一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台制造技术

本技术公开了一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，具体涉及样品台技术领域，包括样品定位台，所述样品定位台的顶端开设有定位顶端面，所述定位顶端面的一侧开设有阶梯定位槽，所述样品定位台的另一侧开设有倾斜槽，所述定位顶端面的顶端设有放置组件；所述放置组件包括设置在定位顶端面顶端的两个第一凸起板样品。本技术通过设置放置组件，既可以对定位顶端面上表面的测试样品进行测试，还可以对倾斜槽侧面的样品进行测试和对倾斜槽侧面的样品进行测试，可以用于装载多尺寸多样品，同时也可以满足多种SEM测试需求的EBSD多功能样品台，无需多次更换样品，测试效率更高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及样品台，更具体地说，本技术涉及一种适用于ebsd测试的多功能组合式样品台。

技术介绍

1、晶体材料的微观组织形貌、结构与取向分布、成分分布是表征和决定材料各类性能的关键，电子背散射衍射（electron backscatter diffraction，简称ebsd）表征技术是基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带的分析从而确定晶体结构、取向及相关信息的方法，基于此技术的取向成像分析能够使研究者得到更加丰富的材料内部信息，因此需要用到样品台放置样品，方便测试分析样品状况。

2、经检索在现有已经公开的文献中，专利公开号cn212907639u的技术专利公开了一种多功能组合式扫描电镜样品台，针对同时用于一种或两种形貌类型的样品，例如同时适用于粉末和片状样品的样品台、同时适用于观察截面和平面结构的样品台等，因此，当同时测试多种形貌类型的样品，或者在样品不同位置进行测试时，就需要频繁更换样品台，浪费时间的同时影响电镜的真空度；该专利结构简单、操作方便、适合多种形式样品检测的优点；但是该装置还存在如下缺陷；

3、上述样品台在使用过程中，虽然可以对不同样品进行固定，但是样品所展现的面只有水平面，这样两侧面无法放置样品进行观察测试，对于观测样品的微观形貌又想收集ebsd信号的测试需求就需要多次地更换样品，这无疑也增加了测试时间，影响了测试效率，批量测试效率较低，为此需要提供一种适用于ebsd测试的多功能组合式样品台。

技术实现思路

1、本技术技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题，提供了显著不同于现有技术的解决方案，为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供一种适用于ebsd测试的多功能组合式样品台。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种适用于ebsd测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台，所述样品定位台的顶端开设有定位顶端面，所述定位顶端面的一侧开设有阶梯定位槽，所述样品定位台的另一侧开设有倾斜槽，所述定位顶端面的顶端设有放置组件；

3、所述放置组件包括设置在定位顶端面顶端的两个第一凸起板样品，且第一凸起板样品的一侧设有第一圆柱样品，所述倾斜槽的一侧嵌入有四个组合梯形锁紧块，在相邻两个组合梯形锁紧块之间设有狗骨型样品，所述阶梯定位槽的一侧嵌入有从上到下依次等距排列的多组梯形锁紧块，所述梯形锁紧块与定位顶端面之间设有第二凸起板样品。

4、优选地，两个所述第一凸起板样品和第一圆柱样品均与定位顶端面所属的样品定位台之间通过导电胶粘接，四个所述组合梯形锁紧块均与倾斜槽所属的样品定位台之间螺纹连接，且狗骨型样品与组合梯形锁紧块之间插接，每组所述梯形锁紧块的数量设为两个，且两个梯形锁紧块关于第二凸起板样品对称设置，多个所述梯形锁紧块均与阶梯定位槽所属的样品定位台之间螺纹连接。

5、优选地，所述样品定位台的底端设有定位底柱，且定位底柱与样品定位台之间一体化成型。

6、本技术的技术效果和优点：

7、通过设置放置组件，既可以对定位顶端面上表面的测试样品进行测试，还可以对倾斜槽侧面的样品进行测试和对倾斜槽侧面的样品进行测试，可以用于装载多尺寸多样品，同时也可以满足多种sem测试需求的ebsd多功能样品台，无需多次更换样品，测试样品装载面积更广，样品放置数量更多，测试效率更高，而且优势在于螺纹紧固ebsd样品，减少漂移。

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【技术保护点】

1.一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台（1），所述样品定位台（1）的顶端开设有定位顶端面（2），其特征在于：所述定位顶端面（2）的一侧开设有阶梯定位槽（3），所述样品定位台（1）的另一侧开设有倾斜槽（4），所述定位顶端面（2）的顶端设有放置组件；

2.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：两个所述第一凸起板样品（5）和第一圆柱样品（6）均与定位顶端面（2）所属的样品定位台（1）之间通过导电胶粘接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：四个所述组合梯形锁紧块（7）均与倾斜槽（4）所属的样品定位台（1）之间螺纹连接，且狗骨型样品（8）与组合梯形锁紧块（7）之间插接。

4.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：每组所述梯形锁紧块（9）的数量设为两个，且两个梯形锁紧块（9）关于第二凸起板样品（10）对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：多个所述梯形锁紧块（9）均与阶梯定位槽（3）所属的样品定位台（1）之间螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种适用于EBSD测试的多功能组合式样品台，其特征在于：所述样品定位台（1）的底端设有定位底柱（24），且定位底柱（24）与样品定位台（1）之间一体化成型。

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【技术特征摘要】

1.一种适用于ebsd测试的多功能组合式样品台，包括样品定位台（1），所述样品定位台（1）的顶端开设有定位顶端面（2），其特征在于：所述定位顶端面（2）的一侧开设有阶梯定位槽（3），所述样品定位台（1）的另一侧开设有倾斜槽（4），所述定位顶端面（2）的顶端设有放置组件；

2.根据权利要求1所述的一种适用于ebsd测试的多功能组合式样品台，其特征在于：两个所述第一凸起板样品（5）和第一圆柱样品（6）均与定位顶端面（2）所属的样品定位台（1）之间通过导电胶粘接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于ebsd测试的多功能组合式样品台，其特征在于：四个所述组合梯形锁紧块（7）均与倾斜槽（4）所属的样品定位台（...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡佳其，田娜娜，靳凤民，高红，刘士新，高彤彤，方卉，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：新型
国别省市：