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本发明公开了一种物镜焦面定位方法、装置以及半导体检测设备，该方法包括：调节物镜与待测样品之间的间距，使得该间距大于物镜工作距；控制驱动机构将光路切换器件切入用于提供照明的科勒照明系统的光路中，以便在物镜焦面形成便于定位物镜焦面的像；调节物镜...
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