【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子化学品，具体地指一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置及其生产方法。
技术介绍
1、在集成电路制造中，估50%良率损失来源于污染，电子级氨水是半导体晶圆制造过程中关键化学品之一，常作为清洗剂去除晶圆表面污染物。而电子级氨水若纯度不高，自身也会引入颗粒和杂质分子或离子，从而吸附于晶圆表面，在薄膜沉积时，污染物沉积于膜层中或在膜层内扩散，改变膜的特性。
2、目前主流电子级氨水制取方法基本上都精馏工艺制备出超纯氨，再经过多级水洗制备电子级氨水；专利文献1（cn113603113a）公布了通过两级精馏提纯工业氨气制备电子级氨气，对得到的电子级氨气进一步洗涤、吸收和过滤制备出电子级氨水此类装置的缺点是工艺流程长，精馏工艺复杂且操作难度大、能耗高；专利文献2（cn 106430240a）公布了通过多级洗涤的方法制备电子级氨水，但对能微溶于水的co2和硫化物没有进一步的处理；专利文献3（cn104743575a）公布了通过连续进行的降压蒸发、油水分离、过滤、混合吸收和循环过滤的步骤获得高纯氨水，但是金属离子只能控制在50p...
【技术保护点】
1.一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置，包括依次通过管线连接的原料储罐（1）、洗涤塔（2）、干燥塔（3）、吸收塔（4）、缓冲罐（5）和超净过滤装置（6），其特征在于：所述洗涤塔（2）包括第一洗涤塔（2.1）和第二洗涤塔（2.2），所述第一洗涤塔（2.1）塔顶设有氧化剂溶液喷洒管（2.1.1），所述第二洗涤塔（2.2）塔顶设有络合剂溶液喷洒管（2.2.1）。
2.根据权利要求1所述的一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置，其特征在于：所述干燥塔（3）内的干燥剂为活性炭。
3.根据权利要求1所述的一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置，其特征在于：所...
【技术特征摘要】
1.一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置，包括依次通过管线连接的原料储罐（1）、洗涤塔（2）、干燥塔（3）、吸收塔（4）、缓冲罐（5）和超净过滤装置（6），其特征在于：所述洗涤塔（2）包括第一洗涤塔（2.1）和第二洗涤塔（2.2），所述第一洗涤塔（2.1）塔顶设有氧化剂溶液喷洒管（2.1.1），所述第二洗涤塔（2.2）塔顶设有络合剂溶液喷洒管（2.2.1）。
2.根据权利要求1所述的一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置，其特征在于：所述干燥塔（3）内的干燥剂为活性炭。
3.根据权利要求1所述的一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置，其特征在于：所述吸收塔（4）底部出口通过管线与缓冲槽（5）进口连接，所述缓冲槽（5）一出口通过回液管线（7）与吸收塔（4）顶部回流口连接，回液管线（7）上设有回流泵（8），缓冲槽（5）另一出口通过管线与超净过滤装置（6）进口连接，吸收塔（4）底部还与超纯水进水管（9）连接。
4.根据权利要求3所述的一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置，其特征在于：所述缓冲槽（5）上侧设有溢流口，所述溢流口通过管线与超净过滤装置（6）进口连接，缓冲槽（5）所在高度高于超净过滤装置（6）所在高度。
【专利技术属性】
技术研发人员：刘悦，杨着，贺兆波，叶瑞，曾靖凇，程正鹏，蔡俊霄，田坤，卢声，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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