【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏半导体制造设备的，可应用在半导体及光伏扩散炉或各种加热装置以及扩散炉，具体是一种引线外接纯镍导线的扩散炉。
技术介绍
1、扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。
2、传统的扩散炉炉体的接线方式是，把发热电阻丝的引线通过加长并缠绕双股的方式直接引出到炉体外进行接线，目的是为了增加引线的线体强度，降低引线的电阻从而降低发热，减少引线被烧断的风险。
3、但是按照传统的方法进行引线的接线，需要将引线埋在炉体的纤维内部，如果炉体内部分区控制的发热电阻丝分的区域太多，引线在炉体内就会有各种问题，例如：1、两根引线之间相互接触，2、引线与发热电阻丝接触，3、引线靠近发热电阻丝容易烧断等。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术目的是为了提供一种引线外接纯镍导线的扩散炉。
2、为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种引线外接纯镍导线的扩散炉，包括外壳体、设置在所述外壳体中的由保温纤维制成的保温管、设置在所述保温管内的若干个发热丝组、与对应的所述发热丝组电连接的若干引线和设置在所述保温管外的与所述引线电连接的接线板，还包括由纯镍材料制成的导线，所述导线设置在所述保温管外，所述导线电连接在所述引线与接线板之间，所述导线使引线埋在所
3、优选地，所述引线相对与其对应的所述发热丝组的端部垂直成型，并沿其垂直方向伸出所述保温管。
4、优选地，在所述导线与引线之间设置有由纯镍材料制成的弹簧结构，所述弹簧结构分别缠绕在所述引线和导线的端部外，使所述引线和导线的端部缠绕后压接固定。
5、优选地，所述导线外还套装有耐高温的保护套。
6、进一步地，在所述保护套与保温管之间通过耐高温的胶水使所述导线粘接固定。
7、优选地，所述接线板由纯镍材料制成，所述导线汇合在所述接线板上。
8、本技术技术效果主要体现在以下方面：通过设置在引线与接线板之间并外接在保温管外的导线，能够缩短引线在保温管内的长度，避免高温对埋在保温管内的引线的影响，提高发热丝的引线的使用寿命，排除传统引线埋在保温管内的各种风险。
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1.一种引线外接纯镍导线的扩散炉，包括外壳体、设置在所述外壳体中的由保温纤维制成的保温管、设置在所述保温管内的若干个发热丝组、与对应的所述发热丝组电连接的若干引线和设置在所述保温管外的与所述引线电连接的接线板，其特征在于：还包括由纯镍材料制成的导线，所述导线设置在所述保温管外，所述导线电连接在所述引线与接线板之间，所述导线使引线埋在所述保温管内的长度减少。
2.根据权利要求1所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于：所述引线相对与其对应的所述发热丝组的端部垂直成型，并沿其垂直方向伸出所述保温管。
3.根据权利要求1所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于：在所述导线与引线之间设置有由纯镍材料制成的弹簧结构，所述弹簧结构分别缠绕在所述引线和导线的端部外，使所述引线和导线的端部缠绕后压接固定。
4.根据权利要求1所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于：所述导线外还套装有耐高温的保护套。
5.根据权利要求4所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于：在所述保护套与保温管之间通过耐高温的胶水使所述导线粘接固定。>
6.根据权利要求1所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于:所述接线板由纯镍材料制成，所述导线汇合在所述接线板上。
...【技术特征摘要】
1.一种引线外接纯镍导线的扩散炉，包括外壳体、设置在所述外壳体中的由保温纤维制成的保温管、设置在所述保温管内的若干个发热丝组、与对应的所述发热丝组电连接的若干引线和设置在所述保温管外的与所述引线电连接的接线板，其特征在于：还包括由纯镍材料制成的导线，所述导线设置在所述保温管外，所述导线电连接在所述引线与接线板之间，所述导线使引线埋在所述保温管内的长度减少。
2.根据权利要求1所述的一种引线外接纯镍导线的扩散炉，其特征在于：所述引线相对与其对应的所述发热丝组的端部垂直成型，并沿其垂直方向伸出所述保温管。
3.根据权利要求1所述的一种引...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗炜登，
申请(专利权)人：佛山市沙森堡新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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