【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学检测，具体涉及一种用于光学检测系统的光路切换装置。
技术介绍
1、在光学检测系统中，经常需要对检测对象进行多种不同类型或不同目的的检测。例如在半导体生产工艺中，为了保证半导体器件的质量，需要对例如膜层厚度、关键尺寸(cd,critical dimension)、表面缺陷、对准误差等内容进行检测。也可能会采用不同类型的检测单元，例如宽光谱椭偏仪(se,spectroscopic ellipsometer)、反射光谱仪(sr,spectroreflectometer)等。有时候还需要对检测对象进行成像。
2、在此情况下，如果能够采用同一光源为多条不同用途的光路提供光束会是更加经济的选择。然而现有技术的检测系统存在成本高、光源利用率低的问题。
技术实现思路
1、本技术主要解决的技术问题是现有检测系统不能便利地进行光路切换和提高利用率的问题，需要更加经济的光路切换装置。
2、根据第一方面，一种实施例中提供一种用于光学检测系统的光路切换装置，包括：
3、第一离轴反射镜，被配置为安装在光源的出光光路上，
4、装置还包括第一移动反射镜和/或第二离轴反射镜，
5、第一移动反射镜，被配置为可移动地安装在第一离轴反射镜的出光光路上，能够切入或切出第一离轴反射镜的出光光路，使得后续的光路在第一切入状态和第一切出状态之间变化；
6、第二离轴反射镜，被配置为安装在光源的出光光路上，且与第一离轴反射镜所覆盖的光源的出光光路不
7、一种实施例中，在装置包括第一移动反射镜的情况下，还包括：
8、第二移动反射镜，被配置为可移动地安装在第一切出状态下第一离轴反射镜的出光光路上，使得后续的光路在第二切入状态和第二切出状态之间变化。
9、一种实施例中，还包括：
10、第三反射镜，被配置为安装在第二切出状态下第一离轴反射镜的出光光路上。
11、一种实施例中，在装置包括第二离轴反射镜的情况下，还包括：
12、第四反射镜，被配置为安装在第二离轴反射镜的出光光路上。
13、一种实施例中，光源为宽波长光源，装置还包括：
14、至少一个滤波轮，被配置为能够过滤提供不同波长范围的光，设置在第一离轴反射镜和/或第二离轴反射镜的出光光路上。
15、一种实施例中，还包括：
16、光阑组件，被配置为设置在光路中以减小光束的发散角。
17、一种实施例中，第一离轴反射镜和/或第二离轴反射镜采用离轴抛物面反射镜，第一移动反射镜采用离轴抛物面反射镜或凹面反射镜。
18、一种实施例中，在装置包括第二离轴反射镜的情况下，第一离轴反射镜和第二离轴反射镜具有共同焦点，且光源设置在该共同焦点上。
19、一种实施例中，在装置包括第二离轴反射镜的情况下，第一离轴反射镜的入射光路的中心光轴与光源的光束中心光轴的偏移角度范围为10°至30°，第二离轴反射镜的入射光路的中心光轴与光源的光束中心光轴的偏移角度范围为10°至30°。
20、一种实施例中，光源与第一离轴反射镜之间的距离范围为2至8厘米，第一离轴反射镜的镜面尺寸范围为1至6厘米。
21、依据上述实施例的用于光学检测系统的光路切换装置，通过两个出光光路不重叠的两个离轴反射镜，或者通过一个离轴反射镜与一个移动反射镜，可以提供切入与切出状态的切换，可以将同一光源反射出两条不同用途的光束，提高光源的利用率。
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1.一种用于光学检测系统的光路切换装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，在所述装置包括第一移动反射镜的情况下，还包括：
3.如权利要求2所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
4.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，在所述装置包括第二离轴反射镜的情况下，还包括：
5.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，所述光源为宽波长光源，所述装置还包括：
6.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
7.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，所述第一离轴反射镜和/或第二离轴反射镜采用离轴抛物面反射镜，所述第一移动反射镜采用离轴抛物面反射镜或凹面反射镜。
8.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，在所述装置包括第二离轴反射镜的情况下，第一离轴反射镜和第二离轴反射镜具有共同焦点，且所述光源设置在该共同焦点上。
9.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，在所述装置包括第二离轴反射镜的情况下，第一离轴反射镜的入射光路的中心光
10.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，所述光源与第一离轴反射镜之间的距离范围为2至8厘米，所述第一离轴反射镜的镜面尺寸范围为1至6厘米。
...【技术特征摘要】
1.一种用于光学检测系统的光路切换装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，在所述装置包括第一移动反射镜的情况下，还包括：
3.如权利要求2所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
4.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，在所述装置包括第二离轴反射镜的情况下，还包括：
5.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，所述光源为宽波长光源，所述装置还包括：
6.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，还包括：
7.如权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，所述第一离轴反射镜和/或第二离轴反射镜采用离轴抛物面反射镜，所述第一移动反射...
【专利技术属性】
技术研发人员：何泊衢，王南朔，马砚忠，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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