一种电子级稀硫酸配制设备制造技术

本技术提供了一种电子级稀硫酸配制设备，包括超纯水储罐、浓硫酸储罐、稀释罐、换热器、稀硫酸储罐和过滤系统，所述稀释罐内设置有超纯水喷淋装置、浓硫酸喷淋装置、浓度计和温控系统。本技术通过浓硫酸喷淋装置和超纯水喷淋装置实现浓硫酸和超纯水的混合，避免了大量热量集中释放的情况；通过换热器对稀硫酸降温冷却，加快降温速率，提高稀释效率，通过过滤系统对稀硫酸进行深度过滤，有效去除溶液中的微小颗粒和杂质，从而显著提升硫酸的颗粒度品质；该设备通过精确的计量系统、高效的循环系统、精确的温控系统和可靠的净化系统，实现了稀硫酸的高纯度、稳定性和自动化生产，满足电子行业对高纯度稀硫酸的需求。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于化工，具体涉及一种电子级稀硫酸配制设备，

技术介绍

1、稀硫酸作为一种重要的化工原料，在电子行业中具有广泛的应用。其制备方式直接影响着电子产品的质量和性能。在半导体制造过程中，稀硫酸用于晶圆片的清洗和蚀刻，其纯度和稳定性直接关系到晶圆片的成品率。在光伏电池生产中，稀硫酸用于硅片的腐蚀和清洗，对电池的转换效率有着决定性影响。而在平面显示器制造中，稀硫酸用于玻璃基板的清洗，其品质直接影响到显示器的清晰度和寿命。

2、现有的稀硫酸配制方法通常包括手工稀释和简单的混合，这些方法存在以下问题：配制过程中的控制精度不高，难以满足电子行业对稀硫酸纯度的严格要求；操作过程复杂，需要大量的人工干预，增加了操作成本和人为误差的风险；净化系统不完善，难以去除硫酸中的金属离子和其他杂质，影响最终产品的质量。因此，电子行业迫切需要一种能够实现高纯度、高稳定性、操作简便且成本效益高的稀硫酸自动化配制设备。

技术实现思路

1、为解决现有技术的不足，本技术的主要目的在于提供一种电子级稀硫酸配制设备，该设备通过精确的计量本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子级稀硫酸配制设备，其特征是，包括超纯水储罐（1）、浓硫酸储罐（2）、稀释罐（6）、换热器和稀硫酸储罐（12），

2.根据权利要求1所述一种电子级稀硫酸配制设备，其特征是：所述电子级稀硫酸配制设备还包括过滤系统（13），设置于稀硫酸储罐（12）的外部。

3.根据权利要求1所述一种电子级稀硫酸配制设备，其特征是：所述稀释罐（6）上设置有温度控制系统。

4.根据权利要求1所述一种电子级稀硫酸配制设备，其特征是：所述超纯水喷淋装置（5）对称分布在稀释罐（6）侧壁的中上部。

5.根据权利要求1所述一种电子级稀硫酸配制设备，其特征是：所述浓...

【技术特征摘要】

1.一种电子级稀硫酸配制设备，其特征是，包括超纯水储罐（1）、浓硫酸储罐（2）、稀释罐（6）、换热器和稀硫酸储罐（12），

2.根据权利要求1所述一种电子级稀硫酸配制设备，其特征是：所述电子级稀硫酸配制设备还包括过滤系统（13），设置于稀硫酸储罐（12）的外部。

3.根据权利要求1所述一种电子级稀硫酸配制设备，其特征是：所述稀释罐（6）上设置有温度控制系统。

4.根据权利要求1所述一种电子级稀硫酸配制设备，其特征是：所述超纯水喷淋装置（5）对称分布在稀释罐（6）侧壁的中上部。

5.根据权利要求1所述一种电子级稀...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，贺兆波，叶瑞，杨着，郭岚峰，汪鳙，邹磊，王洪杨，陈曦，郑智宸，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：