【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆生产，具体为一种晶圆固定装置及检测设备。
技术介绍
1、在晶圆片制造的过程中，晶圆片清洗环节结束后需要利用视觉检测设备来检测晶圆片清洗情况，避免晶圆片表面还残留有污染物，影响后续加工。在清洗的过程中，晶圆片被多根均匀设置的固定柱夹持固定在承载台上，承载台带动晶圆片高速旋转，并且晶圆片上方会向下喷淋化学药品，进而对晶圆片进行清洗，清洗结束后，检测设备通过视觉传感器对晶圆片表面进行检测，由于视觉传感器在检测晶圆片样品时，是在晶圆片水平放置时拍摄的，故而通常需要晶圆片清洗结束后保持水平状态，以获得较为准确的检测结果。如晶圆片发生倾斜，晶圆片的垂直投影会从圆形变为椭圆形，影响检测，同时，倾斜的晶圆片也会反射视觉传感器周围的光源，带来眩光干扰。
2、在进行晶圆片的正面清洗时，常用的清洗设备上设有台阶类支撑，以避免晶圆片在被喷淋的过程中向下滑动。但是在对晶圆片的背面进行清洗时，通常需要仅有晶圆片背面接触化学品清洗液，而正面的芯片结构不应该接触化学药液和硬性表面，所以使用的固定柱则为不带台阶的圆柱状固定柱，在清洗过程中由于喷淋冲洗的压力，晶圆片容易产生向下滑动的情况，下滑过程中晶圆片无法保持水平，容易发生倾斜，影响检测。针对此问题，现有处理办法为增加固定柱的夹持力度，增大固定柱与晶圆片之间的摩擦力，无法很好地解决晶圆片清洗过程中下滑倾斜的问题。
3、为此，提出一种晶圆固定装置及检测设备。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题：现有的晶圆固定装置
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆固定装置，包括承载台、晶圆片、稳固组件和动力组件；所述承载台上固定安装有稳固组件，所述稳固组件上放置有晶圆片，所述稳固组件通过径向移动，稳固组件限制晶圆片的径向位移以及轴向倾斜，将晶圆片稳固；所述承载台的内部固定安装有动力组件，所述动力组件通过气动驱动稳固组件径向移动，将晶圆片进行夹紧固定。
3、为了保证晶圆片在清洗的过程，能够保持水平，需要通过稳固组件将晶圆片固定在承载台上，并通过动力组件控制稳固组件将晶圆片固定，从而保证晶圆片不会发生下滑以及倾斜，而晶圆片在加工的过程中，会对晶圆片边缘进行倒角，以防止晶圆片边缘发生破裂，防止热应力造成的损伤，同时可以增加外延层以及光刻胶在晶圆片边缘的平坦度，而稳固组件的主要作用是利用零部件对晶圆片倒角处进行辅助支撑，以避免晶圆片下落，同时也是利用零件接触晶圆片倒角处，防止晶圆片过度倾斜翘起，进而避免倾斜的晶圆片，导致视觉检测结果的误判。
4、所述稳固组件包括固定柱、上套筒、下套筒、上压块、下压块、压力弹簧和压缩弹簧；所述固定柱的顶部活动安装有上套筒，固定柱的底部活动安装有下套筒，所述上压块滑动安装在上套筒的底部，所述下压块滑动安装在下套筒的顶部，上压块的顶部卡接有压力弹簧，所述压力弹簧卡接在上套筒和上压块之间，且压力弹簧位于固定柱外侧，下压块底部卡接在有压缩弹簧，且所述压缩弹簧位于下套筒和下压块之间，且压缩弹簧位于固定柱的外侧。
5、在晶圆片清洗的过程中，晶圆片将会在固定柱上高速旋转，通过上套筒和下套筒可将晶圆片进行稳固，由于上套筒和下套筒分别与上压块和下压块是可相对移动的，并且在上套筒与上压块之间以及下套筒和下压块之间安装有压力弹簧和压缩弹簧，以保证晶圆片在下落的过程中，不会受到刚性的阻挡，压力弹簧和压缩弹簧将会为晶圆片提供缓冲卸力的作用，避免晶圆片倒角处受到过大外力，导致晶圆片损坏，同时，下套筒上的下压块可以作为晶圆片放置的定位位置的参考，当晶圆片清洗背面且通过人工放置时，由于固定柱上没有台阶结构，所以放置时晶圆片容易产生倾斜，并且在高速旋转清洗时，晶圆片的倾斜状态会加剧，有下套筒上的下压块作为参考位置后，可以大幅减缓人工放置发生晶圆片倾斜的问题。
6、所述固定柱的轴线设置有切面，且所述切面的宽度值为固定柱直径值的2/3，固定柱上的切面上设置有刻度条，固定柱的底部设置有圆形凸台，固定柱的圆心内部设置有金属圆管，所述金属圆管的长度值等于固定柱的长度值。
7、由于在工作时，上套筒和下套筒将与晶圆片一起高速转动，为了保证上套筒和下套筒的稳定性，则在固定柱轴线设置有切面，切面与上套筒和下套筒之间相互配合，避免了上套筒和下套筒发生转动，而切面的宽度为固定柱直径的2/3这是为了更好的增加上套筒和下套筒的稳定性，同时方便压力弹簧和压缩弹簧的固定安装，当切面宽度过大时，将无法安装压力弹簧的压缩弹簧，安装时需要保证每个固定柱上的零部件都位于同一高度，可以设置基准结构使所有下套筒保持在同一水平高度上，所以在固定柱底部设置圆形凸台，作为下套筒的安装基准，以保证下套筒处于同一水平高度，而固定柱上的切面上设置有刻度条，由于上套筒位于晶圆片上方，可以根据晶圆片的厚度调整上套筒的高度，进而调整上压块的高度，以满足厚度更厚的晶圆片的清洗需求。在切面上设置刻度条可以便于操作人员对上套筒的高度进行更为精准的定位，以保证每个上套筒都安装于同一高度，保证金属片与触点的检测精度。同时，为增加上套筒的稳定程度，固定柱圆心内部设置有金属圆管，由于固定柱上需要安装众多的零件，故而需要对固定柱做增加强度的处理，在固定柱中心添加金属圆管，同时，金属圆管内部可放置收纳电线。
8、所述上套筒的顶部外侧设置有滚轮，上套筒内部设置有弧形块，所述弧形块的长度值等于上套筒的长度值，且弧形块与固定柱上的切面相互配合，所述下套筒的内部设置有弧块，所述弧块的长度值等于下套筒的长度值，且弧块与固定柱上的切面相互配合。
9、调节上套筒的高度时，是先转动上旋钮，使得上套筒松动，然后再上下移动，如果直接对上套筒进行移动，会很难做到较为精准的定位，而且上旋钮在拧紧时上套筒还可能会发生偏移，在上套筒上设置滚轮，滚轮与切面接触，增加了上套筒与固定柱之间的摩擦，降低螺栓拧紧时上套筒发生偏移的概率。同时，调节上套筒的高度时，可通过滚动滚轮控制上套筒的高度，可以做到更为精准地调节和定位，也便于操作人员将所有的上套筒设置在同一高度的位置，上套筒内部设置有弧形块以及下套筒内部设置的弧块则是为了与固定柱上的切面相互配合，用以保证上套筒和下套筒不会发生转动，保证其稳定性，弧形块的长度等于上套筒的长度以及弧块的长度等于下套筒的长度都是为了增加上套筒和下套筒在固定柱上的稳定性能，防止在对晶圆片进行清洗时，发生旋转，从而导致晶圆片下滑或者倾斜。
10、所述上套筒上开设有圆孔，所述圆孔的内部转动安装有上旋钮，且上旋钮位于滚轮下方，圆孔的直径值为固定柱上切面宽度值的1/2，所述下套筒上开设有圆形孔，所述圆形孔内部转动安装有下旋钮，圆形孔的直径值为固定柱上切面宽度值的1/2。
11、在对晶圆片进行清洗时，需要将晶圆片放置在固定柱上，并通过上套筒和下套筒将晶圆片进行固定，由于上套筒和下套筒均可在固定本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆固定装置，包括承载台(1)、晶圆片(2)、稳固组件(3)和动力组件(4)；其特征在于：所述承载台(1)上固定安装有稳固组件(3)，所述稳固组件(3)上放置有晶圆片(2)，所述稳固组件(3)通过径向移动，稳固组件(3)限制晶圆片(2)的径向位移以及轴向倾斜，将晶圆片(2)稳固；所述承载台(1)的内部固定安装有动力组件(4)，所述动力组件(4)通过气动驱动稳固组件(3)径向移动，将晶圆片(2)进行夹紧固定。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述稳固组件(3)包括固定柱(31)、上套筒(32)、下套筒(33)、上压块(34)、下压块(35)、压力弹簧(36)和压缩弹簧(37)；所述固定柱(31)的顶部活动安装有上套筒(32)，固定柱(31)的底部活动安装有下套筒(33)，所述上压块(34)滑动安装在上套筒(32)的底部，所述下压块(35)滑动安装在下套筒(33)的顶部，上压块(34)的顶部卡接有压力弹簧(36)，所述压力弹簧(36)卡接在上套筒(32)和上压块(34)之间，且压力弹簧(36)位于固定柱(31)外侧，下压块(35)的底部固定安
3.根据权利要求2所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述固定柱(31)的轴线设置有切面(311)，且所述切面(311)的宽度值为固定柱(31)直径值的2/3，固定柱(31)上的切面(311)上设置有刻度条(312)，固定柱(31)的底部设置有圆形凸台(313)，固定柱(31)的圆心内部设置有金属圆管(314)，所述金属圆管(314)的长度值等于固定柱(31)的长度值。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述上套筒(32)的顶部外侧设置有滚轮(321)，上套筒(32)的内部设置有弧形块(322)，所述弧形块(322)的长度值等于上套筒(32)的长度值，且弧形块(322)与固定柱(31)上的切面(311)相互配合，所述下套筒(33)的内部设置有弧块(331)，所述弧块(331)的长度值等于下套筒(33)的长度值，且弧块(331)与固定柱(31)上的切面(311)相互配合。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述上套筒(32)上开设有圆孔(323)，所述圆孔(323)的内部转动安装有上旋钮(324)，且上旋钮(324)位于滚轮(321)下方，圆孔(323)的直径值为固定柱(31)上切面(311)宽度值的1/2，所述下套筒(33)上开设有圆形孔(332)，所述圆形孔(332)的内部转动安装有下旋钮(333)，圆形孔(332)的直径值为固定柱(31)上切面(311)宽度值的1/2。
6.根据权利要求2所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述上压块(34)的底部和下压块(35)的顶部分别设置有圆锥斜面(5)，所述圆锥斜面(5)上设置有环形凹槽(6)，所述环形凹槽(6)的轴心与下压块(35)的轴心之间的夹角为10°-15°，且环形凹槽(6)远离晶圆片(2)的部分低于接触晶圆片(2)的部分。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述动力组件(4)包括气泵(41)、气管(42)和伸缩管(43)，所述气泵(41)固定安装在承载台(1)的内部，所述气管(42)的一端固定安装在气泵(41)上，所述气管(42)的另一端固定安装在伸缩管(43)的一端上，所述伸缩管(43)的另一端固定安装在固定柱(31)的底部侧面，伸缩管(43)的伸缩长度等于固定柱(31)的移动距离。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述承载台(1)内部开设有矩形凹槽(11)，所述矩形凹槽(11)的四周中心位置开设有圆形凹槽(12)，所述承载台(1)的顶部过圆心位置分别径向开设有四个弧形通孔(13)，所述弧形通孔(13)位于圆形凹槽(12)的上方，且与圆形凹槽(12)相互贯通，弧形通孔(13)的长度值等于圆形凹槽(12)的长度值，且弧形通孔(13)的长度值为承载台(1)直径值的3/4。
9.一种检测设备，根据权利要求1至8任一项所述的晶圆固定装置，其特征在于，所述检测设备包括金属片(7)、触点(8)、视觉传感器和控制单元；所述金属片(7)固定安装在上套筒(32)的底部内壁和下套筒(33)的顶部内壁，所述触点(8)固定安装在上压块(34)的顶部外侧和下压块(35)的底部外侧，且触点(8)位于上压块(34)和下压块(35)的圆心与晶圆片(2)圆心的连线上，金属片(7)与触点(8)通过电线连接，且电线位于金属圆管(314...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆固定装置，包括承载台(1)、晶圆片(2)、稳固组件(3)和动力组件(4)；其特征在于：所述承载台(1)上固定安装有稳固组件(3)，所述稳固组件(3)上放置有晶圆片(2)，所述稳固组件(3)通过径向移动，稳固组件(3)限制晶圆片(2)的径向位移以及轴向倾斜，将晶圆片(2)稳固；所述承载台(1)的内部固定安装有动力组件(4)，所述动力组件(4)通过气动驱动稳固组件(3)径向移动，将晶圆片(2)进行夹紧固定。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述稳固组件(3)包括固定柱(31)、上套筒(32)、下套筒(33)、上压块(34)、下压块(35)、压力弹簧(36)和压缩弹簧(37)；所述固定柱(31)的顶部活动安装有上套筒(32)，固定柱(31)的底部活动安装有下套筒(33)，所述上压块(34)滑动安装在上套筒(32)的底部，所述下压块(35)滑动安装在下套筒(33)的顶部，上压块(34)的顶部卡接有压力弹簧(36)，所述压力弹簧(36)卡接在上套筒(32)和上压块(34)之间，且压力弹簧(36)位于固定柱(31)外侧，下压块(35)的底部固定安装有压缩弹簧(37)，且所述压缩弹簧(37)卡接在下套筒(33)和下压块(35)之间，且压缩弹簧(37)位于固定柱(31)的外侧。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述固定柱(31)的轴线设置有切面(311)，且所述切面(311)的宽度值为固定柱(31)直径值的2/3，固定柱(31)上的切面(311)上设置有刻度条(312)，固定柱(31)的底部设置有圆形凸台(313)，固定柱(31)的圆心内部设置有金属圆管(314)，所述金属圆管(314)的长度值等于固定柱(31)的长度值。
4.根据权利要求2所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述上套筒(32)的顶部外侧设置有滚轮(321)，上套筒(32)的内部设置有弧形块(322)，所述弧形块(322)的长度值等于上套筒(32)的长度值，且弧形块(322)与固定柱(31)上的切面(311)相互配合，所述下套筒(33)的内部设置有弧块(331)，所述弧块(331)的长度值等于下套筒(33)的长度值，且弧块(331)与固定柱(31)上的切面(311)相互配合。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆固定装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张春生，张树刚，刘桂江，时培成，张朝龙，马浩，王远志，
申请(专利权)人：安庆师范大学，
类型：发明
国别省市：
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