【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显微成像领域，具体涉及一种物镜焦面定位方法、装置以及半导体检测设备。
技术介绍
1、在缺陷检测领域，为使晶圆清晰成像，对未知厚度的晶圆须先做好焦面，即设置自动聚焦系统的相对位置原点。在晶圆自动化检测过程中，自动聚焦系统始终以该原点作为判断物镜与晶圆是否离焦的依据，当晶圆表面起伏偏离原点(或焦面)时，自动聚焦系统将驱动物镜或晶圆载物台轴向运动使晶圆正焦，从而实现晶圆的自动化检测。
2、在晶圆自动化检测前，定位物镜焦面是十分关键的一步。一般地，低倍物镜如1x/2x/5x等由于其视场大、焦深大、自动聚焦动态范围大(接近数毫米)，可直接使用自动聚焦系统先前保存的原点值，自动找到物镜焦面。对于高倍率、高数值孔径、短工作距的物镜，其焦深小、自动聚焦动态范围小(仅数微米)，自动聚焦往往无法直接找到物镜焦面，甚至自动寻找时，有概率导致电机错误运动使物镜撞到晶圆，此时只能人工寻找焦面。然而由于该类物镜视场小，当晶圆的均匀区域恰好在物镜视场内时，上下移动物镜，相机视场中始终保持均匀的灰阶响应，无法判断晶圆是否处于焦面上，而过多的向...
【技术保护点】
1.一种物镜焦面定位方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的物镜焦面定位方法，其特征在于：所述第一步进长度为物镜工作距的1/30～1/10。
3.根据权利要求1所述的物镜焦面定位方法，其特征在于：所述第二步进长度为物镜焦深的1/4～1。
4.根据权利要求1所述的物镜焦面定位方法，其特征在于：所述光路切换器件为透镜，所述透镜的位置以及光学参数满足于当所述透镜切入所述科勒照明系统的平行光路时，使得所述科勒照明系统切换至临界照明，并使得光源像投影在物镜焦面定位装置的物镜焦面。
5.根据权利要求1所述的物镜焦面...
【技术特征摘要】
1.一种物镜焦面定位方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的物镜焦面定位方法，其特征在于：所述第一步进长度为物镜工作距的1/30～1/10。
3.根据权利要求1所述的物镜焦面定位方法，其特征在于：所述第二步进长度为物镜焦深的1/4～1。
4.根据权利要求1所述的物镜焦面定位方法，其特征在于：所述光路切换器件为透镜，所述透镜的位置以及光学参数满足于当所述透镜切入所述科勒照明系统的平行光路时，使得所述科勒照明系统切换至临界照明，并使得光源像投影在物镜焦面定位装置的物镜焦面。
5.根据权利要求1所述的物镜焦面定位方法，其特征在于：所述光路切换器件为孔径光阑，当所述孔径光阑切入所述科勒照明系统的瞳面时，在与所述瞳面共轭的物镜焦面形成清晰的孔径光阑图案。
【专利技术属性】
技术研发人员：包建，杨浩哲，相春昌，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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