【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种亚表面定值校准标准样板，属于光学计量检测。
技术介绍
1、高性能光学元件是现代高功率激光系统及大型光学装备的核心组成部分，为保障其加工质量和服役可靠性需要对其进行表面及亚表面缺陷检测。
2、现有亚表面缺陷无损检测技术主要包括：激光调制散射技术，全内反射显微技术，光学相干层析技术，高频扫描声学显微技术，x射线显微成像技术、共焦显微成像技术。其中共焦显微测量技术相比于其他技术具有测量分辨力高、轴向层析能力强、可以测量复杂样品结构等特点，具有相对优势，但仍然存在亚表面量值准确性无法保证、量值溯源困难等问题。
3、由于亚表面测量与表面测量的差异性，采用常规表面结构标准样板进行亚表面结构测量校准的准确性无法保证，同时根据公开文献，我国及iso国际标准化组织尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系。因此，如何提供一种适用于共焦显微镜测量亚表面结构样品时评价其轴向定位精度、横向分辨力以及测量灵敏度的标准样板是本领域技术人员亟需解决的问题。
4、因此，亟需提出一种亚表面定值校准标准样板，...
【技术保护点】
1.一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。
2.根据权利要求1所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述定值校准结构和辅助定位结构在融石英基底(7)上光刻制备，定值校准结构和辅助定位结构表面涂覆厚度为H的透明薄膜(8)并固化。
3.根据权利要求2所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：透明薄膜折射率与融石英基底的折射率相差大于1。
4.根据权利要求1或2所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。
2.根据权利要求1所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述定值校准结构和辅助定位结构在融石英基底(7)上光刻制备，定值校准结构和辅助定位结构表面涂覆厚度为h的透明薄膜(8)并固化。
3.根据权利要求2所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：透明薄膜折射率与融石英基底的折射率相差大于1。
4.根据权利要求1或2所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述定值校准结构包括阶梯结构(1)、线对结构(2)和点结构(3)，阶梯结构(1)、线对结构(2)和点结构(3)顺次沿水平方向布置。
5.根据权利要求4所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述阶梯结构(1)包括若干三阶梯结构，若干三阶梯结构沿水平方向等距布置，其三...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘俭，刘辰光，姜勇，由小玉，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。