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本发明涉及晶圆生产技术领域，具体为一种晶圆固定装置及检测设备，包括承载台、晶圆片、稳固组件和动力组件；所述承载台上固定安装有稳固组件，所述稳固组件上放置有晶圆片；所述承载台的内部固定安装有动力组件；检测设备包括金属片、触点、视觉传感器和控制...
该专利属于安庆师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过安庆师范大学授权不得商用。

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