【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金刚石加工，特别涉及一种mpcvd安全运行报警装置及系统。
技术介绍
1、金刚石具有高硬度、超宽禁带、出色的载流子迁移率和优异的导热性能，它是继si、sic、gan之后的最有发展前景的半导体材料，也被视为下一代电力电子器件的终极材料。而mpcvd设备是目前合成金刚石的主流设备，主要利用微波等离子体化学气相沉积法来实现晶体(例如金刚石)生长，直至晶体生长到预定规格。
2、微波等离子化学气相沉积法是指高纯度氢气在强大的微波作用下产生高能量的等离子火球，高纯度甲烷气体在等离子作用下变成游离的碳原子和氢原子，这些游离的碳原子在强大能量的等离子作用下会逐步按立体排列的方式沉积到底部的金刚石种子上，使金刚石种子逐步长厚形成满足工艺需求的大金刚石。
3、但是，现有的mpcvd设备在使用过程中，缺乏监测安全运行的警报装置，导致在mpcvd设备内部出现温度、压力、气体浓度以及电气参数异常时，不能及时警报来提醒工作人员，从而导致原料报废，甚至造成mpcvd设备受损以及造成人员安全事故，因此，本申请提出了一种mpcvd安全运行报警装置及系统来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种mpcvd安全运行报警装置及系统，通过综合考虑温度、压力、气体泄漏、气体浓度、电气安全等方面的参数，来使本mpcvd安全运行报警装置能够对mpcvd设备进行实时监测和预警，从而能够大大保证mpcvd设备使用时的安全运行。
2、为实现上述目的，本申请提供如下
3、所述支架板的顶部固定有中控机盒，所述中控机盒内设有与所有传感器电性连接的plc控制器，plc控制器连接有警报器，所述警报器包括蜂鸣器与警示灯。
4、作为进一步的优选方案，所述支架板的侧面中部开设有竖直的调节槽，所述调节槽内转动安装有驱动杆，且所述活动架远离两个所述气体浓度检测板的一端设有滑动嵌入所述调节槽内的凸块，凸块的中部开设有供所述驱动杆螺纹贯穿的螺孔。
5、作为进一步的优选方案，所述驱动杆的顶端穿出所述支架板的上端面，并连接有调节电机，所述调节电机固定于所述支架板的顶部。
6、作为进一步的优选方案，所述活动架的上端面安装有集成盒，所述集成盒与所述气体浓度检测板以及所述传感器组件电性连接，且所述集成盒与所述中控机盒无线连接。
7、一种mpcvd安全运行报警系统，适用于上述任意一项所述的一种mpcvd安全运行报警装置，包括传感器模块、数据处理模块与决策模块，所述传感器模块用于监测的mpcvd设备内外的各种参数，包括温度、压力、气体浓度以及电气参数，所述数据处理模块用于对所述传感器模块采集到的数据进行处理，包括数据清洗、数据过滤变换以及数据标准化，所述决策模块根据处理后的数据，采取相应的决策措施，包括发出警报、控制设备。
8、作为进一步的优选方案，所述传感器模块内设有与所述传感器组件连接的内传感器单元，所述内传感器单元包括温度传感器、压力传感器以及气体浓度传感器。
9、作为进一步的优选方案，所述传感器模块内还设有与所述气体浓度检测板连接的外传感器，所述外传感器包括气体泄漏传感器、电流传感器以及电压传感器。
10、作为进一步的优选方案，所述数据处理模块电性连接有通信模块，所述通信模块与所述数据处理模块之间安装有网络通信协议，且所述通信模块与所述数据处理模块进行数据的收发，并使用网络通信协议与外部系统进行连接和数据交换。
11、作为进一步的优选方案，所述决策模块连接有防护措施模块，所述防护措施模块连接有监控中心模块，且所述防护措施模块根据所述决策模块的预警信号，采取相应的防护措施，包括关闭设备、疏散人员，所述监控中心模块对系统进行可视化显示，用于接收和显示传感器数据，并进行监控和管理。
12、作为进一步的优选方案，还包括电源模块，所述电源模块对所述mpcvd安全运行报警系统供能。
13、综上，本专利技术的技术效果和优点：
14、本专利技术的mpcvd安全运行报警系统通过传感器模块来监测mpcvd设备的工作温度和压力，通过数据处理模块进行数据处理，一旦超过事先设定的安全阈值，会通过决策模块、防护措施模块与监控中心模块来触发报警系统，达到综合考虑温度、压力、气体泄漏、气体浓度、电气安全等方面，来使本mpcvd安全运行报警装置能够对mpcvd设备进行实时监测和预警，从而能够大大保证mpcvd设备使用时的安全运行。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种MPCVD安全运行报警装置，包括移动座(1)，其特征在于：所述移动座(1)上固定有竖直的支架板(2)，所述支架板(2)的一侧设置有可升降移动的活动架(3)，所述活动架(3)的下端面对称固定有两个气体浓度检测板(4)，形成用于罩住MPCVD设备顶部及其顶部两侧的罩体，且所述活动架(3)的下端面安装有伸入MPCVD设备内的传感器组件(301)；
2.根据权利要求1所述的一种MPCVD安全运行报警装置，其特征在于：所述支架板(2)的侧面中部开设有竖直的调节槽(7)，所述调节槽(7)内转动安装有驱动杆(8)，且所述活动架(3)远离两个所述气体浓度检测板(4)的一端设有滑动嵌入所述调节槽(7)内的凸块，凸块的中部开设有供所述驱动杆(8)螺纹贯穿的螺孔。
3.根据权利要求2所述的一种MPCVD安全运行报警装置，其特征在于：所述驱动杆(8)的顶端穿出所述支架板(2)的上端面，并连接有调节电机(9)，所述调节电机(9)固定于所述支架板(2)的顶部。
4.根据权利要求3所述的一种MPCVD安全运行报警装置，其特征在于：所述活动架(3)的上端面安装有集成盒
5.一种MPCVD安全运行报警系统，适用于所述权利要求1-3任意一项所述的一种MPCVD安全运行报警装置，其特征在于：包括传感器模块(10)、数据处理模块(11)与决策模块(12)，所述传感器模块(10)用于监测的MPCVD设备内外的各种参数，包括温度、压力、气体浓度以及电气参数，所述数据处理模块(11)用于对所述传感器模块(10)采集到的数据进行处理，包括数据清洗、数据过滤变换以及数据标准化，所述决策模块(12)根据处理后的数据，采取相应的决策措施，包括发出警报、控制设备。
6.根据权利要求5所述的一种MPCVD安全运行报警系统，其特征在于：所述传感器模块(10)内设有与所述传感器组件(301)连接的内传感器单元(1001)，所述内传感器单元(1001)包括温度传感器(1003)、压力传感器(1004)以及气体浓度传感器(1005)。
7.根据权利要求5所述的一种MPCVD安全运行报警系统，其特征在于：所述传感器模块(10)内还设有与所述气体浓度检测板(4)连接的外传感器(1002)，所述外传感器(1002)包括气体泄漏传感器(1006)、电流传感器(1007)以及电压传感器(1008)。
8.根据权利要求5所述的一种MPCVD安全运行报警系统，其特征在于：所述数据处理模块(11)电性连接有通信模块(14)，所述通信模块(14)与所述数据处理模块(11)之间安装有网络通信协议(1401)，且所述通信模块(14)与所述数据处理模块(11)进行数据的收发，并使用网络通信协议(1401)与外部系统进行连接和数据交换。
9.根据权利要求5所述的一种MPCVD安全运行报警系统，其特征在于：所述决策模块(12)连接有防护措施模块(13)，所述防护措施模块(13)连接有监控中心模块(15)，且所述防护措施模块(13)根据所述决策模块(12)的预警信号，采取相应的防护措施，包括关闭设备、疏散人员，所述监控中心模块(15)对系统进行可视化显示，用于接收和显示传感器数据，并进行监控和管理。
10.根据权利要求5所述的一种MPCVD安全运行报警系统，其特征在于：还包括电源模块(16)，所述电源模块(16)对所述MPCVD安全运行报警系统供能。
...【技术特征摘要】
1.一种mpcvd安全运行报警装置，包括移动座(1)，其特征在于：所述移动座(1)上固定有竖直的支架板(2)，所述支架板(2)的一侧设置有可升降移动的活动架(3)，所述活动架(3)的下端面对称固定有两个气体浓度检测板(4)，形成用于罩住mpcvd设备顶部及其顶部两侧的罩体，且所述活动架(3)的下端面安装有伸入mpcvd设备内的传感器组件(301)；
2.根据权利要求1所述的一种mpcvd安全运行报警装置，其特征在于：所述支架板(2)的侧面中部开设有竖直的调节槽(7)，所述调节槽(7)内转动安装有驱动杆(8)，且所述活动架(3)远离两个所述气体浓度检测板(4)的一端设有滑动嵌入所述调节槽(7)内的凸块，凸块的中部开设有供所述驱动杆(8)螺纹贯穿的螺孔。
3.根据权利要求2所述的一种mpcvd安全运行报警装置，其特征在于：所述驱动杆(8)的顶端穿出所述支架板(2)的上端面，并连接有调节电机(9)，所述调节电机(9)固定于所述支架板(2)的顶部。
4.根据权利要求3所述的一种mpcvd安全运行报警装置，其特征在于：所述活动架(3)的上端面安装有集成盒(302)，所述集成盒(302)与所述气体浓度检测板(4)以及所述传感器组件(301)电性连接，且所述集成盒(302)与所述中控机盒(5)无线连接。
5.一种mpcvd安全运行报警系统，适用于所述权利要求1-3任意一项所述的一种mpcvd安全运行报警装置，其特征在于：包括传感器模块(10)、数据处理模块(11)与决策模块(12)，所述传感器模块(10)用于监测的mpcvd设备内外的各种参数，包括温度、压力、气体浓度以及电气参数，所述数据处理模块(11)用于对所述传感器模块(10)采集到的数据进行处理，包括数据清洗、数据过滤变...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁稳，郑怡，侯淅燕，李兵，
申请(专利权)人：成都稳正科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。