【技术实现步骤摘要】
本申请涉及石墨盘运输，尤其是涉及一种石墨盘运输推车。
技术介绍
1、金属有机化学气相沉积设备中使用的石墨盘是目前外延生长最重要的配件之一。石墨盘是由高纯石墨制成，并在表面镀有碳化硅涂层，石墨盘上分布有一些用于放置衬底的圆形凹槽。由于石墨盘造价高，体积大，分量重，人工搬运吃力，所以需要推车实现石墨盘的运输。
2、现有的石墨盘运输推车是卡槽式，将石墨盘放入运输推车的卡槽内对石墨盘进行限位，随后利用运输推车对石墨盘进行运输。
3、由于现有的卡槽式推车在运输过程中对石墨盘的限位并不牢固，石墨盘在推车运输颠簸过程中容易在卡槽内晃动，晃动会造成石墨盘边缘机械式磨损，造成石墨盘损坏甚至报废。
技术实现思路
1、为了有助于解决石墨盘在运输过程中容易在推车卡槽内晃动造成石墨盘边缘机械式磨损的问题，本申请提供的一种石墨盘运输推车，采用如下的技术方案：包括固定板，所述固定板上分别设有真空泵和支架，所述支架上设有若干支撑板，若干所述支撑板上设有若干真空吸盘，所述真空泵的抽气端通过若干真空吸...
【技术保护点】
1.一种石墨盘运输推车，其特征在于：包括固定板(1)，所述固定板(1)上分别设有真空泵(2)和支架(3)，所述支架(3)上设有若干支撑板(4)，若干所述支撑板(4)上分别设有若干真空吸盘(5)，所述真空泵(2)的抽气端(21)通过若干真空吸管(6)与若干真空吸盘(5)相连通，所述固定板(1)背离支架(3)的面上设有滚动组件(7)，石墨盘(11)放置在所述支撑板(4)对应的若干真空吸盘(5)上。
2.根据权利要求1所述的石墨盘运输推车，其特征在于：所述真空泵(2)的抽气端(21)连通有真空总管(22)，所述真空总管(22)上连通有若干与支撑板(4)相对应的真...
【技术特征摘要】
1.一种石墨盘运输推车，其特征在于：包括固定板(1)，所述固定板(1)上分别设有真空泵(2)和支架(3)，所述支架(3)上设有若干支撑板(4)，若干所述支撑板(4)上分别设有若干真空吸盘(5)，所述真空泵(2)的抽气端(21)通过若干真空吸管(6)与若干真空吸盘(5)相连通，所述固定板(1)背离支架(3)的面上设有滚动组件(7)，石墨盘(11)放置在所述支撑板(4)对应的若干真空吸盘(5)上。
2.根据权利要求1所述的石墨盘运输推车，其特征在于：所述真空泵(2)的抽气端(21)连通有真空总管(22)，所述真空总管(22)上连通有若干与支撑板(4)相对应的真空分管(23)，若干所述真空分管(23)分别通过若干真空吸管(6)与对应的支撑板(4)上的真空吸盘(5)相连通，若干所述真空分管(23)上分别设有用于控制真空分管(23)通断的电磁阀。
3.根据权利要求1所述的石墨盘运输推车，其特征在于：所述支架(3)上设有若干用于分别控制若干电磁阀的开关(8)，所述支架(3)上还设有若干与电磁阀启闭状态对应的状态显示灯...
【专利技术属性】
技术研发人员：王皖南，张利，
申请(专利权)人：福州镓谷半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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