【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体加工，具体涉及一种对准标记及图形对准方法。
技术介绍
1、现有技术中，部分二维材料转移设备没有专用于装载/卸载晶圆/掩膜的装置，需要手动装载/卸载晶圆/掩膜。由于掩膜为倒置安装，空间狭小，手动装载/卸载不仅不方便，且易发生失误摔碎掩膜。二维材料转移设备需要实现对准，即通过晶圆与掩膜上对准标记图案的对齐，实现晶圆与掩膜的对准。但手动装载后晶圆与掩膜的位置随机，每次装载晶圆与掩膜的绝对位置和相对位置均不同。而观察对准标记图案的ccd视场（可观测到的位置、面积）固定，因此每次需要通过调节ccd位置来寻找掩膜上的对准标记图案，之后再移动晶圆台寻找晶圆的对准标记图案，整个过程也是随机的，对准效率非常低。
技术实现思路
1、本申请实施例提供一种有助于提高对准效率的对准标记及图形对准方法。
2、第一方面，本申请实施例提一种对准标记，包括：
3、对准标记图案，
4、第一标记群，位于对准标记图案的第一方向，
5、第二标记群，位于对准标记图案的第二方向，
6、第三标记群，位于对准标记图案的第三方向，
7、第四标记群，位于对准标记图案的第四方向，
8、第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群共同构成环状图案将对准标记图案围在中间，
9、对准标记图案、第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群各不相同。
10、根据本申请第一方面前述实施方式，
11、第一标记群包
12、第二标记群包括阵列排列的多个第二图形元素，
13、第三标记群包括阵列排列的多个第三图形元素，
14、第四标记群包括阵列排列的多个第四图形元素，
15、第一图形元素、第二图形元素、四三图形元素、第四图形元素中的一者与其他三者之间至少存在以下不同之处之一：
16、多个图形元素的排列密度不同，
17、单个图形元素的延伸方向不同，
18、单个图形元素的图案大小不同，
19、单个图形元素的图案形状不同。
20、根据本申请第一方面前述任一实施方式，对准标记包括
21、第一标记区域，位于对准标记图案的第一方向，第一标记群的第一图形元素均匀填充第一标记区域，
22、第二标记区域，位于对准标记图案的第二方向，第二标记群的第二图形元素均匀填充第二标记区域，
23、第三标记区域，位于对准标记图案的第三方向，第三标记群的第三图形元素均匀填充第三标记区域，
24、第四标记区域，位于对准标记图案的第四方向，第四标记群的第四图形元素均匀填充第四标记区域，
25、第一标记区域、第二标记区域、第三标记区域、第四标记区域共同构成轮廓为长方形或者正方形的图形。
26、根据本申请第一方面前述任一实施方式，
27、第一标记区域、第二标记区域、第三标记区域、第四标记区域共同围出一个中心区域，对准标记图案位于中心区域内。
28、根据本申请第一方面前述任一实施方式，中心区域的形状为长方形或正方形。
29、第二方面，本申请实施例提一种图形对准方法，包括如下步骤
30、s100、提供掩膜，掩膜的第一表面具有如上述的对准标记；
31、s200、利用图像获取装置获取掩膜的图像，若获取的掩膜图像属于第一标记群，则控制掩膜向第一方向相反的方向移动预设距离；若获取的掩膜图像属于第二标记群，则控制掩膜向第二方向相反的方向移动预设距离；若获取的掩膜图像属于第三标记群，则控制掩膜向第三方向相反的方向移动预设距离；若获取的掩膜图像属于第四标记群，则控制掩膜向第四方向相反的方向移动预设距离；
32、重复步骤s200，直至对准标记图案出现在图像获取装置的视场中间。
33、根据本申请第二方面前述实施方式，步骤s200中，若获取的掩膜图像部分属于第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群中的一者，另一部分属于第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群中的另一者，则控制掩膜先向第一方向、第二方向、第三方向、第四方向中对应的一者的相反方向移动预设距离，后向第一方向、第二方向、第三方向、第四方向中对应的另一者的相反方向移动预设距离。
34、根据本申请第二方面前述任一实施方式，：第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群沿着顺时针方向依次设置；
35、若获取的掩膜图像部分属于第一标记群，另一部分属于第二标记群，则
36、控制掩膜先向第一方向的相反方向移动预设距离，后向第二方向的相反方向移动预设距离，或，
37、控制掩膜先向第二方向的相反方向移动预设距离，后向第一方向的相反方向移动预设距离；
38、若获取的掩膜图像部分属于第二标记群，另一部分属于第三标记群，则
39、控制掩膜先向第二方向的相反方向移动预设距离，后向第三方向的相反方向移动预设距离，或，
40、控制掩膜先向第三方向的相反方向移动预设距离，后向第二方向的相反方向移动预设距离；
41、若获取的掩膜图像部分属于第三标记群，另一部分属于第四标记群，则
42、控制掩膜先向第三方向的相反方向移动预设距离，后向第四方向的相反方向移动预设距离，或，
43、控制掩膜先向第四方向的相反方向移动预设距离，后向第三方向的相反方向移动预设距离；
44、若获取的掩膜图像部分属于第四标记群，另一部分属于第一标记群，则
45、控制掩膜先向第四方向的相反方向移动预设距离，后向第一方向的相反方向移动预设距离，或，
46、控制掩膜先向第一方向的相反方向移动预设距离，后向第四方向的相反方向移动预设距离。
47、根据本申请第二方面前述任一实施方式，掩膜上的对准标记中没有标记的区域为透明材质，图形对准方法还包括如下步骤
48、s300、提供晶圆，晶圆的第二表面具有如上述实施例中所述的对准标记，第一表面与第二表面相邻且第一表面位于第二表面的上方；晶圆上的对准标记图案、第一标记群、第二标记群、第三标记群、第四标记群均与掩膜上的对准标记图案、第一标记群、第二标记群、第三标记群、第四标记群均不同；
49、s400、利用图像获取装置获取晶圆的图像，若获取的晶圆图像属于晶圆的第一标记群，则控制晶圆向第一方向相反的方向移动预设距离；若获取的晶圆图像属于晶圆的第二标记群，则控制晶圆向第二方向相反的方向移动预设距离；若获取的晶圆图像属于晶圆的第三标记群，则控制晶圆向第三方向相反的方向移动预设距离；若获取的晶圆图像属于晶圆的第四标记群，则控制晶圆向第四方向相反的方向移动预设距离；
50、重复步骤s400，直至晶圆的对准标记图案出现在图像获取装置的视场中间。
51、根据本申请第二方面前述任一实施方式，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种对准标记，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的对准标记，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的对准标记，其特征在于：包括
4.根据权利要求3所述的对准标记，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的对准标记，其特征在于：中心区域的形状为长方形或正方形。
6.一种图形对准方法，其特征在于：包括如下步骤
7.根据权利要求6所述的图形对准方法，其特征在于：所述步骤S200中，若获取的掩膜图像部分属于第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群中的一者，另一部分属于第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群中的另一者，则控制掩膜先向第一方向、第二方向、第三方向、第四方向中对应的一者的相反方向移动预设距离，后向第一方向、第二方向、第三方向、第四方向中对应的另一者的相反方向移动预设距离。
8.根据权利要求7所述的图形对准方法，其特征在于：所述第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群沿着顺时针方向依次设置；
9.根据权利要求8所述的图形对准方法，其特征在于：所述掩膜上的对准标
10.根据权利要求9所述的图形对准方法，其特征在于：
...【技术特征摘要】
1.一种对准标记，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的对准标记，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的对准标记，其特征在于：包括
4.根据权利要求3所述的对准标记，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的对准标记，其特征在于：中心区域的形状为长方形或正方形。
6.一种图形对准方法，其特征在于：包括如下步骤
7.根据权利要求6所述的图形对准方法，其特征在于：所述步骤s200中，若获取的掩膜图像部分属于第一标记群、第二标记群、第三标记群和第四标记群中的一者，另一部分属于第一标记群、...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗先刚，刘吉夫，李伟，李雄，张仁彦，
申请(专利权)人：天府兴隆湖实验室，
类型：发明
国别省市：
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