【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备生产领域，特别涉及一种设备搬运系统。
技术介绍
1、随着近年来半导体设备的市场需求逐年递增，如何在保证品质的前提下提高生产效率已然成为了半导体设备生产企业最为关注的问题之一。通过对半导体设备生产过程的深入剖析，现有的移动设备的方式一般为人工搬运，生产效率低，且也容易因不小心而造成产品损坏等，不能够保证设备的品质。
技术实现思路
1、根据本技术实施例，提供了一种设备搬运系统，包含搬运车，搬运车用于将设备移动至不同的工作台上，搬运车包含：支撑架体、移动组件和第一导向组件；
2、支撑架体用于放置设备；
3、移动组件与支撑架体相连接，移动组件带动支撑架体移动；
4、第一导向组件设置在支撑架体上，用于为设备从支撑架体上移动至工作台的过程提供导向。
5、进一步，工作台上设置有第二导向组件，第二导向组件可与第一导向组件相衔接。
6、进一步，第一导向组件和第二导向组件分别为滑动导轨。
7、进一步，工作台上还设置有定...
【技术保护点】
1.一种设备搬运系统，包含搬运车，所述搬运车用于将设备移动至不同的工作台上，其特征在于，所述搬运车包含：支撑架体、移动组件和第一导向组件；
2.如权利要求1所述设备搬运系统，其特征在于，所述工作台上设置有第二导向组件，所述第二导向组件可与所述第一导向组件相衔接。
3.如权利要求2所述设备搬运系统，其特征在于，所述第一导向组件和所述第二导向组件分别为滑动导轨。
4.如权利要求1所述设备搬运系统，其特征在于，所述工作台上还设置有定位机构，所述定位机构用于令所述搬运车与所述工作台快速对接。
5.如权利要求4所述设备搬运系统，其...
【技术特征摘要】
1.一种设备搬运系统，包含搬运车，所述搬运车用于将设备移动至不同的工作台上，其特征在于，所述搬运车包含：支撑架体、移动组件和第一导向组件；
2.如权利要求1所述设备搬运系统，其特征在于，所述工作台上设置有第二导向组件，所述第二导向组件可与所述第一导向组件相衔接。
3.如权利要求2所述设备搬运系统，其特征在于，所述第一导向组件和所述第二导向组件分别为滑动导轨。
4.如权利要求1所述设备搬运系统，其特征在于，所述工作台上还设置有定位机构，所述定位机构用于令所述搬运车与所述工作台快...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕南，蔡昆伦，
申请(专利权)人：赛芈科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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