一种带有短路活塞的微波模式转换器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有短路活塞的微波模式转换器，解决现有大功率微波模式转换过程中能量损失较大的技术问题。本实用新型专利技术包括从微波头相连用于微波传输的矩形波导管，设于矩形波导管上端的模式转换器盖，设于矩形波导管下端的同轴线外导体，以及由外界依次穿过模式转换器盖、矩形波导管和同轴线外导体的同轴线内导体；矩形波导管内设有用于调节阻抗匹配的短路活塞，短路活塞包括滑动设于矩形波导管腔内的短路活塞滑块、与短路活塞滑块相连的丝杠、以及与丝杠相连驱动丝杠转动的驱动装置。本实用新型专利技术采用了一种能量转换效率高、结构精密的结构，能够合理调节整个微波系统的阻抗匹配，使能量转换效率最大化。使能量转换效率最大化。使能量转换效率最大化。

A microwave mode converter with short-circuit piston

【技术实现步骤摘要】
一种带有短路活塞的微波模式转换器


[0001]本技术属于金刚石加工
，具体涉及一种带有短路活塞的微波模式转换器。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)合成金刚石具有微波放电区域集中且不发散的优点，避免了电极放电和腔体壁对外延金刚石单晶的污染。MPCVD合成金刚石的技术成功解决了污染、以及金刚石生长尺寸等问题。因此，MPCVD法是目前研究者们使用最多的合成高品质金刚石的方法。
[0003]较高的微波功率能够增大等离子体密度，使工艺气体的解离率更高，同时扩大等离子球的覆盖面积，使得金刚石生长速率提升，单炉生长金刚石粒数增加。而微波源传输到等离子体腔的能量最大化，不仅需要高功率的微波源，微波模式转化器也至关重要。MPCVD设备中微波模式转换器是将从磁控管输出的微波由矩形波导传输的TE模式转换成同轴线传输的TM模。若模式转化器设计不合理，波导将会发热造成微波大量损失。
[0004]因此，本技术提供了一种带有短路活塞的微波模式转换器，解决现有大功率微波模式转换过程中能量损失较大的技术问题，采用了一种能量转换效本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有短路活塞的微波模式转换器，其特征在于：包括与微波头相连用于微波传输的矩形波导管(1)，设于矩形波导管(1)上端的模式转换器盖(2)，设于矩形波导管(1)下端的同轴线外导体(3)，以及由外界依次穿过模式转换器盖(2)、矩形波导管(1)和同轴线外导体(3)的同轴线内导体(4)；矩形波导管(1)内设有用于调节阻抗匹配的短路活塞(5)，短路活塞(5)包括滑动设于矩形波导管(1)腔内的短路活塞滑块(51)、与短路活塞滑块(51)相连的丝杠(52)、以及与丝杠(52)相连用于驱动丝杠(52)转动的驱动装置(53)。2.根据权利要求1所述的一种带有短路活塞的微波模式转换器，其特征在于：短路活塞滑块(51)上套装有与矩形波导管(1)内壁相贴合的斜圈弹簧(54)，短路活塞滑块(51)上开设有与斜圈弹簧(54)相适配的弹簧环槽(55)，斜圈弹簧(54)嵌装于弹簧环槽(55)内，弹簧环槽(55)为倒凹字型槽体。3.根据权利要求1所述的一种带有短路活塞的微波模式转换器，其特征在于：短路活塞滑块(51)端面设有限位卡环(56)，限位卡环(56)与丝杠(52)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种带有短路活塞的微波模式转换器，其特征在于：丝杠(52)上螺纹套装有丝杠螺母(57)，丝杠螺母(57)固定于矩形波导管(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁稳，郑怡，袁良，李兵，
申请(专利权)人：成都稳正科技有限公司，
类型：新型
国别省市：