真空镀膜机机体（10）的背面设置有通过管道连接的真空泵（50），其特征在于：所述智能送料部件（20）还包括有：
2.根据权利要求1所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜机机体（10）的侧面还安装有活性炭净化箱（10a），所述活性炭净化箱（10a）的顶部输气端通过管道和抽气泵（10b）进行连接；
3.根据权利要求2所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述活性炭净化箱（10a）的内部设置有对镀膜废气进行净化的活性炭净化层，所述支撑架（10d）的结构形状为“凹”形；
4.根据权利要求1所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述抽气箱（30）通过抽气口对外界气体进行抽取，且所述加热箱（40）对抽气箱（30）抽取的气体进行加热；
5.根据权利要求4所述的高智能化真空镀膜机，其特征在于：所述皮带传动组件（60）包括有：
6.根据权利要求5所述的高智能化真空镀膜机，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵红利，沈学标，臧慧珠，臧小彬，
申请(专利权)人：江苏吉美新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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