压电驱动器以及压电驱动器的制造方法技术

压电驱动器具备支撑基板、具有第１压电层叠体、第２压电层叠体以及位移部的主体部、第１弹性体层；第１弹性体层以连接第１压电层叠体的下面、第２压电层叠体的下面、第１压电层叠体的侧面、第２压电层叠体的侧面的方式被固定于主体部；第１弹性体层的第１～第４区域由第１～第４结合部而被固定于支撑基板的主面；非结合面未被固定于支撑基板（３）的主面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
在日本特开2002-134807号公报中记载有被使用于磁盘装置的磁头支撑机构。该 磁头支撑机构具备拥有作为位移体的薄膜压电体元件(压电层叠体)的压电驱动器。通过 由该压电驱动器来使磁头支撑机构的被固定于滑块保持基板的磁头发生微小位移，从而相 对于磁盘可以高精度地定位磁头。另外，在日本特开平4-313286号公报中记载有陶瓷驱动器(压电驱动器)。该 陶瓷驱动器具备分别作为悬臂梁结构的作为配置于同一面上的位移体的一对压电双晶片 (bimorph)(压电层叠体)、以及嵌合于一对压电双晶片的各自的前端部的连结体。由该一 对压电双晶片，可以使连结体发生位移。在日本特开2002-134807号公报所记载的压电驱动器中，作为位移体的薄膜压电 体元件被粘结固定于作为为了使作为位移对象的磁头滑块为规定的状态而构成的构件的 弯曲部分(flexure)。固定有作为位移对象的磁头滑块的滑块支撑板经由铰链部而被连接 于弯曲部分。由此，将薄膜压电体元件的直线位移转换成以铰链部作为旋转中心的滑块支 撑板的旋转位移。利用具有这样的压电驱动器以及弯曲部分的悬挂结构，可实现高精度的 磁头定位。然而，在日本特开2002-134807号公报所记载的压电驱动器中，薄膜压电体元件 的位移经由多个传递结构而被传递到控制对象的磁头滑块。因此，在这样的压电驱动器中， 驱动器整体的结构变得复杂，因而存在位移的传递效率降低且起因于这些传递结构的传递 材料的特性以及尺寸的偏差而在控制对象的磁头滑块位移量上产生偏差的问题。关于这一点，在日本特开平4-313286号公报所记载的压电驱动器中，作为位移体 的一对压电双晶片作为悬臂梁结构而被支撑于基板，一对压电双晶片中除了固定于基板的 部分之外的区域没有与阻碍位移的构件接触。即一对压电双晶片中除了固定于基板的基端 部分之外，成为从基板分离的状态。而且，将一对压电双晶片直接固定于作为位移对象的连 结体上。因此，压电驱动器的结构变得简单，且位移的传递效率变高。如日本特开平4-313286号公报所记载的压电驱动器那样，作为位移体的压电层 叠体作为悬臂梁结构而被支撑于基板，在该压电驱动器中，为了增大位移对象的位移量，有 必要将压电层叠体制成较长的结构并增加从被支撑于压电层叠体的基板的基端部分直到 位移体为止的长度。然而，在具有压电层叠体的一部分从基板分离的结构的压电驱动器中， 如果如以上所述增加压电层叠体的长度，那么因为由基板得到的压电层叠体的支撑变得不 够充分，所以压电层叠体发生与逆压电效应没有关系的位移和压电层叠体以没有预期到的 方式发生位移等，由于这些原因，难以使位移对象发生精密的位移难。因此，存在难以同时 实现增大位移对象的位移量和使位移对象发生精密的位移这两者的问题。
技术实现思路
本专利技术有鉴于如上述那样的问题，以提供一种可以使结构简单且位移的传递效率 高，同时可以增大位移对象的位移量并使位移对象发生精密的位移的压电驱动器、以及这 样的压电驱动器的制造方法为目的。为了解决上述问题，本专利技术所涉及的压电驱动器具备支撑基板；主体部，其具 有包含第1上部电极层、第1下部电极层以及介于这两个电极层之间的第1压电体层的第 1压电层叠体、包含第2上部电极层、第2下部电极层以及介于这两个电极层之间的第2压 电体层的第2压电层叠体、以及可相对于支撑基板发生位移的位移部；以及第1弹性体层， 主体部被设置于支撑基板的主面的上方，第1压电层叠体将与支撑基板的主面相交叉的方 向作为层叠方向，并沿着与支撑基板的主面相平行的面内的第1假想线延伸，第2压电层叠 体将与支撑基板的主面相交叉的方向作为层叠方向，并沿着与支撑基板的主面相平行的面 内的第2假想线延伸，并且与第1压电层叠体相分离，位移部被固定于第1压电层叠体的前 端部与第2压电层叠体的前端部之间，第1弹性体层以连接第1压电层叠体的与支撑基板 相对的下面、第2压电层叠体的与支撑基板相对的下面、第1压电层叠体的侧面的至少一 部分以及第2压电层叠体的侧面的至少一部分的方式被固定于主体部，第1弹性体层中被 设置于第1压电层叠体的基端部的下面的第1区域由第1结合部而被固定于支撑基板的 主面，第1弹性体层中被设置于第2压电层叠体的基端部的下面的第2区域由第2结合部 而被固定于支撑基板的主面，第1弹性体层中被设置于第1压电层叠体的侧面的第3区域 的至少一部分由第3结合部而被固定于支撑基板的主面，第1弹性体层中被设置于第2压 电层叠体的侧面的第4区域的至少一部分由第4结合部而被固定于支撑基板的主面，第1 弹性体层的与支撑基板相对的下面中除了与第1结合部、第2结合部、第3结合部以及第4 结合部相接触的面以外的非结合面未被固定于支撑基板的主面，或者由弹性率较第1结合 部、第2结合部、第3结合部以及第4结合部低的构件而被固定于支撑基板的主面。在本专利技术所涉及的压电驱动器中，第1压电层叠体仅在其基端部经由第1弹性体 层的第1区域并由第1结合部而被固定于支撑基板的主面；第2压电层叠体仅在其基端部 经由第1弹性体层的第2区域并由第2结合部而被固定于支撑基板的主面；第1压电层叠 体以及第2压电层叠体被固定于支撑基板的主面的上方。而且，在第1压电层叠体以及第 2压电层叠体的下面和侧面固定有第1弹性体层；第1弹性体层的非结合面没有被固定于 支撑基板的主面，或者由弹性率较第1结合部、第2结合部、第3结合部以及第4结合部低 的构件而被固定于支撑基板的主面。由此，第1压电层叠体以及第2压电层叠体在其基端 部以外的部分中，没有被固定于用于支撑的刚性高的构件上。再有，作为位移对象的位移部 被直接固定于第1压电层叠体的前端部与第2压电层叠体的前端部之间。其结果，本专利技术 所涉及的压电驱动器的结构简单且位移的传递效率变高。再有，在本专利技术所涉及的压电驱动器中，在非结合面与支撑基板的主面之间，能够 形成有与非结合面相接触的空间缝隙。由此，进一步减少阻碍第1压电层叠体以及第2压 电层叠体的位移的主要原因。其结果，在本专利技术所涉及的压电驱动器中，位移的传递效率进一步变高。再有，本专利技术所涉及的压电驱动器具备连接第1压电层叠体以及第2压电层叠体 的下面和侧面的第1弹性体层，该第1弹性体层在第1区域、第2区域、第3区域以及第4区域中，被固定于支撑基板的主面。由此，第1压电层叠体的前端部以及第2压电层叠体的前 端部的下面和侧面由第1弹性体层而间接地被支撑在支撑基板的主面上。再有，第1弹性 体层因为由弹性材料所构成，所以与第1压电层叠体的前端部以及第2压电层叠体的前端 部的下面或者侧面由刚性高的构件而被直接支撑的情况相比较，难以阻碍第1压电层叠体 以及第2压电层叠体的位移。因此，即使分别沿着第1假想线以及第2假想线而将第1压 电层叠体以及第2压电层叠体的形状延长为较长，因为由支撑基板能够充分地支撑第1压 电层叠体以及第2压电层叠体，所以也能够抑制第1压电层叠体以及第2压电层叠体发生 与逆压电效应没有关系的位移、以及在没有预期的状态下发生位移。其结果，本专利技术所涉及 的压电驱动器可以同时实现增大作为位移对象的位移部的位移量以及使位移部发生精密 的位移这两者。根据以上所述，根据本专利技术所涉及的压电驱动器，可以使结构简单且位移的传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电驱动器，其特征在于：具备，支撑基板；主体部，其具有第１压电层叠体、第２压电层叠体和位移部，所述第１压电层叠体包含第１上部电极层、第１下部电极层以及介于这两个电极层之间的第１压电体层，所述第２压电层叠体包含第２上部电极层、第２下部电极层以及介于这两个电极层之间的第２压电体层，所述位移部可相对于所述支撑基板发生位移；以及第１弹性体层，所述主体部被设置于所述支撑基板的主面的上方，所述第１压电层叠体将与所述支撑基板的所述主面相交叉的方向作为层叠方向，并沿着与所述支撑基板的所述主面相平行的面内的第１假想线延伸，所述第２压电层叠体将与所述支撑基板的所述主面相交叉的方向作为层叠方向，并沿着与所述支撑基板的所述主面相平行的面内的第２假想线延伸，并且与所述第１压电层叠体相分离，所述位移部被固定于所述第１压电层叠体的前端部与所述第２压电层叠体的前端部之间，所述第１弹性体层以连接所述第１压电层叠体的与所述支撑基板相对的下面、所述第２压电层叠体的与所述支撑基板相对的下面、所述第１压电层叠体的侧面的至少一部分以及所述第２压电层叠体的侧面的至少一部分的方式，被固定于所述主体部，所述第１弹性体层中被设置于所述第１压电层叠体的基端部的下面的第１区域由第１结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，所述第１弹性体层中被设置于所述第２压电层叠体的基端部的下面的第２区域由第２结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，所述第１弹性体层中被设置于所述第１压电层叠体的侧面的第３区域的至少一部分由第３结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，所述第１弹性体层中被设置于所述第２压电层叠体的侧面的第４区域的至少一部分由第４结合部而被固定于所述支撑基板的所述主面，所述第１弹性体层的与所述支撑基板相对的下面中除了与所述第１结合部、所述第２结合部、所述第３结合部以及所述第４结合部相接触的面以外的非结合面未被固定于所述支撑基板的所述主面，或者由弹性率较所述第１结合部、所述第２结合部、所述第３结合部以及所述第４结合部低的构件而被固定于所述支撑基板的所述主面。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：秦健次郎，
申请(专利权)人：TDK株式会社，新科实业有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]