【技术实现步骤摘要】
本申请涉及石墨盘运输，尤其是涉及一种石墨盘运输推车。
技术介绍
1、金属有机化学气相沉积设备中使用的石墨盘是目前外延生长最重要的配件之一。石墨盘是由高纯石墨制成，并在表面镀有碳化硅涂层，石墨盘上分布有一些用于放置衬底的圆形凹槽。由于石墨盘造价高，体积大，分量重，人工搬运吃力，所以需要推车实现石墨盘的运输。
2、现有的石墨盘运输推车是卡槽式，将石墨盘放入运输推车的卡槽内对石墨盘进行限位，随后利用运输推车对石墨盘进行运输。
3、由于现有的卡槽式推车在运输过程中对石墨盘的限位并不牢固，石墨盘在推车运输颠簸过程中容易在卡槽内晃动，晃动会造成石墨盘边缘机械式磨损，造成石墨盘损坏甚至报废。
技术实现思路
1、为了有助于解决石墨盘在运输过程中容易在推车卡槽内晃动造成石墨盘边缘机械式磨损的问题，本申请提供的一种石墨盘运输推车，采用如下的技术方案：包括固定板，所述固定板上分别设有真空泵和支架，所述支架上设有若干支撑板，若干所述支撑板上设有若干真空吸盘，所述真空泵的抽气端通过若干真空吸管与若干真空吸盘相连通，所述固定板背离支架的面上设有滚动组件，石墨盘放置在所述支撑板对应的若干真空吸盘上。
2、通过上述技术方案，真空泵的抽气端通过真空吸管抽取真空吸盘内的空气，利用真空吸附使石墨盘牢牢吸附在支撑板上，增强了石墨盘在运输推车上的牢固性，减少了推车运输晃动造成石墨盘边缘机械式磨损的可能性。
3、在一个具体的可实施方案中，所述真空泵的抽气端连通有真空总管，所述真
4、通过上述技术方案，操作人员只需开启放置石墨盘的支撑板所对应的电磁阀，关闭未放置石墨盘的支撑板对应的电磁阀，实现对真空泵的抽气端上真空总管的分流，利用电磁阀实现了对每个支撑板上真空分管的单独控制，提升了运输推车的可控性与经济性。
5、在一个具体的可实施方案中，所述支架上设有若干用于分别控制若干电磁阀的开关，所述支架上还设有若干与电磁阀启闭状态对应的状态显示灯。
6、通过上述技术方案，操作人员可以根据状态显示灯的亮灯情况直观得观测到电磁阀开启或闭合情况，提高了操作人员的操作便捷性。
7、在一个具体的可实施方案中，所述滚动组件包括滚轮和设置在固定板上的安装架，所述滚轮的连接板上设有连接轴，所述安装架上开设有与连接轴相匹配的连接孔，所述连接轴穿设过连接孔，所述连接轴的外缘套设有弹簧，所述弹簧抵紧在滚轮的连接板与安装架之间。
8、通过上述技术方案，当运输推车遇到较为颠簸的路段时，可以利用套设在连接轴外部的弹簧的弹性压缩减轻运输推车的震动，起到缓冲的作用，提高了运输推车的稳定性。
9、在一个具体的可实施方案中，所述连接轴的外缘套设有限位环，所述连接孔位于限位环与滚轮之间。
10、通过上述技术方案，利用限位环减少了连接轴脱出安装架的可能性，起到了限位作用。
11、在一个具体的可实施方案中，至少一个所述滚轮的连接板上铰接有刹车踏板，所述刹车踏板朝向滚轮的面上设有刹车块，所述刹车块与滚轮抵紧。
12、通过上述技术方案，当运输推车需要定位时，操作人员踩下刹车踏板，带动刹车踏板上的刹车块与滚轮抵紧，起到限制滚轮移动的作用；当运输推车需要移动时，操作人员抬起刹车踏板，带动刹车踏板上的刹车块与滚轮松开，解除刹车块对滚轮的限制。利用刹车踏板与刹车块使运输推车能够实现自锁，并且能够方便快速的解除自锁的特点，对运输推车起到减速定位的作用。
13、在一个具体的可实施方案中，所述支架和固定板之间设有推架。
14、通过上述技术方案，利用推架可以省时省力的控制石墨盘运输推车的移动，便于操作人员对运输推车的控制。
15、综上所述，本申请具有以下有益技术效果：操作人员将石墨盘放置在支撑板上的若干真空吸盘上，放置到位后打开真空泵，真空泵的抽气端通过真空吸管抽取真空吸盘内的空气，利用真空吸附使石墨盘牢牢吸附在支撑板上，即可开始运输。真空吸附增强了石墨盘在运输推车上的牢固性，减少了推车运输晃动造成石墨盘边缘机械式磨损的可能性。
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1.一种石墨盘运输推车，其特征在于：包括固定板(1)，所述固定板(1)上分别设有真空泵(2)和支架(3)，所述支架(3)上设有若干支撑板(4)，若干所述支撑板(4)上分别设有若干真空吸盘(5)，所述真空泵(2)的抽气端(21)通过若干真空吸管(6)与若干真空吸盘(5)相连通，所述固定板(1)背离支架(3)的面上设有滚动组件(7)，石墨盘(11)放置在所述支撑板(4)对应的若干真空吸盘(5)上。
2.根据权利要求1所述的石墨盘运输推车，其特征在于：所述真空泵(2)的抽气端(21)连通有真空总管(22)，所述真空总管(22)上连通有若干与支撑板(4)相对应的真空分管(23)，若干所述真空分管(23)分别通过若干真空吸管(6)与对应的支撑板(4)上的真空吸盘(5)相连通，若干所述真空分管(23)上分别设有用于控制真空分管(23)通断的电磁阀。
3.根据权利要求1所述的石墨盘运输推车，其特征在于：所述支架(3)上设有若干用于分别控制若干电磁阀的开关(8)，所述支架(3)上还设有若干与电磁阀启闭状态对应的状态显示灯(9)。
4.根据权利要求1所述的石墨盘
5.根据权利要求4所述的石墨盘运输推车，其特征在于：所述连接轴(73)的外缘套设有限位环(76)，所述连接孔(79)位于限位环(76)与滚轮(71)之间。
6.根据权利要求4所述的石墨盘运输推车，其特征在于：至少一个所述滚轮(71)的连接板(75)上铰接有刹车踏板(77)，所述刹车踏板(77)朝向滚轮(71)的面上设有刹车块(78)，所述刹车块(78)与滚轮(71)抵紧。
7.根据权利要求1所述的石墨盘运输推车，其特征在于：所述支架(3)和固定板(1)之间设有推架(10)。
...【技术特征摘要】
1.一种石墨盘运输推车，其特征在于：包括固定板(1)，所述固定板(1)上分别设有真空泵(2)和支架(3)，所述支架(3)上设有若干支撑板(4)，若干所述支撑板(4)上分别设有若干真空吸盘(5)，所述真空泵(2)的抽气端(21)通过若干真空吸管(6)与若干真空吸盘(5)相连通，所述固定板(1)背离支架(3)的面上设有滚动组件(7)，石墨盘(11)放置在所述支撑板(4)对应的若干真空吸盘(5)上。
2.根据权利要求1所述的石墨盘运输推车，其特征在于：所述真空泵(2)的抽气端(21)连通有真空总管(22)，所述真空总管(22)上连通有若干与支撑板(4)相对应的真空分管(23)，若干所述真空分管(23)分别通过若干真空吸管(6)与对应的支撑板(4)上的真空吸盘(5)相连通，若干所述真空分管(23)上分别设有用于控制真空分管(23)通断的电磁阀。
3.根据权利要求1所述的石墨盘运输推车，其特征在于：所述支架(3)上设有若干用于分别控制若干电磁阀的开关(8)，所述支架(3)上还设有若干与电磁阀启闭状态对应的状态显示灯...
【专利技术属性】
技术研发人员：王皖南，张利，
申请(专利权)人：福州镓谷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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