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本技术公开了一种电子级有机清洗剂溶液生产尾气的处理装置，其特征在于：反应器经尾气管与分离塔连接，分离塔依次与酸性喷淋塔、碱性喷淋塔，碱性喷淋塔经回收气道与反应器连接；所述分离塔与氧化塔连接，氧化塔经活性炭吸附塔与排气塔连接。本技术实现了对尾...
该专利属于湖北兴福电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北兴福电子材料股份有限公司授权不得商用。

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