【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具备一体化结构的气体热传导式氢气传感器。
技术介绍
1、随着新型清洁能源中的终极利用氢气的能源生产技术飞速发展，近来氢气燃料电池车的生产量也快速增长。
2、氢气燃料电池电动车(fcev，fuel cell electric vehicle)为利用通过储存在车辆中的氢气与大气中的空气的结合产生的电能驱动的百分之百无污染的车辆。上述氢气燃料电池电动车设置将化学能转化为电能的装置来替代传统车辆的燃料箱。
3、氢气燃料电池电动车设置有燃料电池堆、氢气供应装置、空气供应装置、热管理装置以及氢气储存装置。
4、其中，氢气供应及储存装置为储存相当于氢气燃料电池电动车的燃料的氢气并向电池堆移送规定量的氢气的系统。为了管理所供应的氢气，需要监控及管理氢气的压力、整体的温度变化、氢气的泄漏等。
5、氢气传感器分为感测氢气气体泄漏的氢气气体泄漏感测传感器和管理氢气浓度的氢气浓度传感器。上述氢气气体泄漏感测传感器应用在氢气燃料电池电动车中的氢气储存容器附近、氢气移送配管系统的接缝附近、电池堆周围以及...
【技术保护点】
1.一种具备一体化结构的氢气传感器，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的具备一体化结构的氢气传感器，其特征在于，上述开放孔H的直径D满足下述式1，
3.根据权利要求1所述的具备一体化结构的氢气传感器，其特征在于，上述基板具有后表面被蚀刻的结构，以使传感部和参照部形成隔热结构。
4.根据权利要求1所述的具备一体化结构的氢气传感器，其特征在于，上述膜为包含氧化硅SiOx、氮化硅SiNx及氮氧化硅SiOxNy中的一种以上的单层或多层薄膜。
5.根据权利要求1所述的具备一体化结构的氢气传感器，其特征在于，上述加热器能够加热到4
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种具备一体化结构的氢气传感器，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的具备一体化结构的氢气传感器，其特征在于，上述开放孔h的直径d满足下述式1，
3.根据权利要求1所述的具备一体化结构的氢气传感器，其特征在于，上述基板具有后表面被蚀刻的结构，以使传感部和参照部形成隔热结构。
4.根据权利要求1所述的具备一体化结构的氢气传感器，其特征在于，上述膜为包含氧化硅siox、氮化硅sinx及氮氧化硅sioxny中的一种以上的单层或...
【专利技术属性】
技术研发人员：夫钟郁，金仁会，丘璜燮，具滋鵬，
申请(专利权)人：宇德曼斯有限公司，
类型：发明
国别省市：
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