【技术实现步骤摘要】
本技术属于尾气处理，具体涉及一种电子级有机清洗剂溶液生产尾气的处理装置。
技术介绍
1、由于硅片在运输过程中会有所污染，表面洁净度不是很高，对即将进行的腐蚀和蚀刻易产生很大的影响，因此首先要对硅片表面进行一系列的清洗操作。清洗的一般思路首先是去除表面的有机沾污，然后溶解氧化膜，因为氧化层是“沾污陷进”，会引起外延缺陷；再去除颗粒、金属等，同时使硅片的表面钝化，该过程中往往采用硅片清洗剂。随着芯片行业的发展及制备精度的提升，对于硅片制备过程中需要使用的电子级的硅片清洗剂的需求量及需求品质逐年提升。但是在试生产过程中发现，硅片清洗剂在生产时采用的原料盐中含有较多的金属杂质，大多数原料均不能满足金属小于1ppb的要求，因此制备得到的硅片清洗剂无法满足电子级要求，严重影响了对硅片的清洗效果。所以目前，针对原料盐中金属杂质含量过高的改善方法是，采用更初级的原料自主合成原料盐；且为了避免引入杂质，对工艺严格把控，要求一步生成产品，而原料盐的生产过程中需要采用高品质的酸和/或碱进行中和，其在投料、生产过程中存在挥发，因此在原料盐的生产过程中会产生大量...
【技术保护点】
1.一种电子级有机清洗剂溶液生产尾气的处理装置，其特征在于：反应器（22）经尾气管（1）与分离塔（2）连接，分离塔（2）依次与酸性喷淋塔（5）、碱性喷淋塔（7），碱性喷淋塔（7）经回收气道（8）与反应器（22）连接；
2.根据权利要求1所述的一种电子级有机清洗剂溶液生产尾气的处理装置，其特征在于：所述分离塔（2）经输气管（3）与酸性喷淋塔（5）连接，酸性喷淋塔（5）经酸性气体管道（6）与碱性喷淋塔（7）连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种电子级有机清洗剂溶液生产尾气的处理装置，其特征在于：所述酸性喷淋塔（5）侧底部与酸性循环泵（17）连接，...
【技术特征摘要】
1.一种电子级有机清洗剂溶液生产尾气的处理装置，其特征在于：反应器（22）经尾气管（1）与分离塔（2）连接，分离塔（2）依次与酸性喷淋塔（5）、碱性喷淋塔（7），碱性喷淋塔（7）经回收气道（8）与反应器（22）连接；
2.根据权利要求1所述的一种电子级有机清洗剂溶液生产尾气的处理装置，其特征在于：所述分离塔（2）经输气管（3）与酸性喷淋塔（5）连接，酸性喷淋塔（5）经酸性气体管道（6）与碱性喷淋塔（7）连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种电子级有机清洗剂溶液生产尾气的处理装置，其特征在于：所述酸性喷淋塔（5）侧底部与酸性循环泵（17）连接，酸性循环泵（17）经酸性喷淋器（16）与酸性喷淋塔（5）侧顶部连接；
4.根据权利要求3所述的一种电子级有机清洗剂溶液生产尾气的处理装置，其特征在于：所述酸性喷淋器（16）上设有酸性雾化模块（18），所述碱性喷淋器（19）上设有碱性雾化模块（21）。
5.根据权利要求1所述的一种电子级...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺兆波，王豪，叶瑞，张庭，欧阳克银，吴昊，王荣，苗茁，彭俊杰，胡杜鹃，崔俊博，贾文星，章玲，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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