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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频,尤其涉及一种弹性波装置及射频前端模组。
技术介绍
1、弹性波装置,利用声-电换能器的特征对压电基片表面上传播的声波进行处理,具有成本低、体积小和功能多等优点,因此在雷达、通信、导航、识别等领域获得了广泛的应用。
2、弹性波装置包括叉指换能器,叉指换能器包括汇流条与多个电极指,多个电极指以电气连接的方式与汇流条连接,多个电极指与压电层相配合可以将电信号转化为声波或将声波转化为电信号。弹性波装置在工作过程中,声波除了在孔径方向上产生的横向杂散以外,在汇流条与多个电极指之间形成的间隙区也存在杂散模态,现有技术中也称其为间隙模式,由于间隙模式出现在反谐振点的高频处,间隙模式的存在会对弹性波装置的性能造成较大的影响。
技术实现思路
1、有鉴于此,本申请提出了一种弹性波装置及射频前端模组。
2、本申请的第一方面提出一种弹性波装置,包括:压电基底以及设置在所述压电基底上的至少一个叉指换能器;其中,所述至少一个叉指换能器包括:
3、两个汇流条,沿第一方向相对设置于所述压电基底上,两个所述汇流条分别连接有若干个电极指;
4、两个所述汇流条连接的各所述电极指在第二方向上依次交错间隔设置,以在两个所述汇流条之间形成交叉区和位于所述交叉区第一方向上两侧的间隙区,所述第一方向与所述第二方向垂直;
5、其中,至少一个所述电极指包括主体件以及连接于所述主体件和所述汇流条的异构件,所述主体件位于所述交叉区,所述异构件位于所述间隙区,所述异
6、在一些实施例中,所述异构件包括第一连接部、第二连接部和延伸部,第一连接部连接于所述主体件。第二连接部连接于一个所述汇流条。延伸部连接于所述第一连接部和所述第二连接部。其中,所述延伸部在所述第二方向上包括至少一个凸部,且所述凸部具有至少一个开口。
7、在一些实施例中,所述凸部包括呈直线延伸的直线段和/或呈弧形延伸的弧形段。
8、在一些实施例中,所述延伸部对应的电极指区域的宽度大于或等于0.05λ,且所述延伸部对应的电极指区域的宽度小于或等于0.45λ,λ为声波的周期。
9、在一些实施例中,所述凸部包括第一段、第二段和第三段,所述第一段连接于所述第一连接部,所述第二段连接于所述第二连接部,所述第三段的两端连接于所述第一段和所述第二段,以围合形成至少一个所述开口。
10、在一些实施例中,所述第一段与所述第二段均沿所述第二方向延伸,在所述第一方向上,所述第一段的宽度小于或等于所述第二段的宽度。
11、在一些实施例中,所述第一段与所述第二段均沿所述第二方向延伸,在所述第一方向上,所述第一段与所述第二段之间的距离大于或等于0.2λ,且所述第一段与所述第二段之间的距离小于或等于0.6λ,λ为声波的周期。
12、在一些实施例中,所述第一段与所述第二段均沿所述第二方向延伸,所述第三段的延伸方向相对所述第二方向垂直或相交。
13、在一些实施例中,所述第一连接部沿所述第一方向延伸,在所述第一方向上,所述第一连接部的长度大于或等于0.2λ,且所述第一连接部的长度小于或等于0.6λ,λ为声波的周期。
14、在一些实施例中,所述第二连接部沿所述第一方向延伸,在所述第一方向上,所述第二连接部的长度大于或等于0.2λ,且所述第二连接部的长度小于或等于0.6λ,λ为声波的周期。
15、在一些实施例中,所述第一连接部与所述第二连接部均沿所述第一方向延伸,在所述第一方向上,所述第一连接部的长度小于或等于所述第二连接部的长度。
16、在一些实施例中,多个所述电极指中,位于同一间隙区,且位于不同电极指上的至少两个凸部沿第二方向排列设置。
17、在一些实施例中,多个所述电极指中,位于同一间隙区的相邻两个电极指上的凸部之间具有间隙。
18、在一些实施例中,多个所述电极指中,位于同一间隙区的至少两个凸部大小和/或形态相同。
19、在一些实施例中,所述凸部被配置为在所述第一方向上的投影能够覆盖相邻的至少一个所述电极指。
20、在一些实施例中,在所述第一方向上,所述交叉区包括中间区和位于所述中间区两侧的边缘区,所述边缘区的声速低于所述交叉区的声速。
21、在一些实施例中,所述压电基底包括压电层和衬底,所述叉指换能器设置在所述压电层上,所述压电层覆盖所述衬底。
22、本申请的第二方面提出一种弹性波装置,包括:压电基底以及设置在所述压电基底上的至少一个叉指换能器;其中,所述至少一个叉指换能器包括:
23、两个汇流条,沿第一方向相对设置于所述压电基底上,两个所述汇流条分别连接有若干个电极指;
24、两个所述汇流条连接的各所述电极指在第二方向上依次交错间隔设置,以在两个所述汇流条之间形成交叉区和位于所述交叉区第一方向上两侧的间隙区,所述第二方向与所述第一方向垂直;
25、其中,至少一个所述电极指包括主体件以及连接于所述主体件和所述汇流条的异构件,所述主体件位于所述交叉区,所述异构件位于所述间隙区;
26、所述异构件包括第一连接部、第二连接部和延伸部,所述第一连接部连接于所述主体件,所述第二连接部连接于所述汇流条,所述延伸部连接于所述第一连接部和所述第二连接部;
27、其中,所述延伸部在第二方向上包括至少一个凸部,且所述凸部具有至少一个开口。
28、本申请的第三方面提出一种射频前端模组,包括上述的弹性波装置。
29、从上述的技术方案可以看出,本申请提出的弹性波装置,将电极指在位于间隙区的部分设置为异构件,用于破坏所述间隙区的谐振腔,在无需增加工艺复杂度的前提下,能够有效地抑制间隙区的间隙模式的激发。本申请通过改变间隙区结构,通过异构件的设置建立异构间隙区,破坏了原有的谐振腔,避免了交叉区泄露到间隙区的声波能量得到激发,进而实现间隙模式的抑制,从而避免间隙模式影响弹性波装置的性能。
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1.一种弹性波装置,其特征在于,包括:压电基底以及设置在所述压电基底上的至少一个叉指换能器;其中,所述至少一个叉指换能器包括:
2.如权利要求1所述的弹性波装置,其特征在于,所述异构件包括:
3.如权利要求2所述的弹性波装置,其特征在于,所述凸部包括呈直线延伸的直线段和/或呈弧形延伸的弧形段。
4.如权利要求2所述的弹性波装置,其特征在于,所述延伸部对应的电极指区域的宽度大于或等于0.05λ,且所述延伸部对应的电极指区域的宽度小于或等于0.45λ,λ为声波的周期。
5.如权利要求2所述的弹性波装置,其特征在于,所述凸部包括第一段、第二段和第三段,所述第一段连接于所述第一连接部,所述第二段连接于所述第二连接部,所述第三段的两端连接于所述第一段和所述第二段,以围合形成至少一个所述开口。
6.如权利要求5所述的弹性波装置,其特征在于,所述第一段与所述第二段均沿所述第二方向延伸,在所述第一方向上,所述第一段的宽度小于或等于所述第二段的宽度。
7.如权利要求5所述的弹性波装置,其特征在于,所述第一段与所述第二段均沿所述
8.如权利要求5所述的弹性波装置,其特征在于,所述第一段与所述第二段均沿所述第二方向延伸,所述第三段的延伸方向相对所述第二方向垂直或相交。
9.如权利要求2所述的弹性波装置,其特征在于,所述第一连接部沿所述第一方向延伸,在所述第一方向上,所述第一连接部的长度大于或等于0.2λ,且所述第一连接部的长度小于或等于0.6λ,λ为声波的周期;和/或,
10.如权利要求2所述的弹性波装置,其特征在于,所述第一连接部与所述第二连接部均沿所述第一方向延伸,在所述第一方向上,所述第一连接部的长度小于或等于所述第二连接部的长度。
11.如权利要求2所述的弹性波装置,其特征在于,多个所述电极指中,位于同一间隙区,且位于不同电极指上的至少两个凸部沿第二方向排列设置;和/或,
12.如权利要求2-11任一项所述的弹性波装置,其特征在于,所述凸部被配置为在所述第一方向上的投影能够覆盖相邻的至少一个所述电极指。
13.如权利要求1-11任一项所述的弹性波装置,其特征在于,在所述第一方向上,所述交叉区包括中间区和位于所述中间区两侧的边缘区,所述边缘区的声速低于所述交叉区的声速。
14.如权利要求1-11任一项所述的弹性波装置,其特征在于,所述压电基底包括压电层和衬底,所述叉指换能器设置在所述压电层上,所述压电层覆盖所述衬底。
15.一种弹性波装置,其特征在于,包括:压电基底以及设置在所述压电基底上的至少一个叉指换能器;其中,所述至少一个叉指换能器包括:
16.一种射频前端模组,其特征在于,包括如权利要求1-15中任一项所述的弹性波装置。
...【技术特征摘要】
1.一种弹性波装置,其特征在于,包括:压电基底以及设置在所述压电基底上的至少一个叉指换能器;其中,所述至少一个叉指换能器包括:
2.如权利要求1所述的弹性波装置,其特征在于,所述异构件包括:
3.如权利要求2所述的弹性波装置,其特征在于,所述凸部包括呈直线延伸的直线段和/或呈弧形延伸的弧形段。
4.如权利要求2所述的弹性波装置,其特征在于,所述延伸部对应的电极指区域的宽度大于或等于0.05λ,且所述延伸部对应的电极指区域的宽度小于或等于0.45λ,λ为声波的周期。
5.如权利要求2所述的弹性波装置,其特征在于,所述凸部包括第一段、第二段和第三段,所述第一段连接于所述第一连接部,所述第二段连接于所述第二连接部,所述第三段的两端连接于所述第一段和所述第二段,以围合形成至少一个所述开口。
6.如权利要求5所述的弹性波装置,其特征在于,所述第一段与所述第二段均沿所述第二方向延伸,在所述第一方向上,所述第一段的宽度小于或等于所述第二段的宽度。
7.如权利要求5所述的弹性波装置,其特征在于,所述第一段与所述第二段均沿所述第二方向延伸,在所述第一方向上,所述第一段与所述第二段之间的距离大于或等于0.2λ,且所述第一段与所述第二段之间的距离小于或等于0.6λ,λ为声波的周期。
8.如权利要求5所述的弹性波装置,其特征在于,所述第一段与所述第二段均沿所述第二方向延伸,所述第三段的延伸方向相对所述第二方向垂直或...
【专利技术属性】
技术研发人员:李天年,杜波,王华磊,倪建兴,
申请(专利权)人:锐石创芯重庆科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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