【技术实现步骤摘要】
本申请涉及夹取装置，特别是涉及传感器夹持工具。
技术介绍
1、随着智能化技术的发展，对半导体的需求日益旺盛。光刻机是利用光线透过掩模照射在硅片表面，与光刻胶发生反应并将电路图从掩模转移到硅片的设备。光刻机的卡盘(chuck)是一种夹持和定位硅片、薄膜和其他材料的装置，它具有调整精度高、操作方便、使用寿命长等优点，能够有效地保证光刻机的精度和效率。chuck通常由夹持器、定位器和调整器等部分组成。夹持器用于夹持硅片或其他材料，定位器用于定位硅片或其他材料的位置，调整器用于调整夹持力和定位精度等参数，所以chuck上会设有相应的传感器以控制定位器和调整器进行相应的工作。在使用过程中，传感器需要经常地拆卸和更换，传统的拆装方式为人工徒手拆卸和更换，这种方式工作效率较低、安全性较差且容易损伤传感器。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种方便拆卸和安装传感器的夹持工具。
2、本申请提供一种传感器夹持工具，所述夹持工具包括：
3、握持件；
4、夹取件，连接于所述握持件，所述夹取件被配置为自所述握持件延伸设置；所述夹取件包括第一夹取臂和第二夹取臂；
5、所述第一夹取臂自所述握持件沿第一方向延伸，所述第二夹取臂自所述握持件沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向之间的夹角为锐角；所述第一夹取臂和所述第二夹取臂均远离所述握持件的一端之间形成用于夹持传感器的开口。
6、在其中一个实施例中，所述第一夹取臂远离所述握持件的
7、在其中一个实施例中，所述第一定位部和所述第二定位部交错设置。
8、在其中一个实施例中，所述第一夹取臂远离所述握持件的一端设有缺口。
9、在其中一个实施例中，所述第一夹取臂沿与所述第一方向相反的方向切除部分以形成所述缺口；所述第一夹取臂远离所述握持件的一端还包括保留部，所述缺口与所述保留部并列设置。
10、在其中一个实施例中，所述保留部设有朝向第二夹取臂延伸的第一定位部，所述第二夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第一夹取臂延伸的第二定位部。
11、在其中一个实施例中，所述第一夹取臂的纵长小于所述第二夹取臂的纵长。
12、在其中一个实施例中，所述第一夹取臂的长度大于或等于2cm且小于或等于10cm，所述第一夹取臂的长度大于或等于2cm且小于或等于15cm。
13、在其中一个实施例中，所述第一方向和所述第二方向之间的夹角小于或等于25°且大于或等于5°。
14、在其中一个实施例中，所述握持件包括绝缘材质，所述夹取件包括可形变材质。
15、采用本申请的夹持工具进行拆卸和安装传感器，避免了人工徒手拆卸、更换对传感器造成的损坏，通过设置握持件提高了夹取传感器的安全性，通过呈锐角设置的第一夹取臂和第二夹取臂，改善了使用者的施加的作用力，并使得使用者能够通过灵活地、快速地操作夹取臂进行拆卸和安装传感器，有效缩短复机的时间。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种传感器夹持工具，其特征在于，所述夹持工具包括：
2.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第二夹取臂延伸的第一定位部，所述第二夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第一夹取臂延伸的第二定位部。
3.根据权利要求2所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一定位部和所述第二定位部交错设置。
4.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂远离所述握持件的一端设有缺口。
5.根据权利要求4所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂沿与所述第一方向相反的方向切除部分以形成所述缺口；所述第一夹取臂远离所述握持件的一端还包括保留部，所述缺口与所述保留部并列设置。
6.根据权利要求5所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述保留部设有朝向第二夹取臂延伸的第一定位部，所述第二夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第一夹取臂延伸的第二定位部。
7.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂的纵长小于所述第二夹取臂的纵长。
8
9.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一方向和所述第二方向之间的夹角小于或等于25°且大于或等于5°。
10.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述握持件包括绝缘材质，所述夹取件包括可形变材质。
...【技术特征摘要】
1.一种传感器夹持工具，其特征在于，所述夹持工具包括：
2.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第二夹取臂延伸的第一定位部，所述第二夹取臂远离所述握持件的一端设有朝向第一夹取臂延伸的第二定位部。
3.根据权利要求2所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一定位部和所述第二定位部交错设置。
4.根据权利要求1所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂远离所述握持件的一端设有缺口。
5.根据权利要求4所述的传感器夹持工具，其特征在于，所述第一夹取臂沿与所述第一方向相反的方向切除部分以形成所述缺口；所述第一夹取臂远离所述握持件的一端还包括保留部，所述缺口与所述保留部并列设置。
6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨智鸿，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。