【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种探针。
技术介绍
1、本说明书中除非另有说明，本部分所描述的内容不构成对本申请权利要求的现有技术，不能因记载在本部分而视为现有技术。
2、一般而言，半导体模组是指为执行特定功能而包含堆叠的半导体元件的电路板等的统称，例如包括显示模组(display module)、相机模组(camera module)、通信模组、存储卡、视频卡、电话插座模组(phone socket module)、半导体探针卡等。
3、模组用插座是为了将这种半导体模组与主板等电路板进行电连接而搭载的装置，可设置成与电路板的连接结构进行电连接，通过将半导体模组的连接端子插入插座内实现预定的功能。
4、传统的模组用插座以将半导体模组强制推向包含在模组用插座的插座引脚的上部而插入的强制结合的形式进行插入和移除。因此，产品由于摩擦力过大而存在损坏的问题。
5、另外，近来随着半导体模组的高集成化，通过制造工艺在晶圆上形成的电路图案变得高集成化，因此相邻的接触焊盘之间的间距，即间隔(pitch)形成得非常窄。
6、因此，为减小相邻引脚的间隔，每个引脚的厚度都被设计得较薄。
7、然而，如上所述，当引脚的厚度变薄时，强度降低，使得在检查工艺中施加的横向的力导致引脚损坏或与引脚接触的晶圆上的接触焊盘损坏。
8、另外，作为检查对象的晶圆的接触垫上存在段差时，存在不能与特定的探针接触的接触垫，因此存在无法进行准确的检查的问题。
9、由此，传统上使用弹簧结构的引脚，但由
10、另外，存在由于在检查工艺中施加的横向的力导致弹簧结构失去弹性恢复力而变形的问题。
11、现有技术文献
12、专利文献
13、韩国授权专利第10-0984876号(2010年10月4日公告)
技术实现思路
1、专利技术所要解决的问题
2、本专利技术是为了解决上述问题而提出的，提供一种探针，通过使形成有弹性部的探针包括侧壁部，缩短电流到达第二接触部的路径，从而可以减小接触电阻值。
3、本专利技术所要解决的问题不限于以上所提及的问题，本领域的技术人员可通过以下描述将清楚地理解其他未提及的问题。
4、用于解决问题的方案
5、本专利技术一实施例的探针可包括：第一接触部；第二接触部；中间部，其设置于上述第一接触部和上述第二接触部之间；第一弹性部，其与上述第一接触部和上述中间部连接，沿着上述第一接触部和上述第二接触部连接的排列方向伸缩；第二弹性部，其与上述中间部和上述第二接触部连接，沿着上述排列方向伸缩；及侧壁部，其从上述中间部沿上述排列方向延伸。
6、上述第一弹性部可以由至少一个第一直线部和至少一个第一弯曲部连接设置成之字形，上述第二弹性部可以由至少一个第二直线部和至少一个第二弯曲部连接设置成之字形。
7、上述侧壁部可包括：第一侧壁，其位于上述探针的一侧，上述第一侧壁可包括：第一区域，其沿着上述排列方向延伸至上述第一接触部；及第二区域，其沿着上述排列方向延伸至上述第二接触部。
8、上述侧壁部还可包括：第二侧壁，其位于与上述探针的上述一侧对应的另一侧，上述第二侧壁可包括：第三区域，其沿着上述排列方向延伸至上述第一接触部；及第四区域，其沿着上述排列方向延伸至上述第二接触部。
9、上述第一弯曲部和上述第二弯曲部中的至少一个与上述侧壁部之间可以存在预设定的第一间隙。
10、当上述探针通过上述第一接触部和上述第二接触部与客体接触时，面向上述第一弯曲部和上述第二弯曲部的上述侧壁部中的至少部分区域可以与上述第一弯曲部和上述第二弯曲部中的任意部分区域接触。
11、面向上述第一弯曲部和上述第二弯曲部的上述侧壁部中的至少部分区域可形成有预设定的图案结构。
12、上述图案结构可以包括波浪形结构。
13、上述预设定的第一间隙可以表示上述第一弯曲部和上述第二弯曲部中的至少一个与形成在上述侧壁部的波峰之间的距离。
14、上述探针还可以包括位于上述中间部、上述第一弹性部、上述第二弹性部及上述侧壁部的前后方的盖部。
15、上述盖部可沿单方向形成有至少一个贯通孔。
16、专利技术效果
17、根据由如上所述的解决方案构成的本专利技术，具有以下效果。
18、本专利技术一实施例的探针包括沿排列方向延伸的侧壁部，缩短电流到达第二接触部的路径，从而可以减小在第二接触部的接触电阻值。
19、本专利技术的效果不限于以上所提及的效果，本领域技术人员可通过以下描述将清楚地理解其他未提及的效果。
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1.一种探针，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的探针，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的探针，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的探针，其特征在于，
7.根据权利要求5所述的探针，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的探针，其特征在于，
9.根据权利要求8所述的探针，其特征在于，
10.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，还包括：
11.根据权利要求10所述的探针，其特征在于，
12.根据权利要求11所述的探针，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种探针，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的探针，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的探针，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的探针，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的探针，其特征在于，
7.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：丘璜燮，朴钟君，尹淇相，金景豪，
申请(专利权)人：宇德曼斯有限公司，
类型：发明
国别省市：
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