【技术实现步骤摘要】
本申请涉及谐振器，具体而言，涉及一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器。
技术介绍
1、随着通信技术的发展，人们对射频器件的性能有了更严苛的要求。为满足新一代通信设备需求，射频滤波器以及多工器应具有高频、大带宽、低损耗以及小尺寸的特点。因此构成滤波器及多工器的基本单元——射频谐振器必须实现高频的基础上，具有更小的损耗，实现高效传输。体声波谐振器作为射频谐振器的重要成员正在通信领域发挥着重要作用。
2、对于体声波谐振器来说，能量泄露主要有两个方向，横向和纵向，其中，纵向的能量主要由工作区域正下方的空腔提供反射，即因为空气与压电层具有极大的声阻抗不匹配，几乎可以把纵向泄露的声波反射回谐振腔，但是横向泄露的声波，却没有相应的反射结构，使其难以被反射回工作区域，会造成极大的能量损耗。
技术实现思路
1、本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器。
2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：
3、本申请实施例的一方面，提供一种体声波谐振器，包括衬底以及层叠设置于衬底上的压电堆叠结构，在压电堆叠结构背离衬底的一侧表面开设有延伸于压电堆叠结构内部的多个声学孔，多个声学孔分布于压电堆叠结构的工作区域内，用于反射横向声波。
4、可选的，压电堆叠结构包括依次层叠设置于衬底上的底电极、压电层和顶电极，底电极、压电层和顶电极在衬底厚度方向的正投影的交叠区域作为工作区域。
5、可选的，多个声学孔延伸
6、可选的，多个声学孔贯穿顶电极并延伸于压电层内部。
7、可选的，多个声学孔依次贯穿顶电极和压电层并延伸于压电层和底电极的交界处，或，多个声学孔依次贯穿顶电极和压电层并延伸于底电极的内部。
8、可选的，多个声学孔沿工作区域的边缘分布。
9、可选的，多个声学孔由工作区域的中心向边缘方向呈多圈排布。
10、可选的，多个声学孔的孔径由工作区域的中心向边缘方向逐渐增大或减小。
11、本申请实施例的另一方面，提供一种体声波谐振器制备方法，方法包括：
12、在衬底上形成压电堆叠结构；
13、通过刻蚀在压电堆叠结构的工作区域形成多个声学孔，声学孔由压电堆叠结构背离衬底的一侧表面延伸于压电堆叠结构内部。
14、本申请实施例的又一方面，提供一种滤波器，包括多个上述任一种的体声波谐振器，多个体声波谐振器串联和/或并联。
15、本申请的有益效果包括：
16、本申请提供了一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器，包括衬底以及层叠设置于衬底上的压电堆叠结构，在压电堆叠结构背离衬底的一侧表面开设有延伸于压电堆叠结构内部的多个声学孔，多个声学孔分布于压电堆叠结构的工作区域内，由此，通过声学孔内的空气与压电堆叠结构之间极大的声阻抗不匹配，从而全面反射横向泄露的声波，以便于能够提高体声波谐振器的品质因子。同时因为只对压电堆叠结构内的电极和压电层进行刻蚀，不会给工艺带来新的难度和挑战，工艺可行性高。
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1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及层叠设置于所述衬底上的压电堆叠结构，在所述压电堆叠结构背离所述衬底的一侧表面开设有延伸于所述压电堆叠结构内部的多个声学孔，多个所述声学孔分布于所述压电堆叠结构的工作区域内，用于反射横向声波。
2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述压电堆叠结构包括依次层叠设置于所述衬底上的底电极、压电层和顶电极，所述底电极、所述压电层和所述顶电极在所述衬底厚度方向的正投影的交叠区域作为所述工作区域。
3.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，多个所述声学孔延伸于所述顶电极和所述压电层的交界处，以使所述压电层于所述声学孔内露出。
4.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，多个所述声学孔贯穿所述顶电极并延伸于所述压电层内部。
5.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，多个所述声学孔依次贯穿所述顶电极和所述压电层并延伸于所述压电层和所述底电极的交界处，或，多个所述声学孔依次贯穿所述顶电极和所述压电层并延伸于所述底电极的内部。
6.如权利要求1至5任一项所述的体声波谐振
7.如权利要求1至5任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，多个所述声学孔由所述工作区域的中心向边缘方向呈多圈排布。
8.如权利要求7所述的体声波谐振器，其特征在于，多个所述声学孔的孔径由所述工作区域的中心向边缘方向逐渐增大或减小。
9.一种体声波谐振器制备方法，其特征在于，所述方法包括：
10.一种滤波器，其特征在于，包括多个如权利要求1至8任一项所述的体声波谐振器，多个所述体声波谐振器串联和/或并联。
...【技术特征摘要】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括衬底以及层叠设置于所述衬底上的压电堆叠结构，在所述压电堆叠结构背离所述衬底的一侧表面开设有延伸于所述压电堆叠结构内部的多个声学孔，多个所述声学孔分布于所述压电堆叠结构的工作区域内，用于反射横向声波。
2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述压电堆叠结构包括依次层叠设置于所述衬底上的底电极、压电层和顶电极，所述底电极、所述压电层和所述顶电极在所述衬底厚度方向的正投影的交叠区域作为所述工作区域。
3.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，多个所述声学孔延伸于所述顶电极和所述压电层的交界处，以使所述压电层于所述声学孔内露出。
4.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，多个所述声学孔贯穿所述顶电极并延伸于所述压电层内部。
5.如权利要求2所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：童欣，代金豪，张晋衔，袁汉龙，杨婷婷，吴国强，孙博文，孙成亮，
申请(专利权)人：武汉敏声新技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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