【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种亚表面定值校准标准样板，属于光学计量检测。
技术介绍
1、高性能光学元件是现代高功率激光系统及大型光学装备的核心组成部分，为保障其加工质量和服役可靠性需要对其进行表面及亚表面缺陷检测。
2、现有亚表面缺陷无损检测技术主要包括：激光调制散射技术，全内反射显微技术，光学相干层析技术，高频扫描声学显微技术，x射线显微成像技术、共焦显微成像技术。其中共焦显微测量技术相比于其他技术具有测量分辨力高、轴向层析能力强、可以测量复杂样品结构等特点，具有相对优势，但仍然存在亚表面量值准确性无法保证、量值溯源困难等问题。
3、由于亚表面测量与表面测量的差异性，采用常规表面结构标准样板进行亚表面结构测量校准的准确性无法保证，同时根据公开文献，我国及iso国际标准化组织尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系。因此，如何提供一种适用于共焦显微镜测量亚表面结构样品时评价其轴向定位精度、横向分辨力以及测量灵敏度的标准样板是本领域技术人员亟需解决的问题。
4、因此，亟需提出一种亚表面定值校准标准样板，以解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了解决尚未针对亚表面缺陷检测计量与校准建立起相关的计量体系的问题，提供一种亚表面定值校准标准样板，在下文中给出了关于本专利技术的简要概述，以便提供关于本专利技术的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本专利技术的穷举性概述。它并不是意图确定本专利技术的关键或重要部分，也不是意图限定
2、本专利技术的技术方案：
3、一种亚表面定值校准标准样板，包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。
4、优选的：所述定值校准结构和辅助定位结构在融石英基底上光刻制备，定值校准结构和辅助定位结构表面涂覆厚度为h的透明薄膜并固化。
5、优选的：透明薄膜折射率与融石英基底的折射率相差大于1。
6、优选的：所述定值校准结构包括阶梯结构、线对结构和点结构，阶梯结构、线对结构和点结构顺次沿水平方向布置。
7、优选的：所述阶梯结构包括若干三阶梯结构，若干三阶梯结构沿水平方向等距布置，其三个阶梯的高度分别为h1、h2、h3，h＞h3＞h2＞h1；
8、所述线对结构包括若干竖向设置的线对，每组线对包括两条相同的线条，线条的宽度l与线条间距宽度d相同，若干线对沿水平方向设置，线对中的线条宽度从左到右递增，相邻线对的间距从左到右递增；
9、所述点结构包括若干线性阵列布置的圆点结构，竖向的圆点结构直径d相同，水平向的圆点结构直径d依次递增。
10、优选的：h1＝20μm，h2＝40μm，h3＝60μm，阶梯结构的周期为w＝60μm；线条宽度l与线条间距宽度d的范围可以选择在200nm～1000nm；点结构直径d范围可以选择在100nm～500nm；线对结构与点结构的刻蚀深度在100nm～200nm范围。
11、优选的：所述辅助定位结构包括第一辅助定位结构和第二辅助定位结构，第二辅助定位结构的内部中心处设置第一辅助定位结构，第一辅助定位结构的内部中心处设置定值校准结构，第一辅助定位结构、第二辅助定位结构均具有矩形边框结构和等边三角形结构，矩形边框结构的长边沿水平方向设置，等边三角形的一个边位于矩形边框结构的短边上，且等边三角形的一个边的中点与矩形边框结构的中点重合。
12、本专利技术具有以下有益效果：
13、本专利技术通过定值校准结构，并在其表面均匀涂覆透明薄膜，达到真实模拟了亚表面被测结构的实际状态的目的；
14、本专利技术使用多种结构来进行仪器性能指标的评价与校准溯源，针对性强；使用不同高度的阶梯结构评价轴向定位精度；使用不同宽度的线对结构评价横向分辨力，采用不同直径的点结构来评价测量灵敏度，进而为亚表面结构几何参数光学共焦显微测量的量值准确性提供保障；
15、本专利技术直接在融石英基底上制备定值校准结构，其中的三阶梯结构的设计能更好的对光学共焦显微测量的轴向定位精度以及亚表面测量深度精度进行评价。
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1.一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。
2.根据权利要求1所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述定值校准结构和辅助定位结构在融石英基底(7)上光刻制备，定值校准结构和辅助定位结构表面涂覆厚度为H的透明薄膜(8)并固化。
3.根据权利要求2所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：透明薄膜折射率与融石英基底的折射率相差大于1。
4.根据权利要求1或2所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述定值校准结构包括阶梯结构(1)、线对结构(2)和点结构(3)，阶梯结构(1)、线对结构(2)和点结构(3)顺次沿水平方向布置。
5.根据权利要求4所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述阶梯结构(1)包括若干三阶梯结构，若干三阶梯结构沿水平方向等距布置，其三个阶梯的高度分别为H1、H2、H3，H＞H3＞H2＞H1；
6.根据权利要求5所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征
7.根据权利要求1或2所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述辅助定位结构包括第一辅助定位结构(4)和第二辅助定位结构(5)，第二辅助定位结构(5)的内部中心处设置第一辅助定位结构(4)，第一辅助定位结构(4)的内部中心处设置定值校准结构，第一辅助定位结构(4)、第二辅助定位结构(5)均具有矩形边框结构和等边三角形结构，矩形边框结构的长边沿水平方向设置，等边三角形的一个边位于矩形边框结构的短边上，且等边三角形的一个边的中点与矩形边框结构的中点重合。
...【技术特征摘要】
1.一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：包括透明薄膜、定值校准结构和辅助定位结构，所述透明薄膜下侧设置有定值校准结构和辅助定位结构，定值校准结构位于辅助定位结构内侧。
2.根据权利要求1所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述定值校准结构和辅助定位结构在融石英基底(7)上光刻制备，定值校准结构和辅助定位结构表面涂覆厚度为h的透明薄膜(8)并固化。
3.根据权利要求2所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：透明薄膜折射率与融石英基底的折射率相差大于1。
4.根据权利要求1或2所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述定值校准结构包括阶梯结构(1)、线对结构(2)和点结构(3)，阶梯结构(1)、线对结构(2)和点结构(3)顺次沿水平方向布置。
5.根据权利要求4所述的一种亚表面定值校准标准样板，其特征在于：所述阶梯结构(1)包括若干三阶梯结构，若干三阶梯结构沿水平方向等距布置，其三...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘俭，刘辰光，姜勇，由小玉，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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