镊子制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镊子，用于夹持晶圆样品，所述镊子包括后端固定连接的两个镊臂，其中，所述两个镊臂的前端分别形成有相互对应的凹槽，所述凹槽用于固定所述晶圆样品的两端。本实用新型专利技术提供的镊子，通过在镊子的两个镊臂的前端分别形成相互对应的凹槽，并用该凹槽固定晶圆样品的两端，从而夹紧该晶圆样品以防止该晶圆样品的掉落，避免了由晶圆样品掉落导致的晶圆样品的污染、损坏甚至丢失。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体器件
，特别涉及用于夹持晶圆样品的镊子。
技术介绍
在晶圆样品的失效分析(failure analysis)中，当清洁、刻蚀以及干燥晶圆样品 时通常需要使用镊子夹持晶圆样品以便操作。然而，现有镊子的镊臂较光滑，当有外力施加 到被夹持的晶圆样品时，就有可能导致镊子夹不紧该晶圆样品进而使得该晶圆样品掉落。 图IA和图IB分别为使用现有技术的镊子夹持晶圆样品以进行清洁和干燥的示意图。图IA 中，镊子110用后端固定连接的两个镊臂夹持晶圆样品120，并用水龙头130对所述晶圆样 品120冲水以进行清洁。在此过程中，如果水对所述晶圆样品120的冲力很大，则很有可能 导致所述镊子110夹不紧所述晶圆样品120进而使得所述晶圆样品120掉落。图IB中，使 用氮气枪(N2gim) 140产生氮气流(blowing N2gas)以对所述晶圆样品120进行干燥。在 此过程中，如果氮气流对所述晶圆样品120的冲力很大，则也很有可能导致所述镊子110夹 不紧所述晶圆样品120进而使得所述晶圆样品120掉落。晶圆样品从镊子掉落后会导致污 染、损坏甚至丢失的发生，这将影响甚至中断失效分析的进行。为了解决这个问题，现有技 术也作了一些改进。例如，使用流速较慢的水或者压力较小的氮气流以减少水或者氮气流 对晶圆样品的冲力，然而晶圆样品掉落的情况还是经常发生。还有一种改进是在房形工具 (house-shapedtool)中进行晶圆样品的干燥，这样晶圆样品只可能掉落在该房形工具中， 从而可以防止该晶圆样品的丢失。然而这种改进也无法防止晶圆样品的掉落。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种用于更有效地夹持晶圆样品的镊子。本技术提供了一种镊子，用于夹持晶圆样品，所述镊子包括后端固定连接的 两个镊臂，其中，所述两个镊臂的前端分别形成有相互对应的凹槽，所述凹槽用于固定所述 晶圆样品的两端。可选的，所述凹槽的形状为长方形。可选的，所述凹槽的长度为5 25mm，宽度为0. 70 1. OOmm,深度为0. 70 1. OOmm0与现有技术相比，本技术提供的镊子，通过在镊子的两个镊臂的前端分别形 成相互对应的凹槽，并用该凹槽固定晶圆样品的两端，从而夹紧该晶圆样品以防止该晶圆 样品的掉落，避免了由晶圆样品掉落导致的晶圆样品的污染、损坏甚至丢失。附图说明图IA和图IB分别为使用现有技术的镊子夹持晶圆样品以进行清洁和干燥的示意 图；图2为本技术的镊子的结构示意3图3为使用如图2所示的镊子夹持晶圆样品的示意图。具体实施方式为使本技术的目的、特征更明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实 施方式作进一步的说明。本技术的核心思想在于，通过在镊子的两个镊臂的前端分别形成相互对应的 凹槽，并用该凹槽固定晶圆样品的两端，从而夹紧该晶圆样品以防止该晶圆样品的掉落。图2为本技术的镊子的结构示意图。在图2中，镊子210包括后端固定连接 的两个镊臂211和212，所述两个镊臂211和212的前端分别形成有相互对应的凹槽213和 214。优选的，所述凹槽213和214的形状为长方形。所述凹槽213和214的长度为5 25mm,宽度为 0. 70 1. OOmm,深度为 0. 70 1. OOmm0图3为使用如图2所示的镊子夹持晶圆样品的示意图。在图3中，用所述镊子210 的分别形成于所述两个镊臂211和212的前端的凹槽213和214分别固定晶圆样品120的 两端，从而夹紧所述晶圆样品120以防止所述晶圆样品120的掉落，避免了由晶圆样品掉落 导致的晶圆样品的污染、损坏甚至丢失。综上所述，本技术提供的镊子，通过在镊子的两个镊臂的前端分别形成相互 对应的凹槽，并用该凹槽固定晶圆样品的两端，从而夹紧该晶圆样品以防止该晶圆样品的 掉落，避免了由晶圆样品掉落导致的晶圆样品的污染、损坏甚至丢失。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及 其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。权利要求一种镊子，用于夹持晶圆样品，所述镊子包括后端固定连接的两个镊臂，其特征在于，所述两个镊臂的前端分别形成有相互对应的凹槽，所述凹槽用于固定所述晶圆样品的两端。2.如权利要求1所述的镊子，其特征在于，所述凹槽的形状为长方形。3.如权利要求2所述的镊子，其特征在于，所述凹槽的长度为5 25mm，宽度为0.70 1. OOmm,深度为 0. 70 1. 00_。专利摘要本技术公开了一种镊子，用于夹持晶圆样品，所述镊子包括后端固定连接的两个镊臂，其中，所述两个镊臂的前端分别形成有相互对应的凹槽，所述凹槽用于固定所述晶圆样品的两端。本技术提供的镊子，通过在镊子的两个镊臂的前端分别形成相互对应的凹槽，并用该凹槽固定晶圆样品的两端，从而夹紧该晶圆样品以防止该晶圆样品的掉落，避免了由晶圆样品掉落导致的晶圆样品的污染、损坏甚至丢失。文档编号B25B9/02GK201728602SQ201020201100公开日2011年2月2日 申请日期2010年5月21日 优先权日2010年5月21日专利技术者卢秋明, 朱熙, 李德勇, 李桂花, 胡强 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镊子，用于夹持晶圆样品，所述镊子包括后端固定连接的两个镊臂，其特征在于，所述两个镊臂的前端分别形成有相互对应的凹槽，所述凹槽用于固定所述晶圆样品的两端。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李桂花，朱熙，李德勇，卢秋明，胡强，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]