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本技术提供了一种电子级稀硫酸配制设备，包括超纯水储罐、浓硫酸储罐、稀释罐、换热器、稀硫酸储罐和过滤系统，所述稀释罐内设置有超纯水喷淋装置、浓硫酸喷淋装置、浓度计和温控系统。本技术通过浓硫酸喷淋装置和超纯水喷淋装置实现浓硫酸和超纯水的混合，避...
该专利属于湖北兴福电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北兴福电子材料股份有限公司授权不得商用。

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