【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微电子机械系统，尤其涉及一种气体传感器、传感器制备方法及检测方法。
技术介绍
1、二元混合气体检测，在氢能源设备、新能源汽车、空调制冷等领域广泛应用。目前，市场上气体传感器种类繁多，例如：激光、红外、光离子、电化学、催化、半导体、固体电解质和热导。不同气体介质的热导率系数存在差异，其中热导式气体传感器通过检测热能在不同气体组分下传播差异性进行气体检测。热导检测原理为纯物理的检测机制，此类气体传感器比电化学式、半导体式等更加可靠，在二元混合气体的检测方面优势显著。
2、传统的热导式气体传感器往往体积较大、功耗高、灵敏度较低、存在较大的温度漂移。因此，热导气体传感器的小型化、高可靠性和高灵敏度发展十分重要。论文《热导式气体传感器工作原理及检测方法改进》(杜彬贤，陈今润，尹军，重庆大学自动化学院，中国人民解放军，化学工程与装备)记载了传统热导气体传感器检测方式，将待测气体送入气室，气室中央是热敏元件如热敏电阻、铂丝或钨丝，对热敏元件加热到一定温度，当待测气体的导热系数较高时，将使热量更容易从热敏元件上散发，使其电阻减...
【技术保护点】
1.一种气体传感器，其特征在于：包括硅衬底(1)、绝缘介质支撑层(2)、信号发生源(3)、信号接收源(4)和绝缘介质钝化层(5)，所述绝缘介质支撑层(2)设置在硅衬底(1)的上表面，至少一个信号发生源(3)和至少一个信号接收源(4)均设置在绝缘介质支撑层(2)的上表面，所述绝缘介质支撑层(2)上设置为两端固定悬臂梁，悬臂梁上沉积信号发生源(3)和信号接收源(4)，所述信号发生源(3)和信号接收源(4)之间存在间距，绝缘介质钝化层(5)设置在信号发生源(3)、信号接收源(4)和绝缘介质支撑层(2)的上表面。
2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于：所...
【技术特征摘要】
1.一种气体传感器，其特征在于：包括硅衬底(1)、绝缘介质支撑层(2)、信号发生源(3)、信号接收源(4)和绝缘介质钝化层(5)，所述绝缘介质支撑层(2)设置在硅衬底(1)的上表面，至少一个信号发生源(3)和至少一个信号接收源(4)均设置在绝缘介质支撑层(2)的上表面，所述绝缘介质支撑层(2)上设置为两端固定悬臂梁，悬臂梁上沉积信号发生源(3)和信号接收源(4)，所述信号发生源(3)和信号接收源(4)之间存在间距，绝缘介质钝化层(5)设置在信号发生源(3)、信号接收源(4)和绝缘介质支撑层(2)的上表面。
2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于：所述信号发生源(3)和信号接收源(4)各设置一个，且对称设置在硅衬底(1)对角线的两侧。
3.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于：所述信号发生源(3)设置一个，信号接收源(4)设置多个，信号发生源(3)位于硅衬底(1)上表面的正中心，多个信号接收源(4)排布在信号发生源(3)的周围，且与信号发生源(3)的间距不同。
4.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张岩，谢东成，许磊，陈栋梁，荣钱，吴秋菊，姚冬婷，
申请(专利权)人：微纳感知合肥技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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