【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学检测设备，具体涉及一种调节装置以及光机系统。
技术介绍
1、在光学检测设备中往往需要布置非常复杂的照明光路和成像光路，光路中设置的各种光学元件(如透镜、反射镜、滤光片、偏振片、波片等)的位置布设精度将直接影响最终的光学检测效果。原则是调节自由度越多越好，调节精度越高越好。但现有的光学元件调节方式多局限于位移调节，而且可调的自由度和精度都受限于调节装置的结构，还无法满足更高要求的光机。
技术实现思路
1、本申请提供一种调节装置以及光机系统，其主要目的在于增加待调节件的可调节自由度，提高待调节件的调节精度。
2、根据本申请的第一方面，提供一种调节装置，包括：偏转调节机构和转动调节机构；
3、所述偏转调节机构用于装配待调节件，所述偏转调节机构用于绕第一轴线和/或第二轴线转动以改变待调节件的角度，所述第一轴线和所述第二轴线在空间上相交；
4、所述转动调节机构包括转动调节座，所述转动调节座上装配所述偏转调节机构，所述转动调节座用于绕第三轴线和/或第四轴线转动以改变所述偏转调节机构上待调节件的角度；其中，所述第一轴线和所述第三轴线在空间内重合或平行，所述第二轴线和所述第四轴线在空间内重合或平行。
5、一种实施例中，所述转动调节座包括支撑板、转动板以及柔性臂，所述柔性臂的一端和所述支撑板连接，所述柔性臂的另一端和所述转动板连接；所述偏转调节机构装配于所述转动板上远离所述支撑板的一侧；所述柔性臂用于通过自身形变调整所述转动板的倾斜度，所
6、一种实施例中，所述转动调节机构还包括第一锁紧组件，所述柔性臂沿第五轴线的方向设置于所述支撑板和所述转动板的一侧，所述第一锁紧组件设置于所述支撑板和所述转动板的另一侧；所述第一锁紧组件用于锁定所述转动板相对所述支撑板的倾斜程度；所述第五轴线与所述第三轴线或所述第四轴线在空间上相垂直。
7、一种实施例中，所述第一锁紧组件包括第一锁紧板和第一锁紧件，所述第一锁紧板上开设第一腰型孔；所述第一锁紧板固定于所述支撑板和所述转动板中的任意一个；所述第一腰型孔适配所述转动板的倾斜活动范围，用于配合所述第一锁紧件对所述支撑板和所述转动板中的另一个进行位置锁定。
8、一种实施例中，所述支撑板上开设有弧形孔，所述弧形孔用于限制所述支撑板相对预设载体的位置。
9、一种实施例中，所述偏转调节机构包括偏转调节器和调节器安装座，所述调节器安装座装配于所述转动调节座，所述偏转调节器设置于所述调节器安装座，所述偏转调节器用于装配待调节件，以及执行待调节件绕所述第一轴线和/或所述第二轴线的转动。
10、一种实施例中，所述偏转调节器包括压电式偏转器，所述压电式偏转器的转动精度高于所述转动调节座的转动精度。
11、一种实施例中，所述偏转调节器上设置有调节器控制线，所述调节器控制线用于和控制器连接，所述偏转调节器用于通过控制器的控制来实现转动。
12、一种实施例中，还包括固定件，所述固定件包括转接板和安装板，所述转接板设置于所述偏转调节机构，所述安装板设置于所述转接板，所述安装板上设置有安装部，所述安装部用于固定待调节件。
13、一种实施例中，还包括支架，所述支架连接在所述转动调节座上，所述偏转调节机构装配在所述支架。
14、一种实施例中，还包括第一位移调节机构，所述第一位移调节机构包括线性滑动或滚动连接的位移支撑座和位移调节座，所述位移支撑座远离所述位移调节座的一侧吊装于所述支架上，所述位移调节座远离所述位移支撑座的一侧和所述偏转调节机构连接；所述位移调节座沿着第五轴线的方向相对所述位移支撑座线性滑动或滚动，所述第一轴线、第二轴线以及所述第五轴线在空间内相互垂直。
15、一种实施例中，所述第一位移调节机构还包括抵接件和第二锁紧组件；所述抵接件和所述第二锁紧组件分别位于所述第一位移调节机构的两侧；所述位移支撑座和所述位移调节座中的任意一个设置有抵接部，所述位移支撑座和所述位移调节座中的另一个设置所述抵接件，所述抵接件和所述抵接部相接触，所述抵接件用于通过转动或移动以使得所述位移调节座沿着所述第五轴线的方向相对所述位移支撑座线性滑动或滚动；所述第二锁紧组件用于锁定所述位移调节座相对所述位移支撑座的位置。
16、一种实施例中，所述第二锁紧组件包括第二锁紧板和第二锁紧件；所述第二锁紧板上开设有第二限位孔，所述第二锁紧板固定在所述位移支撑座和所述位移调节座中的任意一个，所述第二限位孔为条状孔，所述第二限位孔的长度方向和所述第五轴线的方向相平行，所述第二锁紧件用于穿过所述第二限位孔固定在所述位移支撑座和所述位移调节座中的另一个。
17、一种实施例中，还包括至少一对第二位移调节机构，每对所述第二位移调节机构均正对设置于所述转动调节机构的两侧；所述第二位移调节机构包括支撑体和调节件，所述支撑体固定在预设载体上，所述调节件与所述支撑体活动连接，所述调节件的一端和所述转动调节机构相抵接；所述调节件用于推动所述转动调节机构以进行线性移动。
18、根据本申请的第二方面，提供一种光机系统，包括上述调节装置，所述偏转调节机构装配的待调节件为光学元件。
19、依据上述实施例中的调节装置，通过偏转调节机构能够实现其上装配待调节件绕第一轴线和/或第二轴线转动以进行角度调节，增加待调节件能够调节的自由度。通过转动调节机构能够实现其上装配待调节件绕第三轴线和/或第四轴线转动以进行角度调节，增加待调节件能够调节的自由度。其中，第一轴线和第三轴线在空间内重合或平行，第二轴线和第四轴线在空间内重合或平行。待调节件装配在偏转调节机构上，转动调节座上装配偏转调节机构，当转动调节座动作时，能够带动偏转调节座上的待调节件进行角度调节，同时偏转调节机构在转动调节座动作的基础上也可以进行动作，这样待调节件在偏转调节机构和转动调节机构的配合下既能够进行转动自由度的叠加，以提高待调节件的调节效率，又能进行角度范围的叠加，使得调节装置具有更大的角度调节范围，以提高待调节件的调节精度。
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1.一种调节装置，其特征在于，包括：偏转调节机构(10)和转动调节机构(20)；
2.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述转动调节座(21)包括支撑板(211)、转动板(212)以及柔性臂(213)，所述柔性臂(213)的一端和所述支撑板(211)连接，所述柔性臂(213)的另一端和所述转动板(212)连接；所述偏转调节机构(10)装配于所述转动板(212)上远离所述支撑板(211)的一侧；所述柔性臂(213)用于通过自身形变调整所述转动板(212)的倾斜度，所述转动板(212)用于绕所述第三轴线转动以改变所述偏转调节机构(10)上待调节件(30)的角度，所述支撑板(211)用于绕所述第四轴线转动以改变所述偏转调节机构(10)上待调节件(30)的角度；所述第三轴线的方向和所述第四轴线的方向在空间中相垂直。
3.如权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述转动调节机构(20)还包括第一锁紧组件(22)，所述柔性臂(213)沿第五轴线的方向设置于所述支撑板(211)和所述转动板(212)的一侧，所述第一锁紧组件(22)设置于所述支撑板(211)和所述转
4.如权利要求3所述的调节装置，其特征在于，所述第一锁紧组件(22)包括第一锁紧板(221)和第一锁紧件，所述第一锁紧板(221)上开设第一腰型孔(2212)；所述第一锁紧板(221)固定于所述支撑板(211)和所述转动板(212)中的任意一个；所述第一腰型孔(2212)适配所述转动板(212)的倾斜活动范围，用于配合所述第一锁紧件对所述支撑板(211)和所述转动板(212)中的另一个进行位置锁定。
5.如权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述支撑板(211)上开设有弧形孔(2111)，所述弧形孔(2111)用于限制所述支撑板(211)相对预设载体的位置。
6.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述偏转调节机构(10)包括偏转调节器(11)和调节器安装座(12)，所述调节器安装座(12)装配于所述转动调节座(21)，所述偏转调节器(11)设置于所述调节器安装座(12)，所述偏转调节器(11)用于装配待调节件(30)，以及执行待调节件(30)绕所述第一轴线和/或所述第二轴线的转动。
7.如权利要求6所述的调节装置，其特征在于，所述偏转调节器(11)包括压电式偏转器，所述压电式偏转器的转动精度高于所述转动调节座(21)的转动精度。
8.如权利要求6所述的调节装置，其特征在于，所述偏转调节器(11)上设置有调节器控制线(13)，所述调节器控制线(13)用于和控制器连接，所述偏转调节器(11)用于通过控制器的控制来实现转动。
9.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括固定件(40)，所述固定件(40)包括转接板(41)和安装板(42)，所述转接板(41)设置于所述偏转调节机构(10)，所述安装板(42)设置于所述转接板(41)，所述安装板(42)上设置有安装部(421)，所述安装部(421)用于固定待调节件(30)。
10.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括支架(50)，所述支架(50)连接在所述转动调节座(21)上，所述偏转调节机构(10)装配在所述支架(50)。
11.如权利要求10所述的调节装置，其特征在于，还包括第一位移调节机构(60)，所述第一位移调节机构(60)包括线性滑动或滚动连接的位移支撑座(61)和位移调节座(62)，所述位移支撑座(61)远离所述位移调节座(62)的一侧吊装于所述支架(50)上，所述位移调节座(62)远离所述位移支撑座(61)的一侧和所述偏转调节机构(10)连接；所述位移调节座(62)沿着第五轴线的方向相对所述位移支撑座(61)线性滑动或滚动，所述第一轴线、第二轴线以及所述第五轴线在空间内相互垂直。
12.如权利要求11所述的调节装置，其特征在于，所述第一位移调节机构(60)还包括抵接件(63)和第二锁紧组件(64)；所述抵接件(63)和所述第二锁紧组件(64)分别位于所述第一位移调节机构(60)的两侧；所述位移支撑座(61)和所述位移调节座(62)中的任意一个设置有抵接部(622)，所述位移支撑座(61)和所述位移调节座(62)中的另一个设置所述抵接件(63)，所述抵接件(63)和所述抵接部(622)相接触，所述抵接件(63)用于通过转动或移动以使得所述位移调节座(62)沿着所述第五轴线的方向相对所述位移支撑座(6...
【技术特征摘要】
1.一种调节装置，其特征在于，包括：偏转调节机构(10)和转动调节机构(20)；
2.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述转动调节座(21)包括支撑板(211)、转动板(212)以及柔性臂(213)，所述柔性臂(213)的一端和所述支撑板(211)连接，所述柔性臂(213)的另一端和所述转动板(212)连接；所述偏转调节机构(10)装配于所述转动板(212)上远离所述支撑板(211)的一侧；所述柔性臂(213)用于通过自身形变调整所述转动板(212)的倾斜度，所述转动板(212)用于绕所述第三轴线转动以改变所述偏转调节机构(10)上待调节件(30)的角度，所述支撑板(211)用于绕所述第四轴线转动以改变所述偏转调节机构(10)上待调节件(30)的角度；所述第三轴线的方向和所述第四轴线的方向在空间中相垂直。
3.如权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述转动调节机构(20)还包括第一锁紧组件(22)，所述柔性臂(213)沿第五轴线的方向设置于所述支撑板(211)和所述转动板(212)的一侧，所述第一锁紧组件(22)设置于所述支撑板(211)和所述转动板(212)的另一侧；所述第一锁紧组件(22)用于锁定所述转动板(212)相对所述支撑板(211)的倾斜程度；所述第五轴线与所述第三轴线或所述第四轴线在空间上相垂直。
4.如权利要求3所述的调节装置，其特征在于，所述第一锁紧组件(22)包括第一锁紧板(221)和第一锁紧件，所述第一锁紧板(221)上开设第一腰型孔(2212)；所述第一锁紧板(221)固定于所述支撑板(211)和所述转动板(212)中的任意一个；所述第一腰型孔(2212)适配所述转动板(212)的倾斜活动范围，用于配合所述第一锁紧件对所述支撑板(211)和所述转动板(212)中的另一个进行位置锁定。
5.如权利要求2所述的调节装置，其特征在于，所述支撑板(211)上开设有弧形孔(2111)，所述弧形孔(2111)用于限制所述支撑板(211)相对预设载体的位置。
6.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，所述偏转调节机构(10)包括偏转调节器(11)和调节器安装座(12)，所述调节器安装座(12)装配于所述转动调节座(21)，所述偏转调节器(11)设置于所述调节器安装座(12)，所述偏转调节器(11)用于装配待调节件(30)，以及执行待调节件(30)绕所述第一轴线和/或所述第二轴线的转动。
7.如权利要求6所述的调节装置，其特征在于，所述偏转调节器(11)包括压电式偏转器，所述压电式偏转器的转动精度高于所述转动调节座(21)的转动精度。
8.如权利要求6所述的调节装置，其特征在于，所述偏转调节器(11)上设置有调节器控制线(13)，所述调节器控制线(13)用于和控制器连接，所述偏转调节器(11)用于通过控制器的控制来实现转动。
9.如权利要求1所述的调节装置，其特征在于，还包括固定件(40)，所述固定件(40)包括转接板(41)和安装板(42...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭凇铭，韦康，胡诗铭，张鹏斌，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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