【技术实现步骤摘要】
本技术涉及加工，特别涉及一种加工载台和加工设备。
技术介绍
1、加工载台的承载件通常通过螺丝连接进行固定。然而，螺丝连接不仅不方便拆装、不方便调节，而且螺丝连接还容易使得承载件变形，造成用于承载产品的表面不平整。
技术实现思路
1、本技术提供一种加工载台和加工设备，该加工载台能够通过真空吸附固定承载件，方便承载件拆装以及调节的同时，还降低承载件变形的概率，提升加工效果。
2、本技术提出的加工载台，包括：承载件，所述承载件用于承载产品；
3、真空吸附件，所述真空吸附件与所述承载件共同围设形成真空腔。
4、可选地，所述加工载台还包括旋转电机，所述旋转电机与所述真空吸附件连接，所述旋转电机驱动所述真空吸附件转动。
5、可选地，所述承载件包括多个加工区，多个所述加工区用于分别承载所述产品。
6、可选地，所述加工区包括承载主体以及设于所述承载主体上的覆盖件，所述覆盖件承载所述产品，所述承载主体与所述覆盖件共同围设形成互不连通的第一吸附腔和第二吸附腔，所述覆盖件设有多个第一通气孔和多个第二通气孔，所述第一通气孔连通所述第一吸附腔与外界，所述第二通气孔连通所述第二吸附腔与外界。
7、可选地，所述第二吸附腔围绕所述第一吸附腔设置。
8、可选地，所述承载件还包括调节开关，所述调节开关可以控制所述第一吸附腔或所述第二吸附腔吸附或者停止吸附。
9、可选地，所述承载主体设有容置凹槽，所述加工载台还包括密封圈，所
10、可选地，所述加工载台还包括活动对位件，所述活动对位件设于所述承载件上，所述活动对位件能沿靠近或远离所述产品的方向移动。
11、可选地，所述加工载台还包括固定对位件，所述固定对位件设于所述承载件上，所述活动对位件和所述固定对位件在所述活动对位件的移动方向上分别位于所述产品的两侧。
12、本技术还提出一种加工设备，包括如上述实施方式所述的加工载台。
13、本技术的加工载台和加工设备，通过真空腔对承载件进行吸附固定，在需要拆卸承载件或调整承载件位置时，解除真空腔的真空状态即可，因而能够方便地拆卸承载件以及调整承载件位置；此外，由于承载件与真空吸附件通过真空腔真空吸附连接，因而相较于螺丝固定，承载件的受力面积较大且受力较为均匀，能够有效避免承载件由于固定而变形，从而减少放置于承载件上的产品由于承载件变形而变形的问题，提高产品的加工质量。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种加工载台，其特征在于，所述加工载台包括：
2.如权利要求1所述的加工载台，其特征在于，所述加工载台还包括旋转电机，所述旋转电机与所述真空吸附件连接，所述旋转电机驱动所述真空吸附件转动。
3.如权利要求1所述的加工载台，其特征在于，所述承载件包括多个加工区，多个所述加工区用于分别承载所述产品。
4.如权利要求3所述的加工载台，其特征在于，所述加工区包括承载主体以及设于所述承载主体上的覆盖件，所述覆盖件承载所述产品，所述承载主体与所述覆盖件共同围设形成互不连通的第一吸附腔和第二吸附腔，所述覆盖件设有多个第一通气孔和多个第二通气孔，所述第一通气孔连通所述第一吸附腔与外界，所述第二通气孔连通所述第二吸附腔与外界。
5.如权利要求4所述的加工载台，其特征在于，所述第二吸附腔围绕所述第一吸附腔设置。
6.如权利要求4或5中所述的加工载台，其特征在于，所述承载件还包括调节开关，所述调节开关可以控制所述第一吸附腔或所述第二吸附腔吸附或者停止吸附。
7.如权利要求5所述的加工载台，其特征在于，所述承载主体设有容置凹槽，
8.如权利要求1所述的加工载台，其特征在于，所述加工载台还包括活动对位件，所述活动对位件设于所述承载件上，所述活动对位件能沿靠近或远离所述产品的方向移动。
9.如权利要求8所述的加工载台，其特征在于，所述加工载台还包括固定对位件，所述固定对位件设于所述承载件上，所述活动对位件和所述固定对位件在所述活动对位件的移动方向上分别位于所述产品的两侧。
10.一种加工设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项权利要求所述的加工载台。
...【技术特征摘要】
1.一种加工载台，其特征在于，所述加工载台包括：
2.如权利要求1所述的加工载台，其特征在于，所述加工载台还包括旋转电机，所述旋转电机与所述真空吸附件连接，所述旋转电机驱动所述真空吸附件转动。
3.如权利要求1所述的加工载台，其特征在于，所述承载件包括多个加工区，多个所述加工区用于分别承载所述产品。
4.如权利要求3所述的加工载台，其特征在于，所述加工区包括承载主体以及设于所述承载主体上的覆盖件，所述覆盖件承载所述产品，所述承载主体与所述覆盖件共同围设形成互不连通的第一吸附腔和第二吸附腔，所述覆盖件设有多个第一通气孔和多个第二通气孔，所述第一通气孔连通所述第一吸附腔与外界，所述第二通气孔连通所述第二吸附腔与外界。
5.如权利要求4所述的加工载台，其特征在于，所述第二吸附腔围绕所述第一吸附腔设置。
6.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗成钢，郑磊荣，朱锐，张远胜，黄利兵，张培坤，许志杰，李福海，尹建刚，
申请(专利权)人：深圳市大族半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。