一种多层复合膜结构的MEMS气体传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种多层复合膜结构的MEMS气体传感器及其制备方法，制备方法包括：将In<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;气敏材料加至微加热芯片上得到MEMS敏感芯片；将抗湿膜、炭膜、抗臭氧膜中的一种或多种放入热压设备上进行一次热压；在表面再设置膨体聚四氟乙烯膜后再进行二次热压，得到多层复合膜；将MEMS敏感芯片进行贴片，打线操作后，将多层复合膜粘贴至封装基座上得到所述多层复合膜结构的MEMS气体传感器。本发明专利技术制备的多层复合膜结构的MEMS气体传感器具有非常广泛的应用前景，可以用于环境监测、医疗仪器、工业生产等多个领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气敏传感器，具体涉及一种多层复合膜结构的mems气体传感器及其制备方法。

技术介绍

1、mems(微机电系统)气体传感器是一种基于微机电技术制备的传感器，具有高灵敏度、高精度、小体积、低功耗等优点，广泛应用于气体检测、环境监测、安全监控等领域，例如公开号为cn116381212a的中国专利申请文献公开了一种氧化铟基mems丙酮气体传感器，其对丙酮气体具备良好的选择性。然而，由于mems气体传感器在实际应用中常常受到湿气的影响(湿度影响气体分子的扩散速率，导致响应恢复时间增加，间接影响传感器响应值)。同时，受到环境中氧化性气体影响，如氮氧化物，臭氧等气体(市面上商用mems气体传感器敏感材料一般采用氧化锡、氧化铟、氧化钨这类n型半导体，基于n型半导体特性，当其检测乙醇、硫化氢、一氧化碳、氨气等气体时，材料电导率上升，电阻下降，而对于氧化性气体则表现出相反的现象，这使得当环境中氧化性气体，如臭氧浓度较高时，对上述气体的检测将产生较大误差)。因此，mems气体传感器其稳定性、检测精度、响应速度和寿命会受到较大的环境影响。例如，当出现打雷下雨天时，环本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多层复合膜结构的MEMS气体传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的多层复合膜结构的MEMS气体传感器的制备方法，其特征在于：在S2中，所述无纺布均为厚度为0.08-0.12mm的PP无纺布；所述乙醇与水的混合液中乙醇与水的体积比均为1：1。

3.根据权利要求1所述的多层复合膜结构的MEMS气体传感器的制备方法，其特征在于：在S2炭膜的制备方法中，所述活性炭、PVA、水的用量比为1g：0.1g：10mL。

4.根据权利要求1所述的多层复合膜结构的MEMS气体传感器的制备方法，其特征在于：在S2中，将活性炭浆料用活性...

【技术特征摘要】

1.一种多层复合膜结构的mems气体传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的多层复合膜结构的mems气体传感器的制备方法，其特征在于：在s2中，所述无纺布均为厚度为0.08-0.12mm的pp无纺布；所述乙醇与水的混合液中乙醇与水的体积比均为1：1。

3.根据权利要求1所述的多层复合膜结构的mems气体传感器的制备方法，其特征在于：在s2炭膜的制备方法中，所述活性炭、pva、水的用量比为1g：0.1g：10ml。

4.根据权利要求1所述的多层复合膜结构的mems气体传感器的制备方法，其特征在于：在s2中，将活性炭浆料用活性炭浆料5-8倍体积的乙醇稀释；将分子筛与二氧化硅混合浆料用分子筛与二氧化硅混合浆料5-8倍体积的乙醇稀释；将二氧化锰浆料用二氧化锰浆料5-8倍体积的乙醇稀释。

5.根据权利要求1所述的多层复合膜结构的mems气体传感器的制备方法，其特征在于：在s2抗湿膜的制备方法中，所述分子筛、二氧化硅、pva与水的用量比为0.5g：0.5g：0.1g：10ml。

6.根据权利要求1所述的多层复合膜结构的mems气体传感器的制备方法，其特征在于：在s2抗臭氧膜的制备方法中，所述二氧化锰、水与pva的用量比为1g：...

【专利技术属性】
技术研发人员：荣钱，陈江军，杨正，杨冉，吴秋菊，姚冬婷，谢东成，陈栋梁，许磊，
申请(专利权)人：微纳感知合肥技术有限公司，
类型：发明
国别省市：